제품 개요
이 고성능 열처리 시스템은 정밀한 온도 구배와 넓은 가열 용량이 중요한 산업 규모의 연구 및 파일럿 생산 환경을 위해 설계되었습니다. 독특한 7존 가열 구조를 활용하여 매우 길고 안정적인 균일 온도 구역을 생성할 수 있어 대량 재료 합성, 반도체 공정 및 복잡한 화학 기상 증착(CVD) 응용 분야에 이상적입니다. 분할 가능한 설계는 처리 챔버에 대한 탁월한 접근성을 제공하여 고순도 환경 내에서 무겁거나 섬세한 샘플을 쉽게 설정할 수 있도록 합니다.
이 시스템은 다목적성을 위해 설계되었으며, 10-2에서 10-5 torr 범위의 진공 수준과 다양한 가스 분위기를 지원합니다. 이는 넓은 처리 영역에서 일관되고 반복 가능한 결과가 필요한 첨단 재료 과학 연구소, 야금 부서 및 하이테크 제조 시설의 핵심 장비 역할을 합니다. 어닐링, 소결 또는 코팅 공정 등 어떤 용도로 사용되든 이 장치는 현대 재료 공학 표준에 필요한 열적 안정성을 제공합니다.
신뢰성은 이 퍼니스 구조의 핵심입니다. 능동형 팬 냉각 기능이 있는 이중층 강철 케이스와 고순도 섬유질 알루미나 단열재를 갖추어 외부 온도를 낮게 유지하면서 에너지 효율을 극대화합니다. 전기 실린더로 구동되는 상부 커버는 대량 생산 산업 환경에서도 부드럽고 안전한 작동을 보장하며, 작업자가 안전이나 성능 저하 없이 까다로운 열 사이클을 관리할 수 있도록 합니다.
주요 특징
- 7존 독립 온도 제어: 이 시스템은 7개의 개별 가열 구역을 사용하며, 각 구역은 전용 디지털 PID 컨트롤러로 제어되어 열 구배를 정밀하게 관리하거나 ±2ºC 이내의 거대한 1350mm 균일 온도 구역을 유지할 수 있습니다.
- 전기 실린더 분할 설계: 상부 분할 커버는 강력한 전기 실린더로 작동되어 부드럽고 자동화된 개폐가 가능합니다. 이 설계는 빠른 냉각, 쉬운 튜브 교체 및 수동 리프팅 없이도 간편한 샘플 로딩을 지원합니다.
- 정밀 가열 요소: 고성능 열 요소가 7개 구역 전체에 전략적으로 배치되어 최대 10°C/min의 빠른 가열 속도와 단기 공정을 위한 최대 작동 온도 1200°C를 제공합니다.
- 고급 대기 제어: 8인치 내경의 대형 석영 튜브와 이중 고온 실리콘 O-링이 장착된 스테인리스 스틸 진공 플랜지를 갖추어 진공 또는 불활성 가스 공정을 위한 완벽한 밀폐를 보장합니다.
- 통합 수냉식 재킷: 진공 플랜지에는 실링 O-링과 계측기를 고온 노출로부터 보호하기 위해 수냉식 재킷이 내장되어 있어 연속 작동 중에도 장기적인 밀폐 무결성을 보장합니다.
- 우수한 단열 성능: 에너지 절약형 고순도 섬유질 알루미나 단열재를 사용하여 열 손실을 최소화하고 온도 상승 시간을 개선하는 동시에 외부 케이스 온도를 70°C 미만으로 유지합니다.
- 포괄적인 안전 시스템: 과열 및 열전대 단선 방지 기능과 과열 경보 기능이 내장되어 있어 장시간 열 사이클 동안 무인 작동이 안전합니다.
- 이중 냉각 팬 구조: 2개의 고속 냉각 팬과 결합된 이중층 강철 케이스 구조는 효율적인 방열을 보장하여 내부 전자 부품의 수명을 연장합니다.
- 디지털 통신 및 소프트웨어: 통합 RS485 통신 포트를 통해 PC 기반 제어 및 모니터링이 가능하며, 복잡한 30단계 가열 프로파일을 원격으로 저장, 로드 및 분석할 수 있습니다.
- 다양한 재료 호환성: 대구경 석영 튜브와 포함된 버퍼형 열 블록은 다양한 도가니, 웨이퍼 보트 및 재료 이송 시스템에 최적화되어 있습니다.
응용 분야
| 응용 분야 | 설명 | 주요 이점 |
|---|---|---|
| 반도체 웨이퍼 어닐링 | 제어된 분위기에서 대형 실리콘 또는 화합물 반도체 웨이퍼의 고온 처리. | 전체 웨이퍼 배치에 걸친 탁월한 균일성으로 결함률 감소. |
| CVD 및 PECVD 스케일업 | 넓은 기판 영역에 걸친 2D 재료, 탄소 나노튜브 또는 박막 합성. | 7존 제어로 정밀한 전구체 분해 및 증착 구배 가능. |
| 첨단 세라믹 소결 | 고성능 세라믹 분말을 밀도 높은 구조 부품으로 통합. | 고순도 알루미나 단열재가 오염을 방지하고 재료 무결성 보장. |
| 배터리 재료 연구 | 차세대 에너지 저장을 위한 양극 또는 음극 재료의 하소 및 합성. | 안정적인 진공 및 가스 제어로 공정 중 안정적인 산화환원 반응 가능. |
| 야금 및 합금 개발 | 보호 분위기에서 특수 합금 부품의 열처리 및 응력 제거. | 대형 튜브 직경으로 복잡한 산업 부품 및 특수 지그 수용 가능. |
| 탄소 섬유 탄화 | 고온에서 섬유 전구체를 연속 또는 배치 처리하여 높은 인장 강도 달성. | 긴 가열 구역으로 전체 섬유 길이에 걸쳐 일관된 열 이력 보장. |
| 전고체 전해질 합성 | 전고체 배터리용 고밀도 전해질 층을 형성하기 위한 분말의 고온 반응. | 정밀한 30단계 프로그래밍으로 복잡한 다단계 반응 사이클 가능. |
기술 사양
| 매개변수 | TU-87 사양 |
|---|---|
| 모델 번호 | TU-87 |
| 퍼니스 구조 | 이중 냉각 팬이 있는 이중층 강철 케이스; 전기 실린더로 구동되는 상부 분할 커버 |
| 단열재 | 고순도 섬유질 알루미나 및 버퍼 열 블록 포함 |
| 최대 온도 | 1200°C |
| 연속 온도 | 1100°C (대기압 하); < 1000°C (진공 하) |
| 가열 구역 길이 | 총 2100mm (82.6"); 각 300mm (11.8")의 7개 구역 |
| 균일 구역 길이 | ± 2ºC 이내 1350 mm |
| 가열 속도 | 최대 10°C/min |
| 튜브 치수 | 용융 석영; 8.5" 외경 x 8.1" 내경 x 60" 길이 (216mm x 206mm x 2500mm) |
| 진공 플랜지 | 이중 실리콘 O-링 및 수냉식 재킷이 포함된 SS 304 |
| 대기 제어 | 가스 입구/출구용 니들 밸브 2개; 진공/압력 게이지 1개 포함 |
| 진공 수준 | 10-2 torr (기계식 펌프); 10-5 torr (터보 펌프) |
| 온도 컨트롤러 | 7x 디지털 PID 컨트롤러; 30개 프로그래밍 가능 세그먼트; MET/CE 인증 |
| 온도 정확도 | ± 1 ºC (옵션 Eurotherm 업그레이드 시 ± 0.1 ºC) |
| 입력 전원 | 3상 460VAC, 50/60 Hz |
| 소비 전력 | 최대 50 kW (70 A 차단기 필요) |
| 규정 준수 | CE 인증; 요청 시 NRTL (UL61010) 또는 CSA 제공 가능 |
고온 7존 분할형 튜브 퍼니스를 선택해야 하는 이유
- 비교할 수 없는 온도 균일성: 7존 구조는 동급 최장의 안정적인 가열 영역을 제공하여 대규모 산업용 샘플이 끝에서 끝까지 동일한 열 조건을 경험하도록 보장합니다.
- 산업 등급의 견고함: 연속 작동을 위해 설계된 이 시스템은 프리미엄 강철 구조, 고급 냉각 기능 및 국제 표준 인증을 받은 고품질 PID 전자 장치를 특징으로 합니다.
- 정밀한 진공 무결성: 특수 스테인리스 스틸 플랜지와 고순도 석영 튜브를 통해 연구원은 민감한 반도체 및 항공우주 응용 분야에 필수적인 초청정 환경을 유지할 수 있습니다.
- 고급 공정 자동화: 30단계 프로그래밍 및 옵션 소프트웨어 통합을 통해 복잡한 열 사이클을 쉽게 자동화하여 작업자 오류를 줄이고 처리량을 높입니다.
- 유연한 맞춤화: Eurotherm 컨트롤러 업그레이드부터 맞춤형 가스 공급 시스템에 이르기까지, 귀하의 특정 연구 또는 생산 요구 사항에 맞게 퍼니스를 조정할 수 있는 유연성을 제공합니다.
당사의 엔지니어링 팀은 귀하의 연구실 또는 생산 라인을 위한 이상적인 열 솔루션을 구성하도록 도울 준비가 되어 있습니다. 기술 상담이나 공식 견적 요청은 지금 바로 문의하십시오.
조회를 요청하다
우리의 전문 팀이 영업일 기준 1일 이내에 답변을 드릴 것입니다. 언제든지 연락 주시기 바랍니다!
관련 제품
1200°C 10존 분할형 튜브 퍼니스 (수평/수직 장착 가능, 다중 구역 열 구배 및 대구경 재료 처리용)
10개의 독립적인 가열 구역을 통해 독보적인 열 구배 제어를 제공하며, 수평 또는 수직 장착이 가능한 고급 1200°C 10존 분할형 튜브 퍼니스 시스템입니다. 정밀한 산업 시뮬레이션, 재료 합성 및 고성능 실험실 R&D 열처리 응용 분야를 위해 탁월한 신뢰성을 바탕으로 설계되었습니다.
6존 분할형 튜브 퍼니스 1.8미터 쿼츠 튜브 1200°C 고온 가열 시스템
이 6존 고온 분할형 튜브 퍼니스는 유연한 열 구배와 1.8미터 가열 구역을 제공합니다. 이 시스템은 1200°C의 최대 온도, 진공 호환성, 그리고 고급 재료 연구 및 산업용 열처리 응용 분야를 위한 6개의 PID 컨트롤러를 특징으로 합니다.
터치스크린 컨트롤러와 다양한 석영관 옵션이 있는 5존 1200C 고온 분할 튜브 퍼니스
정밀한 열 구배와 분위기 제어를 위해 설계된 고성능 5존 1200C 튜브 퍼니스입니다. 이 시스템은 직관적인 터치스크린 프로그래밍과 진공 밀봉 기능을 제공하여, 정교한 소결, 어닐링 및 재료 합성 워크플로 전반에서 일관된 결과를 지원합니다.
옵션 대구경 석영 튜브를 갖춘 1200C 최대 4존 분할 튜브 퍼니스
옵션으로 14인치 직경 챔버와 고순도 단열재를 제공하는 이 1200°C 4존 분할 튜브 퍼니스로 재료 연구를 가속화하세요. 넓은 가열 구간 전반에 걸쳐 정밀한 열 균일성을 제공하여 대규모 소결, 어닐링, 고급 산업용 증착 공정에 이상적입니다.
12존 초장형 분할 튜브 퍼니스 (20피트 석영 튜브 및 최대 온도 1100°C)
이 고정밀 12존 분할 튜브 퍼니스는 6미터의 가열 길이와 1100°C의 최대 온도를 제공하여 긴 형태의 시료 처리에 적합합니다. 독립적인 PID 제어와 진공 대응 플랜지를 갖추고 있어 첨단 재료 과학 및 R&D 응용 분야에서 탁월한 균일성을 제공합니다.
정밀 온도 컨트롤러 및 퀵 플랜지 진공 시스템을 갖춘 7존 1200°C 분할형 튜브 퍼니스
재료 연구를 위해 설계된 전문가용 7존 1200°C 분할형 튜브 퍼니스로, 5인치 석영 튜브, 정밀 PID 제어, 진공 또는 제어된 분위기 환경에서 신속한 열처리를 위한 퀵 플랜지를 특징으로 합니다. 고성능 R&D 열처리 솔루션입니다.
재료 과학 연구를 위한 선택 가능한 석영 튜브 크기 및 진공 밀봉 플랜지를 갖춘 1200°C 고온 분할형 튜브 퍼니스
선택 가능한 석영 튜브 크기와 분위기 또는 진공 처리를 위한 정밀 PID 제어 기능을 갖춘 이 1200°C 분할형 튜브 퍼니스로 첨단 실험실 연구를 최적화하십시오. 까다로운 산업 및 R&D 환경에서 내구성과 고순도 재료 합성을 위해 설계되었습니다.
재료 연구용 1500°C 고온 분할형 튜브로 (진공 및 분위기 열처리)
이 1500°C 고온 분할형 튜브로는 첨단 재료 연구 및 산업용 소결 응용 분야를 위한 정밀 열처리를 제공합니다. 이중 쉘 구조, 통합 PID 제어, 진공 대응 스테인리스 스틸 플랜지를 갖추고 있어 까다로운 실험실 환경에서도 안정적인 성능을 보장합니다.
1200°C 고온 5인치 분할형 진공 튜브 퍼니스 (12인치 가열 구간 및 분리형 PID 컨트롤러 포함)
이 고성능 1200°C 분할형 진공 튜브 퍼니스로 정밀한 열처리를 구현하십시오. 대형 5인치 석영 튜브, 12인치 가열 구간, 분리형 PID 컨트롤러를 갖춘 이 NRTL 인증 시스템은 첨단 재료 연구 및 산업 R&D 분야에서 신뢰할 수 있는 결과를 보장합니다.
터치스크린 제어, 고순도 석영관 및 진공 밀봉 플랜지가 탑재된 1200°C 4구역 분할 튜브 퍼니스
정밀한 열 구배 제어와 일관된 고온 공정을 제공하는 이 1200°C 4구역 분할 튜브 퍼니스로 재료과학 연구를 강화하세요. 정교한 터치스크린 컨트롤러, 고순도 석영관, 유연한 진공 밀봉 플랜지가 특징으로 다양한 산업 분야에 적합합니다.
정밀 열처리를 위한 3인치 멀라이트 튜브 및 진공 씰링 플랜지 장착 1250C 스플릿 튜브 퍼니스
이 1250C 스플릿 튜브 퍼니스는 고급 R&D를 위한 3인치 멀라이트 튜브와 진공 씰링 플랜지를 특징으로 합니다. 재료 과학을 위해 설계된 이 장비는 정밀 PID 제어, 고순도 단열, 진공 또는 제어된 가스 분위기 하에서의 안정적인 성능을 제공합니다. 프로페셔널 등급.
1100°C 8존 고압 슈퍼합금 튜브 퍼니스 (통합 고압 가스 제어 시스템 포함)
슈퍼합금 베슬과 통합 제어 시스템을 갖춘 1100°C 8존 고압 튜브 퍼니스입니다. 안정적인 고압 분위기와 정밀한 다중 존 열 균일성이 요구되는 초전도체 물질 합성 및 첨단 산화물 세라믹 연구에 이상적입니다.
1500°C 고온 열처리 및 CVD용 알루미나 튜브와 진공 플랜지가 장착된 6존 분할형 튜브 퍼니스
이 1500°C 6존 분할형 튜브 퍼니스는 전문 실험실 연구 및 고온 CVD 응용 분야를 위한 탁월한 열 제어 기능을 제공합니다. 1800mm 알루미나 튜브와 정밀한 30세그먼트 PID 컨트롤러를 갖추어 일관된 재료 처리 및 어닐링 결과를 보장합니다.
고온 3존 분할형 튜브 퍼니스 1200°C 최대, 35.4인치 가열 길이, 8인치 내경 튜브
이 고성능 3존 분할형 튜브 퍼니스는 35.4인치 가열 구역과 8인치 직경의 튜브를 갖추어 고급 열처리를 수행합니다. 독립적인 구역 관리 기능을 통해 진공 또는 가스 분위기에서 1200°C의 최고 온도에 도달하며 탁월한 균일성을 제공합니다.
4구역 튜브 퍼니스 1100C, 600mm 대구경 석영 튜브 및 진공 플랜지
24인치 석영 튜브와 정밀한 1100°C 온도 제어를 갖춘 고급 4구역 튜브 퍼니스입니다. 대규모 재료 처리, 소결 및 CVD 응용 분야를 위해 설계된 이 고성능 시스템은 까다로운 R&D 환경에 탁월한 온도 균일성과 안정적인 진공 밀봉을 제공합니다.
알루미나 튜브와 수냉 플랜지를 갖춘 고온 1700C 6존 분할 튜브 퍼니스
재료 연구 및 산업용 증기 증착 응용을 위해 설계된 정밀 1700C 6존 분할 튜브 퍼니스입니다. 이 다목적 시스템은 독립적인 온도 존 제어와 진공 사용이 가능한 플랜지를 제공하여 일관된 열처리와 고급 재료 개발 요구사항을 충족하며 최대 성능을 보장합니다.
1200℃ 고온 구배 열처리용 10구역 다방향 실험실 튜브로
복잡한 열 프로파일링에 최적화된 이 10구역 노는 수평 및 수직 방향 모두에서 정밀한 1200℃ 제어를 제공합니다. 1470mm 가열 길이 시스템 전체에 걸쳐 대규모 온도 구배와 신뢰할 수 있는 분위기 제어 공정이 필요한 재료 연구개발에 이상적입니다.
18인치 가열 길이와 진공 플랜지를 갖춘 1200°C 3구역 분할 튜브 퍼니스
이 1200°C 3구역 분할 튜브 퍼니스로 열처리 공정을 최적화하세요. 18인치 가열 길이와 정밀 PID 제어 기능을 갖춘 이 제품은 전 세계 연구실 시설의 첨단 재료 연구, 어닐링, 소결 및 전문 산업 R&D 응용 분야에서 뛰어난 온도 균일성을 제공합니다.
열 구배 처리 및 첨단 소재 연구를 위한 1500°C 8존 분할형 튜브 퍼니스
이 1500°C 8존 분할형 튜브 퍼니스는 독립적인 PID 루프, 프리미엄 탄화규소(SiC) 가열 소자, 진공 또는 불활성 가스 분위기 열처리 응용 분야를 위해 설계된 고순도 멀라이트 튜브를 활용하여 특수 소재 연구에 탁월한 열 구배 제어 기능을 제공합니다.
1200C 듀얼 존 분할형 튜브 퍼니스 (석영 튜브 및 진공 플랜지 포함, 60mm, 80mm, 100mm 직경 선택 가능)
독립적인 온도 제어로 정밀한 열 구배를 구현하는 1200C 듀얼 존 분할형 튜브 퍼니스로 재료 연구를 강화하십시오. 융합 석영 튜브와 진공 밀봉 플랜지를 갖추어 고급 CVD 및 나노 재료 합성을 위한 이상적인 솔루션입니다.