1200°C 3구역 수직 튜브 퍼니스 (2인치 석영 튜브 및 진공 플랜지 포함)

제품 개요

이 고온 수직 열처리 시스템은 재료 과학 연구 및 산업 R&D의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 분할형 수직 프레임 내에 3개의 가열 구역을 구성하여 물리 기상 증착(PVD), 근접 승화(CSS), 화학 기상 증착(CVD)을 포함한 고순도 열처리에 최적화된 환경을 제공합니다. 수직 설계는 중력을 이용한 샘플 이동, 통합 급랭 또는 기존 수평 퍼니스로는 어려운 특수 증착 형상이 필요한 공정에 특히 유리합니다.

다양성과 성능을 고려하여 설계된 이 시스템은 첨단 나노 소재 및 박막 코팅 합성에 필수적인 복잡한 열 프로파일을 생성하는 데 탁월합니다. 고순도 석영 용기와 정밀하게 설계된 진공 씰링의 통합으로 연구원들은 고진공 또는 제어된 가스 환경에서 안심하고 작업할 수 있습니다. 이동식 구조로 설계되어 다양한 실험실 구성에 원활하게 통합될 수 있으며, 집중적인 열처리 사이클을 위한 유연하고 견고한 솔루션을 제공합니다.

이 장치는 이중 레이어 강철 하우징과 통합 공랭식 팬을 갖추어 신뢰성을 최우선으로 설계되었습니다. 이러한 엔지니어링 접근 방식은 최대 온도에서 장시간 작동할 때도 외부 표면을 안전하게 유지합니다. 3개의 독립적인 정밀 컨트롤러를 통해 타의 추종을 불허하는 열 안정성과 재현성을 제공하며, 까다로운 산업 및 학술 환경에서 일관되고 높은 실험 결과를 추구하는 실험실에 필수적인 자산입니다.

주요 특징

• 3구역 독립 열 제어: 3개의 개별 가열 구역을 통해 넓은 등온 영역을 생성하거나 정밀하게 제어된 온도 구배를 형성할 수 있으며, 이는 대형 기판의 일관성을 유지하거나 성장 공정의 반응 속도를 제어하는 데 중요합니다.
• 정밀 분할형 수직 구조: 바퀴가 달린 이동식 카트에 장착된 분할형 커버 설계는 반응 챔버에 대한 접근을 용이하게 하며, 수직 방향으로 특수 샘플 홀더나 도가니를 쉽게 장착할 수 있게 합니다.
• 첨단 단열 기술: 특수 반사 코팅으로 강화된 고순도 섬유질 알루미나 단열재는 에너지 효율을 극대화하고 빠른 승온 속도를 보장하며 장치의 내부 구조적 무결성을 보호합니다.
• 고성능 진공 씰링: 통합 압력 게이지와 니들 밸브를 갖춘 이중 스테인리스 스틸 진공 플랜지가 장착되어 있어, 적절한 펌핑 시스템과 결합 시 10E-5 Torr 수준의 진공도를 지원합니다.
• 정교한 PID 계측: MET 인증 컨트롤러는 가열, 냉각 및 유지 단계를 위한 30개의 프로그래밍 가능한 세그먼트를 제공하며, 자동 튜닝 기능을 사용하여 전체 작동 범위에서 ±1°C의 정확도를 유지합니다.
• 통합 안전 및 과열 방지: 내장된 과열 경보 및 열전대 단선 방지 시스템은 무인 안전 작동을 가능하게 하여 장비와 귀중한 샘플을 모두 보호합니다.
• 최적화된 냉각 동역학: 팬 보조 공랭식 이중 레이어 강철 케이스는 외부 표면 온도를 65°C 이하로 유지하여 작업자의 안전을 강화하고 실험실 환경으로 방출되는 열을 줄입니다.
• 내구성 있는 고합금 발열체: 몰리브덴이 도핑된 1300°C 등급 Fe-Cr-Al 합금을 사용하여, 발열체는 장기적인 내구성과 다양한 대기 조건에서의 산화 저항성을 갖도록 설계되었습니다.

응용 분야

기술 사양

TU-C12를 선택해야 하는 이유

TU-C12 시리즈는 수직 열처리 엔지니어링의 정점을 나타냅니다. 일반적인 튜브 퍼니스와 달리, 이 시스템은 정밀한 중력 제어와 확장된 반응 구역 전반에 걸친 우수한 열 균일성을 필요로 하는 연구원들에게 최적화되어 있습니다. 3구역 구성을 통해 사용자는 열장을 매우 세밀하게 조작할 수 있으며, 이는 단일 구역 장치로는 불가능한 고품질 결정 구조 성장을 가능하게 합니다.

Mo 도핑 합금 발열체부터 고순도 알루미나 단열재까지 프리미엄 산업용 부품으로 제작된 이 퍼니스는 실험실 생산성을 위한 장기적인 투자입니다. 분할형 커버 설계와 이동식 카트 장착은 샘플 교체 및 시스템 유지 관리와 관련된 육체적 노동을 크게 줄여줍니다. 또한, Eurotherm 계측기 및 Labview 기반 소프트웨어 제어로 업그레이드할 수 있는 기능은 자동화된 데이터 수집 및 향상된 정밀도(+/- 0.1°C)를 지향하는 실험실에 미래 지향적인 경로를 제공합니다.

신뢰성, 안전성 및 성능이 타협할 수 없는 요소일 때, 이 시스템은 세계적 수준의 결과를 위해 필요한 경쟁 우위를 제공합니다. 귀하의 특정 공정 요구 사항, 맞춤형 플랜지 수정 사항에 대해 논의하거나 실험실 요구 사항에 대한 종합적인 견적을 받으려면 지금 당사 기술 팀에 문의하십시오.