제품 개요


이 수직형 열처리 시스템은 고정밀 재료 연구 및 산업용 열처리를 위해 설계되었습니다. 수직 방향을 활용함으로써, 중력을 이용한 시료 배치나 특정 대류 흐름 패턴이 필요한 담금질 테스트 및 기상 증착(vapor phase deposition)과 같은 특수 공정을 용이하게 수행할 수 있습니다. 이 장치는 엄격하게 제어되는 진공 또는 가스 퍼지 환경에서 신속한 가열 및 냉각 기능이 필요한 실험실에 강력한 솔루션을 제공하며, 민감한 재료 합성 시 고순도의 결과를 보장합니다.
이 시스템은 박막 개발, 분말 코팅, 기초 화학 기상 증착(CVD) 공정을 포함한 첨단 재료 과학 응용 분야에 특히 적합합니다. 작업 공간은 5인치 직경의 대형 석영 튜브를 수용하도록 설계되어 다양한 실험 설정을 위한 충분한 용량을 제공합니다. 대상 산업 분야는 반도체 연구 및 항공우주 부품 테스트부터 금속 공학 및 세라믹 공학에 이르기까지, 정밀도와 반복성이 성공적인 R&D 성과를 위한 필수 요건인 분야를 망라합니다.
장기적인 작동 신뢰성에 중점을 두고 제작된 이 전기로는 이중 레이어 강철 케이싱과 고순도 알루미나 섬유 단열재를 특징으로 합니다. 이러한 구조는 최대의 에너지 효율과 탁월한 온도 균일성을 보장하는 동시에 작업자 안전을 위해 외부 표면 온도를 낮게 유지합니다. 고급 PID 제어 기술이 통합되어 복잡한 열 프로파일을 구현할 수 있으며, 연구자들은 모든 사이클에서 일관되고 문서화된 성능으로 까다로운 가열 프로토콜을 자신 있게 실행할 수 있습니다.
주요 특징
- 수직형 공정 혁신: 이 시스템의 수직 구성은 시료 방향이 중요한 담금질 및 증착 공정에 최적화되어 있습니다. 이 설계는 고온 영역 내에서 시료를 쉽게 매달 수 있게 하여 열과 반응성 가스에 균일하게 노출되도록 합니다.
- 고용량 석영 챔버: 130mm 외경의 용융 석영 튜브가 장착되어 있어 더 큰 시료나 여러 개의 도가니를 동시에 수용할 수 있습니다. 진공 등급의 석영은 화학적 불활성을 보장하며 열처리 중 내부 공정을 시각적으로 모니터링할 수 있게 합니다.
- 통합형 분할 도어 설계: 전기로 케이싱은 견고한 알루미늄 프레임으로 지지되는 분할형 구조를 특징으로 합니다. 이 설계는 처리 튜브의 신속한 설치 및 제거를 가능하게 하며, 전체 배기 시스템을 분해할 필요 없이 유지보수나 실험 조정을 위한 쉬운 접근성을 제공합니다.
- 정밀한 분위기 제어: 두 개의 고강도 스테인리스 스틸 플랜지가 진공 또는 불활성 가스 작동을 위한 기밀 밀봉을 제공합니다. 통합된 니들 밸브, 진공 게이지 및 바브 피팅을 통해 내부 환경을 정밀하게 조절할 수 있으며, 적절한 펌핑 시스템을 사용하여 최대 10⁻⁵ Torr까지의 진공도를 지원합니다.
- 정교한 열 관리: 30세그먼트 프로그래밍 가능 PID 컨트롤러로 구동되는 이 시스템은 ±1°C의 정확도를 제공합니다. 이를 통해 가열 속도, 유지 시간 및 냉각 단계를 세밀하게 제어할 수 있으며, 내장된 자동 튜닝 기능과 포괄적인 과열 방지 기능을 갖추고 있습니다.
- 내구성 있는 발열체: 몰리브덴이 도핑된 특수 Fe-Cr-Al 합금 발열체를 사용합니다. 이 발열체는 까다로운 산업 환경에서 안정적인 저항과 긴 수명을 유지하면서 고온 사이클링의 가혹함을 견딜 수 있도록 설계되었습니다.
- 첨단 안전 공학: 능동형 공랭식 이중 레이어 강철 구조는 외부 열 복사를 최소화합니다. 과열 또는 열전대 고장에 대한 안전 경보 및 자동 종료 프로토콜이 포함되어 있어 무인 작동 중에도 시스템이 안전하게 보호됩니다.
- 모듈형 확장 기능: 이 장비는 다용성을 위해 설계되었습니다. 분말 코팅을 위한 유동층 시스템이나 완전한 CVD/PVD 증착 전기로로 쉽게 개조할 수 있어, 변화하는 연구 요구 사항에 대비한 미래 지향적인 플랫폼을 제공합니다.
응용 분야
| 응용 분야 | 설명 | 주요 이점 |
|---|---|---|
| 담금질(Quenching) 연구 | 수직 방향을 통해 전기로 아래에 위치한 냉각 매체로 시료를 빠르게 낙하시킬 수 있습니다. | 이동 중 열 손실을 최소화하여 정확한 상변태 데이터를 보장합니다. |
| CVD / PVD 코팅 | 제어된 분위기에서 기화된 전구체를 사용하여 다양한 기판 위에 고순도 박막을 합성합니다. | 대구경 튜브를 통해 더 큰 기판 처리 및 균일한 막 두께를 구현합니다. |
| 분말 야금 | 산화를 방지하고 재료 무결성을 보장하기 위해 진공 상태에서 금속 분말을 소결 및 열처리합니다. | 정밀한 분위기 제어로 반응성 금속 조성물의 순도를 유지합니다. |
| 기상 중합 | 단량체를 고분자 필름으로 변환하는 특수 화학 합성 공정입니다. | 300mm에 걸친 일관된 온도 영역으로 균일한 중합 속도를 보장합니다. |
| 세라믹 소결 | 고밀도와 특정 기계적 특성을 얻기 위해 세라믹 부품을 고온에서 소성합니다. | ±1°C의 정확도로 열충격을 방지하고 구조적 일관성을 보장합니다. |
| 용융염 연구 | 투명한 석영 벽을 통해 고온에서 염의 거동을 모니터링합니다. | 챔버 오염 위험 없이 부식성 물질을 안전하게 관찰할 수 있습니다. |
| 재료 노화 테스트 | 항공우주 또는 에너지 부품의 산업적 수명 주기를 시뮬레이션하기 위한 장기 열 사이클링입니다. | 30세그먼트 프로그래밍으로 복잡하고 자동화된 장기 테스트 프로토콜이 가능합니다. |
| 유동층 공정 | 균일한 표면 개질을 위해 ALD 전달 시스템을 사용하여 분말 코팅용으로 개조합니다. | 5인치 대용량 챔버가 효율적인 분말 부유를 위한 공간을 제공합니다. |
기술 사양
| 매개변수 | TU-C08 사양 |
|---|---|
| 품목 번호 | TU-C08 |
| 정격 출력 | 3.0 KW |
| 작동 전압 | 208 - 240VAC, 단상, 50/60 Hz |
| 최대 온도 | 1200°C (단시간 < 1시간) |
| 연속 작동 온도 | 1100°C |
| 최대 가열 속도 | ≤ 15°C / 분 |
| 튜브 재질 | 고순도 용융 석영 |
| 튜브 치수 | Φ130 외경 x Φ120 내경 x 750 길이 (mm) |
| 가열 영역 길이 | 300 mm (단일 영역) |
| 균일 온도 영역 | 100 mm (±2°C) |
| 온도 컨트롤러 | 30 프로그래밍 가능 세그먼트; PID 자동 튜닝; 과열/열전대 단선 보호 |
| 온도 정확도 | ± 1°C (옵션: ± 0.1°C용 Eurotherm) |
| 발열체 | 몰리브덴 도핑 Fe-Cr-Al 합금 |
| 진공 밀봉 | 시료 걸이용 후크 링이 포함된 이중 스테인리스 스틸 플랜지 |
| 진공도 | 10⁻² Torr (기계식 펌프) / 10⁻⁵ Torr (터보 펌프) |
| 피팅 포트 | 표준 1/4" 바브 피팅 및 니들 밸브 (Swagelok 또는 KF25로 맞춤 설정 가능) |
| 전기로 케이싱 | 공랭식 이중 레이어 강철; 분할 도어 설계 |
| 단열재 | 고순도 Al₂O₃ 섬유 단열재 |
| 프레임 구조 | 수직 안정성을 위한 고강도 알루미늄 프레임 |
TU-C08을 선택해야 하는 이유
- 프리미엄 엔지니어링 표준: 몰리브덴 도핑 발열체부터 고순도 Al₂O₃ 섬유 단열재에 이르기까지 산업용 등급의 재료를 사용하여 제조되어 탁월한 열 효율과 장기적인 내구성을 보장합니다.
- 정밀도 및 안정성: 30세그먼트 PID 컨트롤러와 초정밀 Eurotherm 통합 옵션을 통해, 미세한 편차도 결과에 영향을 줄 수 있는 민감한 재료 합성에 필요한 수준의 제어를 제공합니다.
- 다양한 작동 범위: 고진공(최대 10⁻⁵ Torr) 또는 흐르는 가스 분위기에서 작동하든, 이중 플랜지 밀봉 시스템은 다양한 화학적 및 물리적 공정을 위한 누설 테스트 완료된 환경을 보장합니다.
- 안전 우선 설계: 공랭식 이중 레이어 강철 구조는 표면 온도를 획기적으로 낮추며, 과열 및 센서 고장에 대한 통합 안전 경보는 바쁜 실험실 환경에서 안심하고 사용할 수 있게 합니다.
- 확장 가능한 연구 플랫폼: 핵심 기능 외에도 이 장치를 CVD 시스템, PVD 전기로 또는 유동층으로 개조할 수 있어 연구 요구 사항과 함께 성장하는 고가치의 투자가 됩니다.
기술 상담을 원하시거나 귀하의 특정 진공 및 분위기 요구 사항에 맞춘 공식 견적을 요청하시려면 지금 바로 당사 엔지니어링 팀에 문의하십시오.
조회를 요청하다
우리의 전문 팀이 영업일 기준 1일 이내에 답변을 드릴 것입니다. 언제든지 연락 주시기 바랍니다!
관련 제품
급속 열 담금질 및 제어 분위기 재료 처리를 위한 스테인리스 스틸 진공 플랜지 장착 소형 수직 분할형 석영 튜브로
고정밀 연구를 위해 설계된 이 소형 수직 분할형 석영 튜브로는 최대 1100°C까지 급속 가열이 가능합니다. 스테인리스 스틸 진공 플랜지와 30단계 프로그래밍 제어 기능을 갖추고 있어 재료 과학 및 산업용 담금질 응용 분야에 필수적인 도구입니다. 신뢰할 수 있는 성능을 제공합니다.
급속 열처리를 위한 1200℃ 석영 튜브 및 스테인리스 스틸 진공 플랜지가 장착된 분할형 수직 튜브 퍼니스
이 1200°C 분할형 수직 튜브 퍼니스는 5인치 석영 튜브와 정밀 PID 제어를 특징으로 하여, 수요가 많은 산업 실험실 환경에서 급속 냉각, 진공 처리 및 고급 재료 합성을 위한 연구 효율을 극대화합니다.
80mm 석영 튜브 및 스테인리스 스틸 진공 플랜지가 포함된 1100°C 분할형 수직 튜브 퍼니스
이 고성능 1100°C 분할형 수직 튜브 퍼니스는 80mm 석영 튜브, 스테인리스 스틸 진공 플랜지 및 정밀한 30단계 PID 제어 기능을 갖추고 있습니다. 전문 산업 연구소를 위한 재료 R&D, 급속 냉각(Quenching) 및 분위기 제어 열처리를 위해 설계되었습니다.
1200°C 3구역 수직 튜브 퍼니스 (2인치 석영 튜브 및 진공 플랜지 포함)
2인치 석영 튜브와 고급 진공 플랜지를 갖춘 정밀 1200°C 3구역 수직 튜브 퍼니스입니다. CVD 및 PVD 공정을 위해 설계된 이 고성능 시스템은 첨단 소재 연구 개발을 위한 뛰어난 열 균일성과 신속한 급랭 기능을 제공합니다.
1200C 고온 분위기 제어 수직 퀜칭(담금질) 튜브 로(4인치 석영 튜브 포함)
이 1200C 수직 퀜칭 로는 자동 전자석 샘플 방출 장치와 4인치 진공 밀폐 석영 튜브를 갖추고 있어, 첨단 재료 상변화 연구 및 산업용 금속 공학 연구를 위한 정밀한 분위기 제어와 급속 냉각 기능을 제공합니다.
4인치 석영관 및 스테인리스 스틸 진공 플랜지가 장착된 1200C 최대 5구역 분할 수직 튜브 퍼니스
이 고성능 1200C 5구역 분할 수직 튜브 퍼니스는 5개의 독립 가열 구역과 4인치 석영관을 갖추고 있어, 첨단 소재 연구와 산업용 열처리를 위한 뛰어난 온도 균일성과 빠른 급냉 기능을 제공합니다.
1200C 3존 분할형 수직 튜브 퍼니스 4인치 석영 튜브 스테인리스 스틸 진공 플랜지
이 1200C 3존 분할형 수직 튜브 퍼니스는 고정밀 열처리를 위해 4인치 석영 튜브와 스테인리스 스틸 진공 플랜지를 갖추고 있습니다. 재료 담금질 및 합성에 적합하며, 이 견고한 시스템은 균일한 가열과 빠른 시료 장입 접근을 보장합니다.
24인치 가열 구역 및 수냉식 플랜지를 갖춘 1100°C 대구경 석영 튜브 퍼니스
이 1100°C 대구경 석영 튜브 퍼니스는 24인치 가열 구역과 정밀한 CVD 공정을 위한 수냉식 플랜지를 특징으로 합니다. 재료 연구 및 산업용 R&D에 이상적이며, 뛰어난 열 안정성과 강력한 열 성능을 제공합니다.
진공 분위기 열처리를 위한 11인치 또는 15인치 석영 튜브와 힌지 플랜지가 적용된 3구역 튜브로
정밀한 진공 제어와 전동식 리드 작동으로 산업 연구실 안전성을 확보한 대규모 웨이퍼 어닐링 및 재료 합성용 11인치 또는 15인치 석영 튜브가 특징인 이 3구역 튜브로로 우수한 열 균일성을 구현하세요.
듀얼 존 석영관 노, 80mm 직경, 최고 온도 1200℃, 3채널 가스 혼합기 및 진공 펌프 시스템
이 고급 듀얼 존 석영관 노는 80mm 직경 관, 통합 3채널 가스 혼합 및 고성능 진공 시스템을 갖추고 있습니다. CVD 및 재료 연구에 완벽하며, 정밀한 1200℃ 열처리와 부식 방지 진공 모니터링 기능을 제공합니다.
수직 개방형 튜브로 0-1700℃ 고온 실험실 시스템, CVD 및 진공 열처리용
고급 소재 연구를 위해 설계된 이 1700℃ 수직 개방형 튜브로는 정밀한 3구역 가열 및 급속 냉각 기능을 갖추고 있습니다. CVD 공정 및 진공 어닐링에 이상적이며, 까다로운 R&D 환경을 위한 산업용 등급의 신뢰성, 분위기 제어 및 모듈식 유연성을 제공합니다.
대형 웨이퍼 처리를 위한 8.5~11인치 외경 석영 튜브 및 진공 플랜지가 포함된 1100°C 3존 튜브 퍼니스
8.5~11인치 외경의 대형 석영 튜브와 밀폐형 플랜지를 갖춘 정밀 1100°C 3존 튜브 퍼니스입니다. 뛰어난 열 균일성과 고진공 호환성을 바탕으로 산업용 R&D 프로젝트 및 대규모 웨이퍼 처리와 첨단 재료 연구를 위해 설계되었습니다.
24인치 가열 길이 및 힌지형 플랜지 쿼츠 튜브 시스템을 갖춘 3존 튜브 퍼니스
이 전문적인 3존 튜브 퍼니스는 24인치 가열 길이와 효율적인 샘플 로딩을 위한 힌지형 플랜지를 특징으로 합니다. 1200°C 공정에 최적화되어 있으며, 첨단 산업 재료 연구를 위한 정밀한 온도 균일성과 진공 호환성을 제공합니다.
다구역 어닐링 및 재료 연구를 위한 3인치 석영 튜브가 포함된 고처리량 1200C 4채널 튜브 퍼니스
각 3인치 석영 튜브에 대한 독립적인 제어 기능을 갖춘 당사의 고급 1200C 4채널 튜브 퍼니스로 재료 연구를 가속화하십시오. 이 고처리량 시스템은 산업 및 학술 R&D 연구소의 어닐링 및 상태도 연구를 위한 독보적인 효율성을 제공합니다.
1100°C 고온 석영 챔버 퍼니스, 8인치 외경, 7.6리터 용량 및 진공 분위기 제어 가능
8인치 외경과 7.6리터 용량을 갖춘 이 1100°C 석영 챔버 퍼니스로 실험실 역량을 강화하십시오. 진공 및 제어된 분위기 환경을 위해 설계된 이 시스템은 첨단 소재 연구 및 반도체 제조를 위한 정밀 열처리를 제공합니다.
80mm 알루미나 튜브를 갖춘 수직형 1700C 진공 및 분위기 튜브 퍼니스
이 고정밀 수직형 튜브 퍼니스는 소재 합성을 위해 최대 1700C까지 탁월한 열 균일성을 제공합니다. 80mm 알루미나 튜브와 고급 진공 밀봉 플랜지를 갖추고 있어, 까다로운 산업 R&D 및 특수 열처리 공정을 위한 안정적인 분위기를 제공합니다.
석영 튜브와 진공 플랜지가 장착된 재료 합성을 위한 고온 회전 튜브 퍼니스
고순도 석영 튜브와 진공 플랜지가 특징인 정밀 회전 튜브 퍼니스로 재료 연구를 향상시키세요. 균일한 열처리를 위해 설계되어 일관된 시료 교반을 제공함으로써 우수한 열전 재료 합성과 고급 2D 결정 성장에 적합합니다.
60mm 알루미나 튜브와 자동 전자석 해제 시스템을 갖춘 1700℃ 고온 담금질 관형로
이 1700℃ 수직 담금질 관형로는 60mm 알루미나 튜브와 통합 전자석 시료 해제 기능을 특징으로 합니다. 연구에서 고온 미세구조와 임계 상전이를 보존하기 위해 제어된 분위기 또는 진공 하에서 재료의 급속 냉각을 위해 설계되었습니다.
500C 진공 수직 튜브 퍼니스 84mm OD 시료 회전 리프팅 시스템
이 우수한 진공 수직 튜브 퍼니스는 고온 성능과 84mm OD 멀라이트 튜브를 갖추고 있으며, 시료 회전 및 수동 리프팅 시스템을 통해 첨단 재료 연구와 산업용 열처리 공정에서 균일한 소결을 보장합니다. 탁월한 엔지니어링으로 신뢰성을 제공합니다.
고진공 귀금속 용해 및 재료 연구용 1100°C 소형 상부 장입식 수직 진공 튜브 퍼니스
이 1100°C 소형 상부 장입식 수직 진공 튜브 퍼니스는 귀금속 용해 및 재료 연구를 위한 고진공 환경을 제공합니다. 정밀한 PID 제어와 고내구성 발열체를 갖추어 까다로운 실험실 R&D 및 산업용 열처리 분야에서 안정적이고 일관된 성능을 보장합니다.