제품 개요
이 고성능 열처리 시스템은 자동화된 실험실 장비의 정점을 나타내며, 특히 첨단 재료 과학 및 산업 R&D 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 1200°C의 최대 작동 온도와 정교한 바텀 로딩 메커니즘을 결합하여, 이 장비는 복잡한 열처리를 위한 안정적이고 반복 가능한 환경을 제공합니다. 대구경 6인치 용융 석영 튜브의 통합은 최고 수준의 순도와 대기 제어를 유지하면서 대형 샘플 또는 고처리량 배치의 처리를 가능하게 합니다. 이 장치는 용량을 타협하지 않으면서 정밀도를 요구하는 연구자들을 위해 설계되어, 진공 및 제어된 가스 환경 모두를 위한 다용도 플랫폼을 제공합니다.
반도체 제조, 항공우주 재료 테스트, 첨단 세라믹과 같은 분야를 대상으로 하는 이 시스템은 소결, 어닐링, 화학 기상 증착을 포함한 중요한 공정을 용이하게 합니다. 수직 방향과 자동화된 스테이지는 샘플 오염과 열충격의 위험을 최소화하여, 민감한 기판이 극도로 신중하게 처리되도록 보장합니다. 견고한 구조는 연속 작업의 엄격한 조건을 견딜 수 있도록 제작되어, 고급 실험실 환경에 적합한 형식으로 산업 등급의 신뢰성을 제공합니다. 개별 실험에 사용되거나 더 큰 자동화 생산 라인에 통합되든, 이 시스템은 현대 공학의 엄격한 요구 사항을 충족하는 일관되고 고충실도의 결과를 제공합니다.
이 장비에 대한 신뢰는 정밀 설계된 구성 요소와 자율적인 기능에 의해 뒷받침됩니다. 이 시스템은 고품질 FeCrAlMo 발열체와 고급 PID 제어를 활용하여 열 균일성을 유지하면서 24/7 작동을 위해 설계되었습니다. 수동 개입의 필요성을 줄임으로써, 장비는 안전성과 효율성을 향상시켜 실험실 인력이 하드웨어 관리보다는 데이터 분석에 집중할 수 있게 합니다. 이 장치는 단순한 퍼니스가 아닙니다. 재료 개발 및 산업 공정 최적화에서 혁신의 속도를 가속화하도록 설계된 포괄적인 열처리 솔루션입니다.
주요 특징
- 자동 바텀 로딩 메커니즘: 정밀 모터 구동 스테이지는 샘플이 진동 없이 매끄럽게 가열 영역으로 이동할 수 있게 합니다. 이 수직 로딩 구성은 열 대칭성을 유지하고 내부 대기를 방해하지 않으면서 크거나 무거운 도가니를 처리하는 것을 단순화하는 데 이상적입니다.
- 듀얼 존 온도 제어: 총 길이 350mm의 두 개의 독립적인 가열 영역을 특징으로 하여, 특정 열 구배를 생성하거나 ±2°C 이내의 120mm의 넓고 극도로 균일한 정온 영역을 유지하는 데 탁월한 유연성을 제공합니다.
- 통합 대기 관리: 1-1000 sccm 질량 유량 제어기(MFC)와 스테인리스 스틸 수냉식 플랜지가 장착되어 있어, 정확한 가스 공급과 압력 조절을 가능하게 하며, 불활성, 산화 또는 환원 분위기를 쉽게 지원합니다.
- 고순도 용융 석영 챔버: 150mm OD 석영 튜브는 열충격에 강하고 공정의 시각적 모니터링을 허용하는 화학적으로 불활성 환경을 제공합니다. 높은 투명도는 열 사이클 동안 재료의 물리적 변화를 추적하는 연구자에게 필수적입니다.
- 자율 작동 준비 완료: 이 시스템은 PC 통합 및 로봇 팔 제어와 완벽하게 호환되어 24/7 자율 작동을 가능하게 합니다. 이는 지속적인 인간의 감독 없이도 고처리량 스크리닝 및 장기 안정성 테스트를 가능하게 합니다.
- 고급 터치 스크린 인터페이스: 사용자 친화적인 패널은 가열/냉각 속도 및 유지 시간을 포함한 모든 처리 매개변수를 통합합니다. 운영자는 50-세그먼트 프로파일을 프로그래밍하고 복잡한 열 레시피를 한 번의 터치로 실행할 수 있습니다.
- 우수한 진공 성능: 고품질 밀봉 플랜지와 선택적 분자 펌프 업그레이드가 포함되어 시스템이 10⁻⁵ Torr 까지의 깊은 진공 수준에 도달할 수 있어, 수분에 민감하거나 산소에 민감한 공정에 적합합니다.
- 포괄적인 냉각 시스템: 표준 16L/분 재순환 수냉식 쿨러가 포함되어 실리콘 O-링을 보호하고 밀봉 플랜지의 무결성을 유지하여, 지속적인 고온 작동 중에도 진공 씰의 장기 내구성을 보장합니다.
- 수소 안전 업그레이드: 특수 야금을 위해, 이 장치는 자동 수소 가스 버너, 누출 감지기 및 공급 장치로 업그레이드되어 고안전성 수소 가능 퍼니스로 변환될 수 있습니다.
응용 분야
| 응용 분야 | 설명 | 주요 이점 |
|---|---|---|
| 반도체 어닐링 | 제어된 가스 흐름 하에서 실리콘 또는 화합물 반도체 웨이퍼의 정밀 열처리. | 초안정 온도 영역을 통해 결함을 최소화하고 캐리어 이동도를 향상시킵니다. |
| 기술 세라믹 소결 | 첨단 세라믹 분말을 고온에서 치밀하고 고강도 부품으로 응고. | 자동 로딩은 취약한 생체 상태 부품의 기계적 충격을 방지합니다. |
| 박막 증착 | 다양한 기판에서 기상 수송 또는 CVD 공정을 위한 듀얼 존 구성을 활용. | 큰 6인치 직경 전체에 걸쳐 우수한 균일성이 일관된 필름 두께를 보장합니다. |
| 고처리량 스크리닝 | 로봇 통합을 사용한 재료 발견을 위한 연속적이고 자동화된 배치 사이클 실행. | 24/7 자율 작동을 통해 노동 비용을 줄이고 R&D 타임라인을 가속화합니다. |
| 배터리 재료 합성 | 특정 불활성 또는 반응성 분위기에서 음극/양극 재료의 소성 및 합성. | 고진공 및 MFC 제어를 통해 산화를 방지하고 화학적 순도를 보장합니다. |
| 수소 브레이징 | 산화를 방지하기 위해 환원 수소 환경에서 특수 금속 부품의 접합. | 통합 안전 버너 및 누출 감지는 위험 가스에 대한 안전한 환경을 제공합니다. |
| 결정 성장 | 고순도 단결정 성장을 위한 제어된 냉각 및 온도 구배. | 듀얼 존 PID 제어는 고품질 결정화에 필요한 정확한 열 기울기를 허용합니다. |
기술 사양
| 매개변수 범주 | TU-DZ14에 대한 사양 세부 정보 |
|---|---|
| 모델 번호 | TU-DZ14 |
| 전원 공급 | 220VAC +/- 10%, 50/60Hz, 단상 |
| 최대 전력 | 최대 6.0 kW |
| 최대 작업 온도 | 1200℃ (≤ 30 분 지속 시간) |
| 연속 온도 | 1100℃ (장기 작동) |
| 발열체 | 고급 FeCrAlMo 저항 와이어 |
| 가열 영역 구성 | 듀얼 존: 175mm (존 1) + 175mm (존 2) |
| 총 가열 길이 | 350 mm |
| 균일 온도 영역 | 120 mm (±2°C 이내로 유지) |
| 가열 속도 | 권장 10°C / 분 |
| 제어 인터페이스 | PLC 로직이 통합된 터치 스크린 패널 |
| 온도 컨트롤러 | 듀얼 50-세그먼트 프로그래밍 가능 컨트롤러 |
| 정확도 | 표준 ±1°C (선택적 Eurotherm 업그레이드 시 ±0.1°C) |
| 열전대 | 듀얼 K-타입 고정밀 프로브 |
| 원격 연결 | 기본 DB9 PC 포트 및 원격 모니터링을 위한 포함 소프트웨어 |
| 공정 튜브 치수 | 용융 석영: 150 mm OD x 144 mm ID x 600 mm 길이 |
| 플랜지 어셈블리 | 수냉식 SS304; 상부: 진공/가스 포트; 하부: 샘플 스테이지 |
| 가스 처리 | 1x 질량 유량 제어기 (MFC), 범위: 1 - 1000 sccm |
| 샘플 스테이지 | 130 mm 직경 석영 판 (고처리량에 맞춤 설정 가능) |
| 냉각 시스템 | 16L/분 재순환 수냉식 쿨러 포함 |
| 진공 능력 | 기계식: 10⁻² Torr; 분자식 (선택사항): 10⁻⁵ Torr |
| 인증 | 선택적 NRTL 인증 240 L/m 중장비 진공 펌프 이용 가능 |
우리를 선택하는 이유
- 뛰어난 정밀도와 안정성: 시스템의 듀얼 존 가열 구조는 고정밀 K-타입 센서와 PID 로직으로 뒷받침되어, 반복 가능한 재료 특성에 필요한 정확한 열 프로파일을 샘플이 경험하도록 보장합니다.
- 확장 가능한 자동화: 실험실 작업의 미래를 위해 설계된 이 장비는 수동 연구에서 완전히 자율적인 로봇 지원 작동으로 원활하게 전환되어 실험실의 생산량과 ROI를 크게 증가시킵니다.
- 산업용을 위한 견고한 구조: 수냉식 SS304 플랜지부터 중장비 석영 챔버까지, 모든 구성 요소는 연속적인 열 사이클링과 까다로운 화학 환경을 견딜 수 있는 능력으로 선택되었습니다.
- 유연한 대기 관리: 공정에 고진공, 불활성 가스 퍼징 또는 반응성 수소 분위기가 필요한지 여부에 관계없이, 이 장치는 단일 플랫폼 내에서 다양한 실험적 요구 사항을 처리할 수 있는 모듈성과 안전 기능을 제공합니다.
- 포괄적인 지원 및 맞춤화: THERMUNITS는 샘플 스테이지, 도가니 및 가스 공급 시스템을 맞춤 설정하여 장비가 특정 워크플로우에 통합될 준비가 된 상태로 도착하도록 보장하는 깊은 기술 전문 지식을 제공합니다.
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