5인치 석영관 및 2200℃ 온도 컨트롤러가 탑재된 15KW 유도 가열 시스템

제품 개요

본 고주파 유도 가열 시스템은 첨단 재료과학 및 산업 R&D를 위해 특수 설계된 열처리 기술의 정점을 보여줍니다. 강력한 15KW 유도 가열기와 정교한 석영 챔버를 결합하여 연구자들이 탁월한 속도와 정밀도로 최고 2200℃의 온도를 달성할 수 있도록 합니다. 본 시스템은 턴키 솔루션으로 설계되었으며 고진공 기능, 재순환 수냉각 장치, 고순도 흑연 도가니 어셈블리를 통합하여 새로운 금속 합금 및 고온 세라믹의 용해와 소결을 위한 포괄적인 플랫폼을 제공합니다.

본 장비의 주요 사용 사례는 SiC 결정 성장을 위한 물리적 기상 수송(PVT), 용융 침투, 반도체 웨이퍼의 급속 열처리가 포함됩니다. 소재 순도와 열 균일성이 최우선인 항공우주, 에너지, 전자 분야에서 널리 활용됩니다. 모듈형 설계로 특정 공정 요구 사항을 충족하기 위한 개조가 가능하며, 기초 연구에서 파일럿 규모 생산으로 전환하는 연구실에 다용도 자산이 됩니다.

산업용 등급 부품과 중부하 모바일 프레임으로 제작된 본 장치는 까다로운 조건에서도 타협 없는 신뢰성을 제공합니다. 부식 방지 정전용량 다이어프램 게이지부터 100% 듀티 사이클 유도 가열기까지 모든 부품은 장기적인 운영 안정성을 보장하도록 선택되었습니다. 사용자는 시스템이 수압, 과온, 전력 변동에 대한 자동 보호 프로토콜을 포함하고 있으므로 안심하고 운영할 수 있으며, 고위험 연구 환경에서 작업자 안전과 장비 수명을 모두 보장합니다.

주요 특징

• 고효율 15KW 유도 전원: 고체형 고급 유도 발전기를 활용하는 본 시스템은 100% 듀티 사이클로 최대 15KW의 전력을 제공합니다. 30~80kHz 주파수 범위는 흑연 서셉터에 깊은 열 침투와 효율적인 에너지 전달을 보장하며, 기존 저항로는 따라갈 수 없는 빠른 가열 속도를 가능하게 합니다.
• 정밀 PID 온도 조절: 통합 디지털 컨트롤러는 30개의 프로그래밍 가능 세그먼트를 특징으로 하여 정밀한 승온, 유지, 냉각 단계를 포함한 복잡한 열 프로파일을 구현할 수 있습니다. 자동 PID 튜닝은 ±3℃의 온도 정확도를 유지하여 민감한 실험 배치 전반에서 재현 가능한 결과를 보장합니다.
• 우수한 단열 및 내화 설계: 고순도 알루미나로 제작된 특수 3층 내화 어셈블리가 도가니를 감싸고 있습니다. 이 설계는 2200℃의 극한 작동 환경을 견디면서 외부 석영 챔버로의 열 손실을 최소화하여 시스템의 구조적 무결성을 보호하도록 설계되었습니다.
• 고진공 및 제어 분위기 기능: 156 L/min 이단 회전날개 펌프와 KF-25 진공 포트가 장착된 본 시스템은 최고 10E-2 토르(옵션 터보 펌프 사용 시 10E-5 토르)의 진공도를 달성할 수 있습니다. 니들 밸브가 달린 스테인리스 스틸 플랜지와 부식 방지 다이어프램 게이지를 통해 불활성 가스를 사용한 정밀한 분위기 제어가 가능합니다.
• 견고한 안전 및 모니터링 프로토콜: 장비에는 0.02 MPa로 설정된 자동 압력 릴리프 밸브와 페놀 또는 폴리카보네이트 시트로 제작된 보호막이 장착되어 있습니다. 이러한 기능은 수류 및 과전력 조건에 대한 자동 센서와 결합되어 고온 작업 중 위험을 완화합니다.
• 통합 냉각 및 가스 관리: 58 L/min 재순환 수냉각기가 포함되어 유도 코일과 전원 공급 장치 내에서 최적의 온도를 유지합니다. 콤팩트 직접 판독 유량계는 100-1000 cc/min 범위 내에서 가스 유량을 미세 조정할 수 있어 정밀한 분위기 공정을 지원합니다.
• 엔지니어링된 석영 공정 챔버: 130mm 외경 석영관은 열처리를 위한 깨끗하고 비반응성 환경을 제공합니다. 힌지형 상단 플랜지는 로딩 및 언로딩을 간소화하며, C형 열전대용 피드스루는 도가니 온도를 직접적이고 정확하게 모니터링할 수 있도록 보장합니다.
• 이동식 모듈형 인프라: 전체 시스템은 중부하 강철 이동식 카트에 장착되어 안정적인 600mm x 800mm 작업 공간을 제공합니다. 이 설계는 연구실 내에서 쉽게 재배치할 수 있으며 진공 펌프, 냉각기, 가열 장치를 효율적으로 정리할 수 있습니다.

응용 분야

기술 사양

시스템 개요: TU-RL05

저희를 선택해야 하는 이유

• 극한 열 성능을 위해 설계됨: 표준 실험실로와 달리 본 시스템은 최고 2200℃ 온도에 최적화되어 있으며 고주파 유도를 활용하여 빠른 열 순환을 달성하므로 공정 시간을 크게 단축합니다.
• 포괄적인 턴키 솔루션: 본 장치는 유도 발전기, 진공 펌프, 수냉각기, 모든 필요한 내화 부품을 포함하여 완전한 통합 시스템으로 납품되므로 설치 즉시 운영 준비가 완료됩니다.
• 정밀도와 재현성: 고정밀 C형 열전대와 30세그먼트 PID 컨트롤러의 조합은 복잡한 가열 곡선을 정확하게 재현할 수 있으며, 일관된 금속학 및 반도체 연구에 매우 중요합니다.
• 견고한 산업용 빌드 품질: 스테인리스 스틸 진공 플랜지부터 중부하 이동식 카트까지 모든 부품은 엄격한 산업 및 학술 환경에서 내구성을 발휘하도록 제작되었으므로 높은 투자 수익과 최소 유지보수를 보장합니다.
• 안전 우선 설계: 과온 및 수압에 대한 통합 자동 보호는 물리적 보호막 및 압력 릴리프 밸브와 결합되어 고압 고온 작업에서 여러 보안 계층을 제공합니다.

저희 엔지니어 팀이 귀하의 특정 연구 요구에 맞춰 이 시스템을 구성하거나 맞춤형 도가니 및 챔버 개조에 대해 논의할 준비가 되어 있습니다. 기술 상담 또는 공식 견적을 원하시면 오늘 문의하시기 바랍니다.