첨단 소재 연구를 위한 자동 하부 로딩 및 1700°C 용량의 고온 수직 분위기 제어 로

분위기로

첨단 소재 연구를 위한 자동 하부 로딩 및 1700°C 용량의 고온 수직 분위기 제어 로

품목 번호: TU-DZ21

최대 온도: 1700°C 챔버 용량: 18 리터 (280mm x 300mm) 진공도: 10⁻² Torr
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제품 개요

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이 고성능 수직 분위기 제어 시스템은 현대 재료 과학의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 정밀 열처리 장비의 정점입니다. 독특한 자동 하부 로딩 메커니즘으로 설계된 이 장비는 고온 소결, 어닐링 및 용융 작업을 위한 원활한 인터페이스를 제공합니다. 이 장치는 분위기 무결성을 유지하는 데 탁월하여 연구원들이 진공 또는 특정 가스 환경에서 재현성과 열 균일성을 완벽하게 신뢰하며 작업할 수 있도록 합니다. 수직 방향과 고급 전동 리프팅을 결합하여 시료를 최대한 주의 깊게 다루며, 로딩 및 언로딩 단계에서 진동과 열충격을 최소화합니다.

이 시스템의 주요 가치는 수냉식 외부 환경을 유지하면서 1700°C의 극한 온도에 도달할 수 있다는 점입니다. 분위기 제어가 단순한 선호 사항이 아닌 기술적 필수 요소인 반도체 웨이퍼 처리, 기술 세라믹 개발 및 분말 야금 분야에 이상적입니다. 대상 산업으로는 항공우주 공학, 반도체 제조 및 고순도 화학 처리가 포함됩니다. 견고한 구조와 통합 냉각 기술은 이 장치가 1600°C에서 지속적으로 작동할 수 있도록 보장하며, 모든 산업 R&D 연구소나 소규모 생산 시설을 위한 신뢰할 수 있는 기반을 제공합니다.

장기적인 작동 일관성을 위해 설계된 이 장비는 고순도 섬유질 알루미나 단열재와 고급 이규화 몰리브덴(MoSi2) 발열체를 사용합니다. 이러한 조합은 빠른 열 반응과 뛰어난 에너지 효율을 가능하게 합니다. 사용자는 자동 압력 보호 및 실시간 모니터링을 포함한 통합 안전 프로토콜에 의존하여 복잡한 다단계 열 사이클 중에도 안전한 작업 환경을 유지할 수 있습니다. 이 시스템은 단순한 로(furnace) 그 이상이며, 재료 혁신의 한계를 뛰어넘도록 설계된 포괄적인 열처리 솔루션입니다.

주요 특징

  • 전동식 하부 로딩 메커니즘: 이 장치는 하부 플랜지의 자동 승강을 용이하게 하는 정밀 설계된 전기 모터 드라이브를 갖추고 있습니다. 이 설계는 무거운 시료(최대 50kg)를 손쉽게 적재할 수 있게 하며, 매번 열 구역 내에 완벽하게 중앙 배치되도록 보장합니다.
  • 고급 MoSi2 가열 기술: 고급 이규화 몰리브덴 발열체가 전략적으로 배치되어 우수한 열 균일성을 제공합니다. 이 발열체는 산화 환경을 견디고 최대 1700°C의 온도에서 구조적 무결성을 유지하는 능력 때문에 특별히 선택되었습니다.
  • 이중층 수냉식 챔버: 이 로는 수냉식 재킷이 포함된 이중층 강철 케이싱으로 제작되었습니다. 이러한 엔지니어링 선택은 진공 밀봉된 O-링을 보호하고 장시간 고온 사이클 중에도 작업자를 위해 외부 표면 온도를 안전하게 유지합니다.
  • 정밀 분위기 제어: 고품질 기계식 진공 펌프와 이중 유량계를 갖춘 이 시스템은 내부 환경에 대한 정밀한 제어를 가능하게 합니다. 사용자는 10⁻² torr의 진공 수준을 달성하거나 100~115 KPa 사이의 불활성 가스 양압을 일정하게 유지할 수 있습니다.
  • Eurotherm PID 온도 관리: 제어 시스템의 핵심은 세계 최고 수준의 Eurotherm 컨트롤러로, 24개의 프로그래밍 가능한 세그먼트를 제공합니다. 이를 통해 +/- 0.1°C의 정확도로 복잡한 램핑, 소킹 및 냉각 프로파일을 구현하여 민감한 재료에 대해 높은 수율의 결과를 보장합니다.
  • 고순도 알루미나 단열재: 내부 챔버는 고순도 섬유질 알루미나 단열재로 라이닝되어 있습니다. 이 낮은 열질량 소재는 최대의 에너지 절약, 더 빠른 가열 속도(최대 10°C/min)를 보장하며 소결 과정에서 고순도 시료의 오염을 방지합니다.
  • 통합 안전 및 보호 시스템: 이 장비에는 자동 튜닝 기능이 있는 내장형 PID 자동 제어, 과열 방지 및 열전대 단선 감지 기능이 포함되어 있습니다. 자동 압력 방출 밸브도 표준으로 제공되어 가스 보조 공정 중 과압을 방지합니다.
  • 실시간 데이터 수집: 내장된 RS485 통신 포트를 특징으로 하여 원격 모니터링, 데이터 로깅 및 복잡한 프로그램 관리를 위해 PC와 완전히 통합될 수 있으며, 중요한 연구 과정을 위한 디지털 감사 추적을 제공합니다.

응용 분야

응용 분야 설명 주요 이점
반도체 웨이퍼 어닐링 격자 손상을 복구하기 위해 제어된 진공 또는 불활성 가스 하에서 실리콘 또는 화합물 반도체 웨이퍼를 처리합니다. 웨이퍼 표면 전체에 걸쳐 향상된 전기적 특성 및 구조적 일관성.
기술 세라믹 소결 수직 구성에서 알루미나, 지르코니아 또는 탄화규소 부품의 고온 치밀화. 수직 열 대칭으로 인한 변형 감소 및 우수한 입자 크기 제어.
분말 야금 산화 및 불순물을 방지하기 위해 진공 상태에서 금속 분말을 고체 부품으로 통합. 우수한 기계적 강도와 순수한 화학 조성을 가진 고밀도 부품.
항공우주 재료 시험 비행 조건을 시뮬레이션하기 위해 첨단 합금 및 복합재를 극한의 열 응력 환경에 노출. 극한의 1700°C 환경에서 비행 핵심 부품에 대한 신뢰할 수 있는 성능 데이터.
유리 용융 및 연구 정밀한 냉각 제어가 가능한 고순도 도가니에서 특수 유리 배합을 소규모로 용융. 가열 환경으로부터의 오염 최소화 및 정밀한 굴절률 관리.
브레이징 및 접합 산소가 없는 분위기에서 고온 충전 금속을 사용하여 이종 재료를 접합. 높은 구조적 무결성과 깔끔한 미적 마감을 갖춘 강력하고 산화 없는 접합부.

기술 사양

매개변수 그룹 사양 세부 정보 값 / 요구 사항 (모델: TU-DZ21)
온도 등급 최대 작동 온도 1700°C (1시간 미만)
연속 작동 온도 800°C - 1600°C
온도 정확도 +/- 0.1 ºC
온도 균일성 +/- 0.5°C
권장 가열 속도 ≤ 10°C/min
챔버 구조 가열 챔버 치수 직경 280mm x 높이 300mm
유효 부피 18 리터
챔버 재질 수냉식 SS, 섬유질 알루미나 단열재 포함
로딩 메커니즘 전기 모터 구동식 하부 로딩
최대 적재 용량 50 Kg
분위기 및 진공 진공 수준 10⁻² Torr (포함된 기계식 펌프 사용)
압력 제어 범위 100 - 115 KPa (일정한 압력 제어)
가스 유량 관리 전면 패널에 2개의 통합 유량계
안전 기능 내장형 자동 압력 방출 밸브
제어 시스템 온도 컨트롤러 Eurotherm (PID, 1개 프로그램, 24개 세그먼트)
인터페이스 터치 스크린 제어 패널
열전대 B-타입
컴퓨터 연결성 RS485 포트 (PC 제어 준비 완료)
전력 및 유틸리티 전압 요구 사항 단상 220 VAC, 50/60Hz
최대 소비 전력 13 KW (20A 차단기 필요)
수냉식 16L/min 순환식 워터 칠러 (포함)
규정 준수 표준 CE 인증 (NRTL/CSA 이용 가능)

이 고온 수직 로를 선택해야 하는 이유

  • 비교할 수 없는 열 정밀도: Eurotherm 제어 로직과 MoSi2 발열체의 조합은 재료가 최고 수준의 정확도로 처리되도록 보장하며, 이는 반복 가능한 R&D 결과에 매우 중요합니다.
  • 산업 등급의 신뢰성: 까다로운 환경에서 24/7 작동하도록 설계된 수냉식 스테인리스 스틸 진공 챔버는 수년간의 집중적인 사용에도 구조적 무결성과 진공 성능을 유지합니다.
  • 우수한 시료 접근성: 전동식 하부 로딩 설계는 단순한 편의 기능이 아닙니다. 이는 정밀한 시료 배치를 가능하게 하고 발열체에 대한 열충격 위험을 줄이는 안전 및 품질 기능입니다.
  • 즉시 사용 가능한 완벽한 솔루션: 주변 장치를 별도로 구매해야 하는 시스템과 달리, 이 장치는 진공 펌프와 고용량 순환식 워터 칠러를 포함하고 있어 도착 즉시 배치가 가능합니다.
  • 확장성 및 맞춤화: 내장된 PC 제어 기능과 견고한 50kg 적재 용량을 갖춘 이 시스템은 실험실 규모의 실험과 파일럿 규모의 생산 사이의 격차를 해소합니다.

당사의 엔지니어링 팀은 귀하의 열처리 공정을 최적화할 준비가 되어 있습니다. 상세 견적을 받거나 이 수직 분위기 로를 귀하의 특정 연구 요구 사항에 맞게 맞춤화하는 방법에 대해 논의하려면 오늘 저희에게 연락하십시오.

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