제품 개요
이 고온 실험 장비는 엄격한 소재 연구, 개발 및 공정 검증을 위해 특별히 설계된 열 공학의 정점을 나타냅니다. 고온 가열, 정교한 진공-분위기 제어 및 급속 열처리 기능을 통합함으로써, 이 장비는 가장 까다로운 실험실 환경을 위한 다목적 플랫폼 역할을 합니다. 수직 개방형 구조는 최대의 접근성과 유연성을 위해 설계되어 연구자들이 기본 소재 소결에서 복잡한 화학 기상 증착(CVD) 또는 진공 어닐링으로 원활하게 전환할 수 있게 합니다. 산업용 견고함으로 제작된 이 장치는 대학 실험실, 반도체 R&D 센터 및 항공우주 제조 분야의 재료 과학자들이 요구하는 정밀도를 제공합니다. 이는 엔지니어링 우수성에 대한 헌신을 반영하여, 고진공 또는 특수 가스 분위기에서 최대 1700℃의 온도로 작동할 때도 모든 열 사이클이 일관되고 반복 가능하며 안전하도록 보장합니다.
주요 특징
- 수직 개방형 구조: 로체는 수직으로 분리되도록 설계되어 반응 튜브에 180도 접근이 가능하며, 쉬운 시료 적재, 유지보수 및 내부 모니터링 센서나 급냉 모듈 통합이 용이합니다.
- 3구역 정밀 가열: 세 개의 독립적인 온도 구역의 개별 제어를 통한 고급 다단계 프로그래밍은 ±1.5℃ 균일성을 위한 최적화된 열 보상과 함께 넓은 항온 영역을 보장합니다.
- 고순도 알루미나 단열재: 챔버는 1700등급 고순도 알루미나 폴리크리스탈린 섬유를 사용하며, 이 소재는 매우 낮은 열용량과 우수한 내열충격성으로 선택되어 빠른 가열 및 에너지 효율성을 보장합니다.
- 고급 MoSi2 발열체: 고밀도 실리콘 몰리브덴봉으로 구성된 가열 시스템은 극한 온도에서 지속 작동이 가능하며, 1800℃까지 요구되는 환경을 위한 선택적 업그레이드가 가능합니다.
- 통합형 급속 냉각 시스템: 내장형 공기 냉각 순환 시스템 및 선택적 수냉 플랜지는 고속 온도 강하를 용이하게 하여, 상변화 연구를 위해 10초 이내에 시료가 급냉 처리를 받을 수 있게 합니다.
- 정교한 진공 밀폐: 이 장비는 이중 O형 플루오르 고무 밀폐 시스템 및 수냉 플랜지를 특징으로 하여, 고성능 분자 펌프 유닛과 결합 시 ≤5×10⁻⁴ Pa-m³/s의 진공 누설율을 달성합니다.
- 지능형 PID 제어 로직: 고급 일본 시마덴 또는 유럽 콘티넨탈 계측기를 활용하는 이 시스템은 50단계 프로그래밍, RS485 통신 및 여러 사전 설정 공정 프로파일의 저장을 지원합니다.
- 분위기 관리 시스템: 고정밀 솔레노이드 밸브 및 압력 조절기가 장착된 양방향 질량 유량계 시스템은 수소를 포함한 불활성 또는 반응성 가스의 제어된 주입을 허용합니다.
- 포괄적인 안전 인터록: 시스템은 과열 자동 전원 차단, 파단된 열전대 알람, 수압 모니터링 및 비상 압력 릴리프 밸브를 포함한 다중 안전 계층으로 보호됩니다.
- 모듈식 확장 호환성: 다용도성을 위해 설계된 이 플랫폼은 회전식 시료 스테이지, 적외선 온도계 및 가스 분석기와 같은 외부 모듈을 지원하여 변화하는 연구 요구 사항에 적응합니다.
응용 분야
| 응용 분야 | 설명 | 주요 이점 |
|---|---|---|
| 반도체 CVD | 기상 전구체를 사용하여 실리콘 또는 사파이어 기판 위에 박막 및 나노 소재 증착. | 정밀한 가스 유량 및 온도 제어로 균일한 박막 두께와 높은 순도를 보장. |
| 항공우주 세라믹 | 세라믹 매트릭스 복합재(CMC) 및 터빈 구성품의 고온 소결 및 응력 테스트. | 수직 배향은 긴 구조물 부품을 수용하면서 극한의 열 안정성을 유지. |
| 리튬 배터리 R&D | 제어된 질소 또는 아르곤 분위기 하에서 양극/음극 소재의 소성 및 합성. | 열 사이클의 높은 반복성으로 일관된 전기화학 성능 데이터 확보. |
| 진공 어닐링 | 무산소 환경에서 내화금속 및 특수 합금의 응력 완화 및 결정립 구조 정제. | 산화 및 오염을 방지하여 시료의 금속학적 완전성 유지. |
| 급속 냉각 | 산업적 냉각 공정을 모사하기 위해 급격한 온도 강하 후 재료 특성 테스트. | 수초 내에 비평형 상 및 미세구조 발달 연구 가능. |
| 고체 조명 | 고순도 열 환경이 필요한 형광체 및 광학 결정 합성. | 깨끗한 알루미나 챔버가 도펀트 교차 오염을 방지하고 높은 발광 수율 보장. |
| 탄소 나노튜브 성장 | 화학 기상 증착을 통한 CNT 숲 및 그래핀 구조의 수직 성장. | 성장 구역 전반의 최적화된 열 구배로 우수한 정렬도와 밀도 제공. |
기술 사양
| 매개변수 범주 | TU-21 모델 상세 사양 |
|---|---|
| 최대 작동 온도 | 1700℃ (MoSi2 발열체); 선택사항 1800℃ (흑연/SiC) |
| 가열 속도 | 최대 ≤15℃/분; 권장 ≤10℃/분 |
| 냉각 속도 | 최대 ≤10℃/분; 급냉 모듈은 ≤10초 강하 달성 |
| 온도 균일성 | ±1.5℃ (150mm 항온 구역 내) |
| 온도 제어 | 일본 시마덴 FP93 / 콘티넨탈 3504; 50단계; PID 자동 동조 |
| 로 챔버 재질 | 1700등급 고순도 알루미나 폴리크리스탈린 섬유 |
| 표준 튜브 크기 | 코런덤 튜브 (외경 Φ60mm × 길이 1200mm) |
| 튜브 재질 옵션 | 석영, 스테인리스 스틸 또는 맞춤형 내화 튜브 (Φ30-100mm) |
| 내압 성능 | ≤ 0.1MPa (진공/정압) |
| 진공 성능 | 기계 펌프: 5×10⁻² Pa; 분자 펌프: 5×10⁻⁴ Pa |
| 밀폐 인터페이스 | 이중 O형 플루오르 고무 (250℃ 등급) + KF25 플랜지 |
| 가스 제어 시스템 | 양방향 질량 유량계 (0-500sccm); 정확도 ±1% |
| 전원 구성 | 220V/380V 전압 맞춤화 지원 |
| 구조 설계 | 통합형 공기 냉각 장치가 있는 수직 이중층 스테인리스 스틸 케이싱 |
| 안전 보호 | 과열 전원 차단, 열전대 파단, 수압/가스압 알람, 누전 차단기 |
| 외부 치수 | 이동용 바퀴 및 수평 조절 발이 있는 수직 설치 면적 |
선택 이유
- 입증된 장기 신뢰성: 산업용 등급 구성품과 이중층 케이싱으로 제작된 이 로는 고위험 연구 환경에서 성능 저하 없이 연속 작동하도록 설계되었습니다.
- 탁월한 열 정밀도: 3구역 독립 보상 기술은 민감한 CVD 및 소결 공정의 성공에 중요한 수준의 온도 균일성과 안정성을 제공합니다.
- 뛰어난 모듈식 유연성: 고진공, 특수 가스 회로 또는 회전식 시료 스테이지가 필요한지 여부에 관계없이, 이 시스템은 모듈식 인터페이스를 통해 연구 요구 사항과 함께 성장하도록 설계되었습니다.
- 엄격한 안전 기준: 수소 가스 처리부터 고압 릴리프에 이르기까지, 시스템은 실험실 직원과 고가치 재료를 보호하기 위해 중복 안전 메커니즘을 통합합니다.
- 정밀 제조: 모든 장치는 산업용 견고성과 기술적 우수성에 대한 우리의 엄격한 기준을 충족하도록 엄격한 교정 및 진공 누출 테스트를 거칩니다.
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