제품 개요
이 고성능 열처리 시스템은 첨단 재료 과학 및 산업 R&D의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 정교한 3존 가열 구조를 갖추고 있어 매우 안정적인 열 평탄 영역이나 정밀한 온도 구배를 생성할 수 있습니다. 고순도 알루미나 처리 튜브와 분할형 퍼니스 설계를 사용하여 최대 1500°C까지 고온 합성, 소결 및 어닐링을 위한 다목적 플랫폼을 제공합니다. 이 제품의 핵심 가치는 고진공에서 제어된 대기 환경에 이르기까지 반복 가능하고 정밀한 결과를 제공하여 중요한 연구의 일관성과 확장성을 보장한다는 점입니다.
반도체 제조, 항공우주 세라믹, 금속 공학 연구와 같은 산업을 대상으로 하며, 열 균일성이 필수적인 응용 분야에서 탁월한 성능을 발휘합니다. 다양한 실험 요구 사항에 맞춰 처리 튜브를 신속하게 교체해야 하는 다목적 실험실 환경을 위해 설계되었습니다. 견고한 구조와 최첨단 발열체는 차세대 소재에 집중하는 학술 기관 및 산업 연구소 모두를 위한 신뢰할 수 있는 장비입니다.
신뢰성은 이 장비 설계의 핵심입니다. 최근 업데이트된 인터록 안전 시스템과 고등급 탄화규소(SiC) 발열체를 통합하여 내구성과 작동 안전성을 극대화했습니다. 1400°C의 지속적인 고온 작동 하에서도 시스템은 구조적 무결성과 정밀도를 유지합니다. 산업용 구매자는 포괄적인 PID 제어 및 중복 과열 방지 메커니즘을 통해 안전이나 샘플 무결성을 저해하지 않으면서 무인 작동이 가능하므로, 까다로운 작업 주기에서도 장비 성능을 전적으로 신뢰할 수 있습니다.
주요 특징
- 독립 제어형 3존 가열: 이 시스템은 각각 별도의 컨트롤러와 S-타입 열전대로 관리되는 3개의 독립적인 200mm 가열 존(총 600mm)을 특징으로 합니다. 이를 통해 ±2ºC 균일도로 350mm의 항온 영역을 유지하거나 증기 수송 응용 분야를 위한 맞춤형 열 구배를 생성할 수 있습니다.
- 정밀 PID 온도 조절: 3개의 30단계 프로그래밍 가능 컨트롤러를 장착하여 가열 속도, 냉각 속도 및 유지 시간을 ±1°C의 정확도로 관리하는 고급 마이크로 프로세싱 로직을 제공합니다.
- 인체공학적 분할형 챔버 설계: 퍼니스 하우징은 세로로 열리도록 설계되어 전체 진공 플랜지 어셈블리를 분해하지 않고도 튜브 교체, 샘플 로딩 및 복잡한 내부 센서 어레이 통합이 용이합니다.
- 고급 안전 인터록 시스템: 퍼니스 구조에 통합된 특수 안전 인터록은 챔버가 열리면 자동으로 발열체 전원을 차단하여 검사 또는 유지보수 중 작업자를 전기적 및 열적 노출로부터 보호합니다.
- 고성능 탄화규소(SiC) 발열체: 24개의 고등급 1500°C 정격 SiC 로드(직경 14mm)를 장착하여 세라믹 처리 튜브 전체에 걸쳐 신속한 열 반응과 균일한 복사열 전달을 보장합니다.
- 다양한 대기 환경 지원: 고순도 알루미나 튜브와 정밀 가공된 진공 플랜지가 제공되어 10E-5 torr(분자 펌프 사용 시)까지의 진공 수준과 저압 가스 환경을 지원합니다.
- 포괄적인 보호 회로: 과열 및 열전대 단선에 대한 내장형 안전 장치는 장시간 주기 동안 안심할 수 있는 환경을 제공하며, 편차가 발생할 경우 자동으로 작동하는 시청각 경보 기능을 포함합니다.
- 확장 가능한 디지털 통신: 표준 RS485 포트를 갖추고 있어 실시간 데이터 로깅, 원격 레시피 관리 및 Labview 기반 소프트웨어를 통한 자동 주기 검증을 위해 PC 기반 제어 모듈로 업그레이드할 수 있습니다.
- 내구성 있는 멀라이트/알루미나 튜브 옵션: 표준 알루미나(80mm 외경) 및 옵션인 멀라이트(82mm 외경)를 포함한 다양한 튜브 재질을 지원하여 사용자가 특정 공정 요구 사항에 따라 화학적 호환성과 내열 충격성을 최적화할 수 있습니다.
응용 분야
| 응용 분야 | 설명 | 주요 이점 |
|---|---|---|
| CVD / PECVD | 박막 성장 및 탄소 나노튜브를 위한 화학 기상 증착. | 정밀한 구배 제어로 대형 기판 전체에 균일한 박막 증착 가능. |
| 기술 세라믹 소결 | 첨단 산화물 및 비산화물 세라믹의 고온 치밀화. | 1500°C 최대 성능으로 고융점 기술 세라믹 합성 가능. |
| 반도체 어닐링 | 실리콘 웨이퍼 또는 화합물 반도체 재료의 제어된 열처리. | 3존 제어로 전체 공정 튜브 길이에 걸쳐 동일한 열 이력 보장. |
| 결정 성장 | 단결정 합성을 위한 증기 수송 및 방향성 응고 기술. | 독립적인 존 프로그래밍으로 액체-고체 계면 이동의 미세 조정 가능. |
| 진공 탈가스 | 특수 금속 합금에서 휘발성 불순물 및 가스 제거. | 고진공 플랜지 설계로 고온의 깊은 진공 상태에서도 구조적 무결성 유지. |
| 배터리 소재 연구 | 불활성 또는 산화 분위기에서 양극/음극 전구체의 하소 및 열 순환. | 견고한 S-타입 열전대가 다일 순환 테스트에 필요한 장기적 안정성 제공. |
기술 사양
| 매개변수 | TU-65 사양 세부 정보 |
|---|---|
| 모델 번호 | TU-65 |
| 최대 온도 | 1500°C (1시간 미만) |
| 연속 작동 온도 | 1400°C |
| 가열 속도 | 권장 5°C/min |
| 정격 출력 | 9KW |
| 입력 전압 | AC220V 단상, 50/60Hz (50A 차단기 필요) |
| 가열 존 구성 | 3개 존: 존당 200mm (총 길이 600mm) |
| 균일 온도 영역 | 350mm (± 2ºC, 모든 존을 동일 설정값으로 설정 시) |
| 온도 정확도 | ± 1ºC 정확도 (PID 30단계 프로그래밍 제어) |
| 처리 튜브 (표준) | 알루미나 튜브: 80mm 외경 × 74mm 내경 × 1200mm 길이 |
| 처리 튜브 (옵션) | 멀라이트 튜브: 82mm 외경 × 73mm 내경 × 1200mm 길이 |
| 발열체 | 24개 탄화규소 로드 (14mm 직경 x 150mm 가열부 x 413mm 길이) |
| 열전대 | 3개 S-타입 (각 가열 존당 1개) |
| 진공 성능 | 10E-2 torr (기계식 펌프) / 10E-5 torr (분자 펌프) |
| 가스 유량 제한 | < 200 SCCM (200 ml/min, 2단 레귤레이터 사용 시, < 3 PSI) |
| 최대 작동 압력 | < 0.02 Mpa (멀라이트 튜브 적용 시) |
| 통신 인터페이스 | RS485 (옵션 MTS-02 PC 제어 모듈 사용 가능) |
| 규정 준수 | CE 인증; 요청 시 NRTL(UL61010) 또는 CSA 가능 |
| 안전 기능 | 통합 인터록 시스템 (2015년 6월부터 적용); 과열/열전대 단선 경보 |
TU-65를 선택해야 하는 이유
- 탁월한 열 균일성: TU-65 아키텍처는 단일 존 퍼니스에서 흔히 발생하는 냉단 효과를 제거하는 3존 독립 제어 시스템을 활용하여 훨씬 더 넓은 가용 처리 범위를 제공합니다.
- 정밀 엔지니어링 및 빌드 품질: 고등급 내화 재료와 견고한 분할형 하우징으로 제작되어 산업 수준의 내구성을 갖추었으며, 처리량이 많은 실험실에서 유지보수가 용이합니다.
- 향상된 작업자 안전: 이전 모델과 달리 TU-65는 현대적인 실험실 안전 표준을 충족하는 최신 하드웨어 인터록 시스템을 갖추어 우발적인 열 또는 전기 노출 위험을 최소화합니다.
- 다양한 대기 제어: 공정에 고진공이 필요하든 초고순도 가스 흐름이 필요하든, 특수 플랜지 설계와 열 블록 배치는 일관된 결과를 보장하고 퍼니스 내부를 보호합니다.
- 입증된 신뢰성 및 지원: 표준 CE 인증과 선택적 NRTL/CSA 준수를 통해 이 시스템은 전 세계적으로 인정받는 소재 합성 플랫폼이며, 포괄적인 기술 지원과 교체 소모품을 제공합니다.
TU-65에 대한 자세한 정보나 특정 R&D 요구 사항에 맞는 맞춤형 가열 존 구성을 요청하시려면 지금 바로 기술 영업팀에 문의하여 공식 견적을 받아보십시오.
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