제품 개요


이 고성능 수직형 튜브 퍼니스는 첨단 소재 연구를 위해 설계되었으며, 최대 1700°C의 온도가 필요한 공정에 안정적이고 제어된 환경을 제공합니다. 수직 방향을 활용함으로써, 이 시스템은 수평 구성에서는 달성하기 어려운 특정 열역학적 조건과 샘플 취급 기술을 용이하게 합니다. 이 장비는 고순도 발열체와 정교한 단열재를 통합하여 빠른 가열 주기와 탁월한 열 안정성을 보장하며, 차세대 재료 과학에 중점을 둔 실험실에 필수적인 도구입니다.
다양성을 고려하여 설계된 이 장비는 진공 및 제어 분위기 응용 분야 모두에서 뛰어난 성능을 발휘합니다. 고성능 세라믹 소결, 분말 재료의 고상 합성, 특수 합금 개발 등에 자주 사용됩니다. 수직 설계는 중력이 실험 설정에서 중요한 역할을 하는 용융염이나 매달린 샘플과 관련된 응용 분야에 특히 유용합니다. 대상 산업 분야로는 항공우주, 반도체 제조, 야금 및 정밀도와 반복성이 필수적인 학술 연구 기관이 있습니다.
장기적인 신뢰성과 작동 안전성에 중점을 두고 제작된 이 장치는 공랭식 이중 레이어 강철 케이싱을 특징으로 하여 최고 작동 중에도 외부 표면 온도를 낮게 유지합니다. 고순도 알루미나 처리 튜브와 이규화 몰리브덴(MoSi2) 발열체를 포함한 내부 구성 요소는 엄격한 열 순환 조건에서도 내구성을 발휘하도록 선택되었습니다. 이 시스템은 조달 팀과 연구원들에게 까다로운 산업 및 실험실 조건에서 일관된 결과를 제공할 수 있다는 확신을 주며, 포괄적인 인증 준비 상태를 갖추고 있습니다.
주요 특징
- 수직 구성의 우수성: 이 시스템의 수직 방향은 독특한 샘플 배치와 최적화된 가스 흐름 역학을 가능하게 하여, 중력 보조 처리나 특정 대류 패턴이 필요한 실험을 용이하게 합니다.
- 정밀 온도 제어: SCR 전력 조절 기능이 있는 고급 PID 컨트롤러를 사용하여 30개의 프로그래밍 가능한 세그먼트 전반에서 ±1°C의 온도 정확도를 유지하며, 복잡한 열 프로파일을 정확하게 준수합니다.
- 초고온 MoSi2 발열체: 4개의 U자형 1800등급 이규화 몰리브덴(MoSi2) 발열체를 장착하여 빠른 승온 속도를 달성하고 최대 1700°C까지 탁월한 수명으로 작동을 유지합니다.
- 고순도 알루미나 처리 튜브: 80mm 외경 튜브는 99.5% 순도의 Al2O3로 제작되어 극한 온도에서 뛰어난 화학적 내성과 구조적 무결성을 제공하여 고순도 재료 처리에 적합합니다.
- 우수한 단열 성능: 챔버는 1800°C 등급의 섬유질 알루미나 단열재로 라이닝되어 있어 열 손실을 최소화하고 에너지 효율을 높이는 동시에 외부 케이싱을 안전하게 만질 수 있도록 유지합니다.
- 고급 진공 및 가스 밀봉: 이 시스템에는 이중 실리콘 O-링과 니들 밸브가 포함된 고강도 스테인리스 스틸 플랜지가 포함되어 있으며, 적절한 펌핑 시스템과 결합 시 10^-5 Torr 수준의 진공도를 지원합니다.
- 안전 우선 설계: 통합된 과열 및 열전대 고장 경보 장치가 장비와 샘플을 모두 보호하며, 이중 쉘 설계는 고열 주기 동안 구조적 안정성을 보장합니다.
- 유연한 분위기 관리: 표준 1/4" 바브 피팅과 니들 밸브를 통해 불활성 또는 반응성 가스를 정밀하게 주입할 수 있어 다양한 화학 기상 증착(CVD) 및 어닐링 공정을 지원합니다.
- 디지털 통신 준비: 표준 DB9 PC 통신 포트를 갖추고 있어 원격 모니터링 및 데이터 로깅이 가능하며, R&D 기록을 위한 포괄적인 문서화를 용이하게 합니다.
응용 분야
| 응용 분야 | 설명 | 주요 이점 |
|---|---|---|
| 세라믹 소결 | 기술 세라믹 분말을 고밀도 구조 부품으로 고온 압축. | 탁월한 밀도 및 입자 크기 제어. |
| 결정 성장 | 수직으로 제어된 열 구배에서 용융물이나 증기로부터 단결정 처리. | 균일한 성장 및 열 응력 감소. |
| 촉매 합성 | 특정 분위기 조건에서 촉매 재료의 열 활성화 및 하소. | 높은 표면적 및 활성 부위 유지. |
| 반도체 어닐링 | 실리콘 또는 화합물 반도체 웨이퍼의 주입 후 또는 증착 후 열처리. | 최소한의 확산으로 정밀한 도펀트 활성화. |
| 산화물 합성 | 금속 산화물의 고상 반응을 통한 복합 세라믹 또는 전자 재료 형성. | 정밀한 PID 제어를 통한 균일한 상 형성. |
| 재료 피로 시험 | 고응력 산업 환경을 시뮬레이션하기 위한 야금 샘플의 수직 열처리. | 극한 열 부하의 신뢰성 있는 재현. |
| CVD 연구 | 박막 응용 분야를 위한 대기압 또는 저압 화학 기상 증착. | 오염 없는 환경 및 가스 제어. |
| 야금 R&D | 고성능 국부 합금 개발을 위한 용융 및 급랭 연구. | 빠른 열 응답 및 수직 접근성. |
기술 사양
| 카테고리 | 매개변수 | TU-C19 사양 |
|---|---|---|
| 챔버 구조 | 쉘 재질 | 공랭식 이중 레이어 강철 케이싱 |
| 단열재 재질 | 고순도 1800°C 등급 섬유질 알루미나 | |
| 성능 | 최대 온도 | 1700°C (1시간 미만) |
| 연속 작동 온도 | 800°C ~ 1600°C | |
| 가열/냉각 속도 | 5℃/분 (> 1200℃) / 10℃/분 (< 1200℃) | |
| 온도 정확도 | ± 1°C | |
| 가열 구역 | 총 가열 길이 | 120 mm |
| 항온 구역 | 70 mm (± 1°C 이내) | |
| 발열체 | 4개 U자형 1800등급 MoSi2 | |
| 처리 튜브 | 치수 | 내경: 74 mm; 외경: 80 mm; 길이: 1000 mm |
| 재질 | 99.5% 고순도 Al2O3 세라믹 | |
| 액세서리 | 섬유질 세라믹 튜브 블록 2개 포함 | |
| 제어 시스템 | 컨트롤러 모델 | FA-YD518P-AG (자동 튜닝 기능 포함 PID) |
| 프로그래밍 | 30개 세그먼트 (승온, 냉각, 유지) | |
| 인증 | MET 인증 (컨트롤러) | |
| 경보 | 과열 및 열전대 고장 | |
| 진공 및 가스 | 밀봉 유형 | 이중 실리콘 O-링이 있는 스테인리스 스틸 플랜지 |
| 진공도 | 50 m-torr (기계식) / 10^-5 torr (분자식) | |
| 밸브/피팅 | SS 니들 밸브 2개; 다이얼 진공 게이지; 1/4" 바브 피팅 | |
| 전기 | 전압 | 단상, 220V AC, 50/60 Hz |
| 최대 전력 | 4 KW | |
| 전원 케이블 | 10피트 고강도 UL 승인 (10-3 AWG) | |
| 규정 준수 | 표준 | CE 인증; UL/CSA 준비 완료 |
작동 지침 및 안전 정보
- 발열체 유지보수: MoSi2 발열체는 고온에서 보호용 SiO2 막을 형성합니다. 발열체 손상을 방지하기 위해 400°C ~ 700°C 사이에서 장시간 작동하지 마십시오. 이 특정 범위에서는 발열체가 급격히 산화(화장)될 수 있습니다.
- 압력 관리: 이 시스템은 진공 및 저압 작동(< 0.02 Mpa)을 위해 설계되었습니다. 가스 실린더에는 항상 2단계 압력 조절기를 사용하여 입력 압력을 3 PSI로 제한하십시오.
- 가스 흐름 제한: 최적의 성능과 안전을 위해 가스 유량은 200 SCCM 미만으로 유지해야 합니다.
- 튜브 수명: 알루미나 튜브 사용 시 구조적 무결성을 유지하기 위해 진공 압력은 1500°C까지만 적용해야 합니다.
TU-C19를 선택해야 하는 이유
- 입증된 열 일관성: MoSi2 발열체와 고급 알루미나 단열재의 조합은 업계 최고의 열 균일성과 1700°C의 최고 성능으로 귀하의 연구를 지원합니다.
- 강력한 진공 무결성: 정밀 가공된 스테인리스 스틸 플랜지로 설계되어 민감한 반도체 및 항공우주 재료 처리에 필수적인 엄격한 분위기 순도를 유지합니다.
- 인증 및 규정 준수: 품질에 대한 당사의 약속은 MET 인증 제어 시스템과 CE 규정 준수에 반영되어 있으며, 귀하 시설의 안전 승인을 위한 지름길을 제공합니다.
- 모듈식 맞춤화: 업그레이드된 Eurotherm 컨트롤러부터 자동화된 LabVIEW 기반 소프트웨어 모니터링까지, 시스템은 귀하 실험실의 특정 디지털 인프라 및 데이터 로깅 요구 사항을 충족하도록 맞춤화될 수 있습니다.
- 산업 등급 제작 품질: 이중 쉘 강철 케이싱부터 UL 승인 전원 케이블에 이르기까지 모든 구성 요소는 고처리량 산업 및 R&D 환경에서의 수명을 위해 선택되었습니다.
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