제품 개요
이 고온 3구역 튜브로는 열 공학 기술의 정점을 보여주며, 재료 과학 연구와 첨단 산업 생산의 엄격한 요구 사항을 충족하기 위해 특별히 설계되었습니다. 정교한 3구역 가열 구성을 활용하여 이 시스템은 비교할 수 없는 열 구배 제어를 제공하며, 연구자들이 매우 안정적인 정온 구역 또는 정밀한 온도 기울기를 설정할 수 있도록 합니다. 이 장비는 제어된 대기 조건에서 1700℃까지 지속적인 고온 작동이 필요한 공정에 최적의 선택이며, 민감한 재료가 가장 높은 재현성으로 처리되도록 보장합니다.
반도체 제조, 항공 우주 금속 공학, 기술 세라믹 개발 등의 분야를 대상으로 하는 이 장치는 화학 기상 증착(CVD)부터 특수 합금 어닐링에 이르는 다양한 응용 분야에서 뛰어난 성능을 발휘합니다. 이 시스템의 핵심 가치는 단일 구역 노가 구현할 수 없는 복잡한 열 프로파일을 관리할 수 있다는 것입니다. 고순도 알루미나 부품과 고급 이규화몰리브덴(MoSi2) 가열 요소를 통합함으로써, 이 장비는 깨끗하고 오염 물질이 없는 공정 환경을 보장하며, 이는 고순도 연구개발 샘플의 무결성에 매우 중요합니다.
이 열처리 시스템의 모든 부품에는 신뢰성이 설계되어 있습니다. 최대 가동 중에도 외부 온도를 낮게 유지하는 이중층 강철 하우징부터 정밀 보정된 B형 열전대에 이르기까지, 이 장치는 까다로운 실험실 및 파일럿 규모 산업 환경에서 장기적인 일관성을 유지하도록 제작되었습니다. 열 정밀도가 필수적이고 작동 가동 시간이 프로젝트 성공에 필수적인 민감한 열처리 공정을 위한 강력한 플랫폼을 제공하므로 조달 팀은 안심하고 투자할 수 있습니다.
주요 특징
- 독립 제어 3구역 가열: 노 구조는 3개의 개별 가열 구역(왼쪽: 195mm, 중간: 220mm, 오른쪽: 195mm)으로 구성되어 있으며, 각 구역은 자체 PID 컨트롤러로 제어됩니다. 이 설정을 통해 1600℃에서 300mm 길이의 확장된 균일 온도 구역을 만들거나 결정 성장 및 특수 증기 수송 공정에 필요한 특정 열 구배를 설정할 수 있습니다.
- 고순도 알루미나 공정 튜브: 구매자는 50mm, 60mm 또는 80mm 외경의 알루미나 튜브를 선택할 수 있으며, 모든 튜브의 길이는 1200mm입니다. 이 고밀도 세라믹 튜브는 뛰어난 내열충격성과 화학적 불활성을 제공하여 최대 작동 온도인 1700℃에서도 샘플 오염을 방지합니다.
- 고급 이규화몰리브덴(MoSi2) 가열 요소: 14개의 고급 MoSi2 가열 요소를 갖춘 이 시스템은 빠른 승온 속도와 장기 안정성을 구현합니다. 고온에서 이 요소는 보호 석영 코팅을 형성하여 추가 산화를 방지하고, 수천 번의 가열 사이클에서도 긴 수명과 일정한 출력을 보장합니다.
- 정밀 대기 및 진공 제어: 이 시스템은 이중 실리콘 O-링이 장착된 수냉식 스테인리스 스틸 플랜지가 장착되어 있습니다. 이 밀봉은 고진공 또는 제어된 가스 환경에서도 안정적인 작동을 가능하게 하며, 통합된 KF25 포트와 가스 관리를 위한 니들 밸브가 지원됩니다.
- 우수한 단열 성능: 고품질 섬유 알루미나 열 블록과 이중 쉘 강철 케이스를 활용하여 열 손실을 최소화합니다. 단열 효율성에 대한 이러한 집중은 에너지 소비를 줄일 뿐만 아니라 노 표면이 70°C 미만의 안전한 접촉 온도를 유지하도록 보장합니다.
- 지능형 PID 프로그래밍: 제어 인터페이스는 가열, 유지 및 냉각을 위한 30개의 프로그래밍 가능 세그먼트를 지원합니다. 이러한 수준의 세밀성 덕분에 복잡한 열처리 레시피를 자동으로 실행할 수 있으며 과열 및 열전대 고장에 대한 내장 보호 기능이 있어 공정 안전성과 재현성을 보장합니다.
- 향상된 수냉 시스템: 초고온 작동 중 진공 씰과 플랜지의 구조적 무결성을 보호하기 위해 시스템에 통합 수냉 포트가 장착되어 있습니다. 이를 통해 씰이 작동 온도 범위 내에 유지되어 1700°C 공정 중에도 진공 무결성을 유지합니다.
- 옵션 디지털 통합: 시스템은 RS485 통신 포트와 Labview 기반 소프트웨어로 업그레이드할 수 있습니다. 이를 통해 노트북을 통한 원격 모니터링, 레시피 관리 및 포괄적인 데이터 로깅이 가능하며, 이는 규제된 산업 연구개발 환경에서 감사 추적에 필수적입니다.
응용 분야
| 응용 분야 | 설명 | 주요 이점 |
|---|---|---|
| 산화갈륨 나노와이어 성장 | 400°C ~ 860°C 사이의 서로 다른 온도에서 촉매 합금화 및 축 성장 단계를 관리하기 위해 3구역 구배를 활용합니다. | 나노와이어 구조의 형태와 규칙성을 정밀하게 제어합니다. |
| 합금 균질화 | Fe-Ni-Cu 및 기타 특수 합금을 1000°C 이상에서 고온 확산 어닐링하여 균일한 원소 분포를 보장합니다. | 온도 구배로 인한 확산 속도 편차를 제거합니다. |
| CVD / PECVD 공정 | 화학 기상 증착의 열 핵심 역할을 하며 기판 전체에서 안정적인 가스 반응 온도를 유지합니다. | 균일한 막 두께와 고품질 코팅 접착력을 보장합니다. |
| 기술 세라믹 소결 | 제어된 산화 또는 불활성 대기에서 알루미나, 지르코니아 및 기타 기술 세라믹을 고온 소성합니다. | 배치 내 모든 샘플에서 일관된 밀도와 구조적 무결성을 유지합니다. |
| 결정 성장 | 정밀한 온도 기울기를 유지해야 하는 물리적 증기 수송 또는 용융 기반 결정 성장을 용이하게 합니다. | 내부 응력을 최소화한 고품질 단결정 수율을 높입니다. |
| 대기 열처리 | 산화를 방지하거나 표면 경화를 촉진하기 위해 아르곤, 질소 또는 특수 가스 혼합물 하에서 재료를 처리합니다. | 가공된 부품의 우수한 표면 조도와 화학적 안정성을 제공합니다. |
| 분말 하소 | 전구체를 미세 분말로 열분해하며, 3구역 설계의 균일한 열장의 이점을 활용합니다. | 높은 화학적 순도와 일관된 입자 크기 분포를 제공합니다. |
기술 사양
| 매개변수 | 설명 / 사양 (모델 TU-80) |
|---|---|
| 최대 온도 | 1700 °C (1시간 미만 가열 시) |
| 연속 사용 온도 | 1650 °C (연속 작동 시) |
| 진공 사용 온도 | 1500 °C (진공 조건에서의 최대 온도) |
| 가열 구역 | 총 길이: 610 mm (왼쪽: 195 mm / 중간: 220 mm / 오른쪽: 195 mm) |
| 균일 구역 | 300 mm 길이에서 ±1°C (모든 구역을 1600 °C로 설정 시) |
| 튜브 재질 | 고순도 알루미나 (99.8% 옵션 제공) |
| 튜브 크기 | 길이: 1200 mm; 외경 선택: Ø 50, 60, 또는 80 mm |
| 가열 요소 | 고품질 이규화몰리브덴(MoSi2) 14개 |
| 냉각 시스템 | 공냉식 이중층 강철 케이스 + 수냉식 플랜지 |
| 밀봉 시스템 | 밸브와 압력계가 장착된 스테인리스 스틸 진공 밀봉 플랜지 |
| 진공 연결부 | 플랜지 어셈블리에 통합된 KF25 포트 |
| 제어 정확도 | ± 1 °C (표준 PID) / ± 0.1 °C (옵션 유로써모 업그레이드) |
| 프로그래밍 | 가열/유지/냉각 프로파일을 위한 30개 세그먼트 |
| 승온 속도 | 튜브 수명을 위해 < 10 °C /분 권장 |
| 전원 공급 | 208-240 VAC, 3상, 50/60 Hz, 50 A (15 kVA) |
| 안전 인터록 | 과열 보호 및 열전대 파손 자동 차단 |
| 열전대 | B형(백금-로듐) 고정밀 센서 |
| 옵션 인증 | 요청 시 UL61010 기반 NRTL 인증 제공 가능 |
왜 본 고온 1700℃ 3구역 튜브로를 선택해야 하는가
이 열처리 시스템을 선택하는 것은 정밀성과 수명을 우선시하는 첨단 공학에 투자하는 것을 의미합니다. 3구역 구성은 현대 재료 과학에 필수적인 수준의 열 유연성을 제공하며, 온도 구배의 미세한 변화가 전체 실험 주기의 성공 또는 실패를 좌우할 수 있습니다. 이 장비는 단순한 노가 아니라 가장 까다로운 실험실 조건에서 재현 가능하고 충실도 높은 결과를 제공하도록 설계된 정밀 도구입니다.
- 검증된 열 안정성: 3개의 독립 컨트롤러와 고급 MoSi2 요소를 활용하여 저품질 노에서 흔히 발생하는 열 에지 저하를 제거하고 크고 안정적인 작업 공간을 제공합니다.
- 산업 등급 밀봉: 당사의 수냉식 플랜지 기술은 1700°C에서도 진공 또는 대기 무결성이 손상되지 않도록 유지하여 샘플과 장비 자체를 보호합니다.
- 확장 가능하고 유연한 설계: 여러 튜브 직경 옵션과 고급 유로써모 컨트롤러 또는 디지털 소프트웨어 인터페이스를 통합할 수 있는 기능을 통해 연구의 진화하는 요구에 맞게 노를 적응시킬 수 있습니다.
- 안전 우선 설계: 이중층 강철 케이스와 포괄적인 전자 인터록과 같은 기능은 연구자에게 안전한 작업 환경을 제공하는 동시에 작동 오류로부터 장비를 보호합니다.
당사의 품질에 대한 약속은 하드웨어 이상으로 확장됩니다. 이 장비가 특정 작업 흐름에 완벽하게 맞도록 포괄적인 기술 지원과 사용자 정의 기능을 제공합니다. 오늘 연락하여 상세 견적을 받거나 이 1700°C 3구역 시스템을 특정 공정 요구 사항에 맞게 조정하는 방법에 대해 논의하십시오.
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