1500°C 고온 열처리 및 CVD용 알루미나 튜브와 진공 플랜지가 장착된 6존 분할형 튜브 퍼니스

제품 개요

이 고성능 6존 분할형 튜브 퍼니스는 현대 재료 과학 및 산업 연구 개발을 위한 열 공학의 정점을 보여줍니다. 1500°C에 달하는 온도에서 작동하도록 설계된 이 시스템은 완벽하게 균일한 온도 구역이 필요하든, 매우 구체적인 열 구배가 필요하든 상관없이 연구자들에게 독보적인 열 환경 제어 기능을 제공합니다. 고급 가열 소자와 모듈식 분할형 설계를 통합하여 복잡한 실험 설정이나 섬세한 진공 연결을 손상시키지 않으면서도 시료를 신속하게 장착 및 탈착할 수 있습니다.

주로 화학 기상 증착(CVD), 어닐링 및 소결 응용 분야를 위해 설계된 이 장치는 반도체 제조부터 첨단 세라믹 및 항공우주 재료 테스트에 이르는 다양한 산업 분야에서 사용됩니다. 6존 구성의 다재다능함 덕분에 실험실 규모에서 복잡한 산업 공정을 시뮬레이션할 수 있으며, 생산 확장에 필요한 데이터를 제공합니다. 진공 또는 제어된 분위기 하에서 엄격한 공차를 유지하는 능력은 고온 재료 거동의 한계를 시험하는 실험실을 위한 기초적인 도구가 됩니다.

신뢰성은 이 열처리 시스템의 핵심입니다. 견고한 부품과 고순도 알루미나 내화 재료로 제작된 이 퍼니스는 까다로운 환경에서 지속적으로 작동하도록 제작되었습니다. 견고한 탄화규소(SiC) 가열 로드부터 정밀 가공된 진공 플랜지에 이르기까지 모든 측면이 반복성과 장기적인 내구성을 보장하도록 선택되었습니다. 작업자는 시스템이 세션마다 대기 순도와 열 안정성을 유지할 수 있다는 확신을 가지고 장기 주기 실험을 진행할 수 있습니다.

주요 특징

• 독립적인 6존 열 제어: 가열 챔버는 6개의 개별 구역(12" + 8" + 8" + 8" + 8" + 12")으로 나뉘며, 각 구역은 전용 컨트롤러에 의해 관리됩니다. 이 구성을 통해 최대 100°C/cm의 맞춤형 열 구배를 생성하거나 800mm의 매우 긴 균일 온도 구역을 형성할 수 있어 다양한 연구 프로젝트에 유연성을 제공합니다.
• 고순도 알루미나 처리 튜브: 외경 60mm, 길이 1800mm의 전문 등급 알루미나 튜브를 갖춘 이 시스템은 극한 온도에서 우수한 화학적 내성과 구조적 무결성을 제공하여 고온 사이클 동안 시료가 오염되지 않도록 합니다.
• 정밀 PID 계측: 6개의 디지털 온도 컨트롤러 각각은 30개의 프로그래밍 가능한 세그먼트를 갖추고 있습니다. 이를 통해 램프 속도, 유지 시간 및 냉각 단계를 세밀하게 관리할 수 있습니다. ±1°C의 정확도로 민감한 반도체 및 야금 공정에 필요한 엄격한 정밀도를 제공합니다.
• 고급 탄화규소(SiC) 가열 소자: 48개의 고급 SiC 로드를 사용하여 급속 가열을 달성하고 고온 안정성을 유지합니다. 이 소자들은 산화 및 중성 분위기에서의 수명과 효율성을 고려하여 특별히 선택되었으며, 고온 내구성 면에서 표준 금속 소자보다 뛰어납니다.
• 통합 진공 및 분위기 기능: 이 시스템에는 이중 고온 실리콘 O-링이 장착된 진공 밀폐형 스테인리스 스틸 플랜지가 포함되어 있습니다. 기계식 펌프로 10^-2 Torr, 분자 펌프 시스템으로 최대 10^-5 Torr의 진공 수준을 달성할 수 있어 산소에 민감한 응용 분야에 이상적입니다.
• 분할형 힌지 설계: 퍼니스 본체는 세로로 열리는 분할형 설계를 특징으로 합니다. 이를 통해 처리 튜브와 내부 가열 챔버에 쉽게 접근할 수 있어 전체 가스 공급 시스템을 분해하지 않고도 청소, 시료 배치 및 가열 소자 유지보수 과정을 간소화할 수 있습니다.
• 포괄적인 안전 시스템: 내장된 과열 및 열전대 단선 보호 기능은 부품 고장 시 장비가 안전하게 종료되도록 합니다. 시각 및 청각 알람이 온도 편차를 작업자에게 알려 장기 유지 주기 동안 무인 작동이 가능합니다.
• 확장 가능한 통신 인터페이스: RS485 통신 포트가 포함되어 있어 퍼니스를 PC 기반 제어 모듈과 통합할 수 있습니다. 이를 통해 원격 모니터링, 데이터 로깅 및 중앙 집중식 소프트웨어 환경을 통한 복잡한 열처리 레시피 관리가 가능합니다.

응용 분야

기술 사양

TU-67 시리즈 퍼니스에 대한 포괄적인 기술 데이터는 아래를 참조하십시오. 이 사양은 고성능 실험실 환경을 위해 설계된 표준 구성을 반영합니다.

전력 및 성능

가열 구역 및 튜브 치수

계측 및 진공

작동 참고 사항

• 진공 작동 시 온도는 1300°C를 초과해서는 안 됩니다.
• 가스 유량은 200 SCCM 미만으로 유지해야 합니다.
• 가스 실린더 안전을 위해 2단계 압력 조절기 사용이 필수입니다.
• 알루미나 튜브와 직접 접촉하는 흑연 도가니는 사용하지 마십시오.

TU-67을 선택해야 하는 이유

• 독보적인 열 유연성: TU-67의 6존 구조는 실험실 기술자에게 단일 존 퍼니스에서는 구현할 수 없는 맞춤형 열 프로파일을 생성할 수 있는 독특한 능력을 제공하여 동급에서 가장 유연한 도구가 됩니다.
• 견고한 산업용 빌드: 48개의 개별 SiC 로드와 고밀도 알루미나 단열재를 사용하여, 이 퍼니스는 1500°C 사이클을 반복하더라도 긴 수명과 최소한의 유지보수를 보장하도록 설계되었습니다.
• 정밀도 및 안정성: S-타입 열전대와 정밀 PID 로직의 통합은 연구 데이터가 안정적이고 반복 가능한 열 조건에 의해 뒷받침되도록 하여 복잡한 실험의 변수를 줄여줍니다.
• 고급 분위기 제어: 공정에 고진공이 필요하든 특정 불활성 가스 환경이 필요하든, 고품질 플랜지 시스템은 순수한 화학 반응을 위한 누출 없는 환경을 보장합니다.
• 글로벌 안전 표준: 표준 CE 인증과 UL 또는 CSA 업그레이드 옵션을 통해 이 장비는 전 세계 최고 수준의 학술 및 기업 연구 기관의 엄격한 안전 요구 사항을 충족합니다.

연구 요구 사항과 함께 성장하는 열처리 시스템에 투자하십시오. TU-67이 귀하의 재료 처리 능력을 어떻게 향상시킬 수 있는지 맞춤형 구성 견적이나 기술 상담을 원하시면 지금 바로 문의하십시오.