6존 분할형 튜브 퍼니스 1.8미터 쿼츠 튜브 1200°C 고온 가열 시스템

제품 개요

이 6존 초장형 분할형 튜브 퍼니스는 고정밀 재료 연구 및 산업 생산을 위해 특별히 설계된 열처리 공학의 정점입니다. 1.8미터의 거대한 가열 길이에 걸쳐 독립적으로 제어되는 6개의 가열 구역을 통합함으로써, 작업자는 매우 긴 항온 구역을 설정하거나 복잡한 다단계 열 구배를 구현할 수 있습니다. 분할형 힌지 설계는 빠른 접근을 위해 엔지니어링되었으며, 긴 가동 중단 시간이나 노동 집약적인 분해 과정 없이도 공정 튜브를 쉽게 삽입하고 복잡한 실험 구성을 조립할 수 있습니다.

이 장비의 주요 응용 분야는 온도 균일성과 분위기 제어가 중요한 반도체 웨이퍼 가공, 화학 기상 증착(CVD), 고급 세라믹 소결 등을 아우릅니다. 이 시스템은 항공우주, 에너지 저장, 야금 등 목표 산업을 위한 강력한 플랫폼을 제공합니다. 초장형 와이어 샘플을 어닐링하거나 존 정제(zone refining)를 수행하는 등, 이 퍼니스는 실험실 규모의 실험에서 파일럿 플랜트 생산 환경으로 전환하는 데 필요한 일관성과 확장성을 제공합니다.

전문가급 부품과 이중층 강철 하우징으로 제작된 이 장치는 까다로운 산업 R&D 환경에서 지속적인 고강도 작업을 수행하도록 설계되었습니다. 가열 챔버와 제어 전자 장치를 분리하여 장기적인 신뢰성을 보장하고 민감한 부품을 열 응력으로부터 보호합니다. 이 장비는 높은 처리량, 정밀한 열 프로파일링, 그리고 엄격한 작업 주기 하에서 고진공 또는 특정 가스 분위기를 유지해야 하는 시설에 선호되는 선택입니다.

주요 특징

• 6개의 독립 가열 구역: 300mm 가열 구역 6개 각각이 전용 제어 시스템에 의해 구동되어, +/- 2ºC의 정확도 내에서 복잡한 온도 프로파일을 생성하거나 1525mm의 거대한 항온 구역을 유지할 수 있습니다.
• 정밀 PID 온도 제어: 6개의 30단계 프로그래밍 가능 디지털 컨트롤러가 가열 속도, 냉각 속도 및 유지 시간을 세밀하게 관리하여 민감한 야금 공정에서 반복 가능한 결과를 보장합니다.
• 초장형 가열 챔버: 총 가열 길이 1800mm(72인치)로 긴 공정 튜브와 대량의 샘플을 수용할 수 있어 표준 실험실 퍼니스보다 처리량이 크게 향상됩니다.
• 분할형 힌지 설계: 퍼니스 본체가 길이 방향으로 분할되어 있고 가스 스프링으로 지지되어, 튜브 교체, 빠른 냉각 주기, 내부 분위기를 방해하지 않는 튜브 설정의 육안 검사가 용이합니다.
• 고순도 알루미나 단열재: 고급 섬유질 알루미나 단열재가 열 손실을 최소화하고 에너지 소비를 줄이며, 냉각 팬이 장착된 이중층 강철 케이스가 작동 중 안전한 외부 표면 온도를 유지합니다.
• 고급 가열 요소: 몰리브덴이 도핑된 1300ºC급 Fe-Cr-Al 합금을 사용하여 1200ºC까지 빠른 가열 시간과 우수한 내산화성을 보장하여 수명을 연장합니다.
• PC-Link 통신 인터페이스: RS485 통신 포트와 특수 제어 소프트웨어를 갖추어 PC를 통한 원격 모니터링 및 제어가 가능하며, 데이터 로깅 및 복잡한 공정 자동화를 촉진합니다.
• 진공 및 분위기 다용도성: 니들 밸브와 압력 게이지가 포함된 고품질 스테인리스 스틸 진공 플랜지가 포함되어 있어, 진공 상태 또는 질소, 아르곤, 포밍 가스와 같은 제어된 가스 환경에서의 가공을 지원합니다.
• 통합 안전 보호 장치: 과열 경보, 열전대 단선 보호, 과온 차단 메커니즘 등 내장된 안전 장치가 장비와 처리 중인 재료를 모두 보호합니다.
• 맞춤형 튜브 직경: 4인치 외경 쿼츠 튜브가 기본 제공되지만, 유연한 설계로 1인치에서 4인치 외경까지 다양한 공정 튜브를 수용할 수 있어 변화하는 연구 요구 사항에 퍼니스를 맞출 수 있습니다.

응용 분야

기술 사양

TU-49를 선택해야 하는 이유

• 탁월한 열적 유연성: 독특한 6존 아키텍처는 튜브 퍼니스에서 사용할 수 있는 가장 복잡한 열 프로파일링을 가능하게 하여, 단일 또는 이중 구역 장치로는 불가능한 결과를 연구자가 달성할 수 있도록 합니다.
• 산업용 등급 구조: 고밀도 알루미나 섬유와 견고한 분할 케이스 설계로 제작되어, 구조적 무결성을 손상시키지 않으면서 지속적인 고온 작동의 가혹함을 견딜 수 있도록 설계되었습니다.
• 규모에 따른 정밀도: 1.5미터 구간에 걸쳐 +/- 2ºC의 균일성을 유지함으로써 대규모 샘플이나 다중 웨이퍼 배치가 동일한 열처리를 받을 수 있도록 보장하며, 이는 산업 품질 관리에 있어 중요한 요소입니다.
• 미래 지향적 확장성: 질량 유량 컨트롤러, 고급 진공 펌프를 통합하거나 PC 기반 자동 제어로 전환해야 하는 경우, 이 시스템은 실험실의 요구 사항과 함께 성장하도록 설계되었습니다.
• 신뢰할 수 있는 기술 지원: 고온 시스템에 대한 THERMUNITS의 깊은 전문 지식을 바탕으로, 모든 장치는 신속한 기술 지원과 고품질 교체 부품을 보장합니다.

이 초장형 퍼니스 시스템에 투자하면 귀하의 시설은 가장 엄격한 열처리 요구 사항을 충족할 수 있는 고성능 도구를 갖추게 됩니다. 견적을 요청하거나 특정 응용 분야에 맞는 맞춤형 구성을 논의하려면 지금 당사 엔지니어링 팀에 문의하십시오.