18인치 가열 길이와 진공 플랜지를 갖춘 1200°C 3구역 분할 튜브 퍼니스

제품 개요

이 산업용 3구역 분할 튜브 퍼니스는 재료 과학 및 첨단 연구 환경에서 고정밀 열처리를 위해 설계되었습니다. 시료 어닐링, 확산 및 소결을 용이하게 하도록 설계된 이 장비는 1200°C까지 다중 분위기 처리가 가능한 다용도 플랫폼을 제공합니다. 분할 가능한 가열 챔버는 빠른 냉각과 쉬운 시료 적재를 가능하게 하여 높은 처리량과 엄격한 열 프로파일을 모두 요구하는 연구실에 없어서는 안 될 도구입니다. 견고한 구조는 가혹한 부하 사이클에서도 장기적인 작동 안정성을 보장합니다.

이 시스템의 핵심 가치는 3구역 가열 구성에 있으며, 사용자가 18인치 길이에 걸쳐 정밀한 온도 구배를 설정하거나 매우 긴 균일 가열 구역을 유지할 수 있습니다. 이 기능은 열 균일성 또는 특정 온도 단계가 필수적인 화학 기상 증착(CVD) 공정, 결정 성장 및 복잡한 열처리에 매우 중요합니다. 성능을 저하시키지 않으면서 컴팩트한 풋프린트를 활용하여 이 장치는 반도체 연구, 세라믹 가공 및 금속 분석을 위한 고효율 솔루션 역할을 합니다.

신뢰성은 이 열처리 장치 설계의 기초입니다. 내구성이 뛰어난 이중층 스틸 케이스와 통합 냉각 시스템으로 제작된 이 장비는 장시간 고온 작동 중에도 낮은 외부 표면 온도를 유지합니다. 고순도 알루미나 파이버 단열재와 Mo 도핑 가열 요소의 통합은 우수한 열 효율과 빠른 응답 시간을 제공합니다. 조달 팀은 이 시스템이 현대 산업 R&D의 까다로운 기준을 충족하도록 설계되었으며 수년간 일관되고 재현 가능한 결과를 제공한다는 것을 알고 확신을 가지고 이 시스템을 지정할 수 있습니다.

주요 특징

• 독립형 3구역 온도 제어: 가열 챔버는 각각 6인치씩 3개의 개별 구역으로 나뉘며, 각 구역은 자체 전용 마이크로프로세서 기반 PID 컨트롤러로 제어됩니다. 이를 통해 최대 200mm 길이의 정밀한 열 구배를 생성하거나 매우 안정적인 균일 온도 구역을 유지할 수 있어 복잡한 분위기 실험에 비교할 수 없는 유연성을 제공합니다.
• 분할 가능한 챔버 구조: 퍼니스는 힌지식 분할 커버 디자인을 적용하여 공정 튜브에 쉽게 접근할 수 있습니다. 이 구조는 열전대 설치와 시료 적재를 단순화할 뿐만 아니라 공정 완료 후 튜브를 빠르게 냉각할 수 있어 사이클 시간을 크게 단축시킵니다.
• 고급 안전 인터락 시스템: 통합 안전 센서가 퍼니스 커버가 열릴 때마다 가열 요소의 전원을 자동으로 차단합니다. 이 보호 메커니즘은 고전압 부품에 대한 우발적인 노출을 방지하고 필요한 챔버 접근 중에 작업자를 복사열로부터 보호합니다.
• 정밀 PID 제어: 3개의 컨트롤러 각각은 정교한 램프 및 소크 프로파일을 위해 30개의 프로그램 가능 세그먼트를 제공합니다. 자동 튜닝 PID 기능은 ±1°C 이내의 온도 정확도를 보장하여 오버슈팅을 제거하고 민감한 재료 합성에 필요한 열 안정성을 제공합니다.
• 고성능 가열 요소: 몰리브덴이 도핑된 Fe-Cr-Al 합금을 사용하는 가열 요소는 수명이 길고 빠른 열 응답을 위해 설계되었습니다. 이러한 요소는 전략적으로 배치되어 공정 튜브에 최대 복사 열전달을 제공하면서 1200°C까지 온도에서 산화에 저항합니다.
• 이중층 강제 공냉식: 퍼니스 하우징은 이중층 스틸 케이스로 제작되었습니다. 통합 냉각 팬이 층 사이에 공기를 순환시켜 외부 쉘이 안전하게 만질 수 있는 온도를 유지하고 내부 전자 장치를 열 유도 열화로부터 보호합니다.
• 다용도 진공 및 가스 처리: 이 시스템은 이중 고온 실리콘 O-링을 특징으로 하는 스테인리스 스틸 304 진공 플랜지가 기본으로 제공됩니다. 이러한 플랜지는 터보 펌프 사용 시 10E-5 torr까지 낮은 진공도를 지원하며 정밀한 분위기 제어를 위해 통합 니들 밸브와 압력 게이지가 포함되어 있습니다.
• 고급 열 단열재: 고순도 섬유질 알루미나 단열재가 퍼니스 내부를 라이닝합니다. 이 소재는 열 질량이 낮고 절연 성능이 뛰어나 전력 소비를 크게 줄이고 분당 최대 20°C까지 더 빠른 가열 속도를 가능하게 합니다.
• 디지털 통신 및 PC 통합: 각 장치에는 RS485 통신 포트가 장착되어 있어 원격 모니터링 및 데이터 로깅이 가능합니다. 옵션 소프트웨어 패키지를 사용하면 사용자가 중앙 컴퓨터 워크스테이션에서 열처리 레시피를 관리하고 실시간 데이터를 기록할 수 있습니다.
• 사용자 정의 가능한 튜브 직경: 다양한 시료 크기와 처리량 요구 사항을 수용하기 위해 이 시스템은 외경 60mm, 80mm 및 100mm 석영 튜브와 호환됩니다. 각 구성에는 열 방사를 최소화하고 플랜지 씰을 보호하기 위해 일치하는 세라믹 튜브 블록이 포함되어 있습니다.

응용 분야

기술 사양

시스템 구성 및 전기 사양

열 성능

튜브 및 플랜지 변형

제어 시스템 및 인터페이스

저희를 선택해야 하는 이유

이 3구역 분할 튜브 퍼니스에 투자하면 귀하의 연구실은 정밀성과 내구성을 위해 설계된 고성능 열 시스템을 갖추게 됩니다. 표준 단일 구역 퍼니스와 달리 이 시스템은 극도의 정확도로 복잡한 분위기 실험과 구역 기반 합성을 수행하는 데 필요한 모듈성을 제공합니다. 분할 커버 디자인은 빠른 냉각과 석영 공정 튜브의 쉬운 유지 보수를 가능하게 하여 연구실 생산성을 크게 향상시킵니다.

• 우수한 열 공학: 고순도 섬유질 알루미나와 특수 Mo 도핑 가열 요소를 사용하면 퍼니스의 구조적 무결성을 손상시키지 않으면서 빠른 열 순환을 보장합니다.
• 안전 최우선 설계: UL 준비 부품, CE 인증 및 통합 인터락 보호를 통해 이 장치는 산업 및 학술 연구 시설의 엄격한 안전 요구 사항을 충족합니다.
• 정밀 분위기 제어: 포함된 SS304 진공 플랜지와 유동 가스 또는 고진공 하에서 작동할 수 있는 기능 덕분에 다양한 재료 연구 응용 분야에 진정으로 다용도 플랫폼입니다.
• 장기적 신뢰성: 모든 시스템은 출고 전에 온도 안정성과 진공 무결성 테스트를 거쳐 귀하의 장비가 즉시 고부하 작동에 준비된 상태로 도착합니다.
• 작업 흐름에 맞춘 사용자 정의: 디지털 분자 펌프 업그레이드부터 PC 기반 원격 제어 및 데이터 로깅 소프트웨어까지, 이 시스템은 귀하의 특정 연구 또는 생산 요구 사항을 충족하도록 맞춤화할 수 있습니다.

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