고온 재료 합성을 위한 옵션 쿼츠 튜브 및 진공 플랜지 시스템이 적용된 24인치 3존 분할 튜브 퍼니스

제품 개요

이 고성능 열처리 시스템은 첨단 재료 과학 연구 및 산업 R&D를 위해 설계되었습니다. 3개의 독립 제어 구역으로 나뉜 24인치 가열 길이를 특징으로 하며, 연구자에게 정밀한 온도 구배를 만들거나 매우 긴 균일 열 평탄 구역을 유지할 수 있는 유연성을 제공합니다. 퍼니스 본체의 분할식 설계는 빠른 냉각과 공정 튜브에 대한 쉬운 접근을 가능하게 하여, 다양한 가스 분위기에서 시편 어닐링, 확산, 소결 공정의 처리량을 크게 향상시킵니다.

고순도 환경에 최적화된 이 장치는 ACS Nano와 같은 동료 심사 저널에 보고된 바와 같이 Ta 및 Nb 도핑 MoS2와 같은 첨단 재료 합성에 널리 사용됩니다. 이 시스템은 안정적인 성능을 최대 1200°C까지 보장하기 위해 고효율 단열과 고급 마이크로프로세서 기반 PID 제어를 통합합니다. 견고한 기계적 구조와 정밀 전자 장치를 결합함으로써, 이 장비는 반도체, 배터리 연구 및 나노기술에 집중하는 실험실의 핵심 장비로서 기능하며, 민감한 화학 기상 증착(CVD) 및 물리 기상 증착(PVD) 작업에 필요한 신뢰성을 제공합니다.

까다로운 산업 환경에서의 긴 수명을 고려하여 설계된 이 장비는 이중층 강철 케이스와 에너지 절감형 고순도 섬유 알루미나 단열재를 사용합니다. 이 구조는 열 손실을 최소화하는 동시에 작업자 안전을 위해 외부 표면 온도를 낮게 유지합니다. 일상적인 열처리든 복잡한 다단계 합성이든, 이 시스템은 현대 재료 공학에서 반복 가능하고 고품질의 결과를 달성하는 데 필수적인 열 일관성과 분위기 무결성을 제공합니다.

주요 특징

• 독립형 3존 열 관리: 총 24인치 가열 길이가 3개 구간(6" + 12" + 6")으로 나뉘며, 각 구간은 전용 컨트롤러와 K형 열전대가 장착되어 있어 정교한 온도 구배를 만들거나 최대한 넓은 일정 온도 구역을 구현할 수 있습니다.
• 정밀 PID 마이크로프로세서 제어: 고급 MTE 인증 컨트롤러는 셀프 튜닝 PID 알고리즘을 사용하여 전체 작동 범위에서 ±1°C 정밀도를 유지하고, 온도 오버슈트를 효과적으로 제거하여 공정 안정성을 보장합니다.
• 프로그래머블 열 프로파일: 시스템은 구역당 최대 30개의 프로그래밍 가능한 세그먼트를 지원하여, 특수 재료 변환 및 상(phase) 연구에 필요한 복잡한 가열, 유지, 냉각 사이클을 자동화할 수 있습니다.
• 대기 다양성 및 진공 무결성: SS 304 스테인리스 스틸 진공 플랜지 2개와 고온용 이중 실리콘 O링을 갖추어, 기계식 펌프로 10E-2 torr, 터보 분자 시스템으로는 최대 10E-5 torr의 진공 수준을 달성할 수 있습니다.
• 우수한 열 절연: 내부에는 에너지 절감형 고순도 섬유 알루미나 단열재를 사용하여 전력 소비를 줄이고, 챔버의 구조적 무결성을 해치지 않으면서 분당 최대 20°C의 빠른 가열 속도를 보장합니다.
• 향상된 안전 및 냉각 설계: 이중 냉각 팬이 통합된 이중층 강철 케이스는 장시간 고온 운전 중에도 외부 쉘이 안전한 접촉 온도를 유지하도록 하며, 내장된 과열 및 열전대 단선 보호 기능은 무인 운전 시 안전성을 제공합니다.
• 유연한 분할 힌지 구조: 퍼니스 본체는 견고한 힌지로 열 수 있도록 설계되어 쿼츠 튜브를 신속하게 장착 또는 제거할 수 있고, 공정 후 시편을 빠르게 냉각할 수 있어 특정 재료 상을 보존하는 데 중요합니다.
• 디지털 연결성 및 원격 모니터링: RS485 통신 포트를 통해 PC 기반 소프트웨어와 연동하여 실시간 데이터 로깅, 프로파일 관리 및 원격 모니터링이 가능하며, 연구 파라미터를 포괄적으로 문서화할 수 있습니다.
• 최적화된 발열체: 몰리브덴이 도핑된 Fe-Cr-Al 합금 발열체를 사용하여, 1100°C에서 연속 운전하더라도 일관된 복사열과 긴 수명을 제공합니다.

응용 분야

기술 사양

모델 변형 및 튜브 치수

이 시스템을 선택해야 하는 이유

• 비교할 수 없는 열적 유연성: 독립적인 3존 제어는 대형 시편용 초균일 온도 구역과 재료 전달 연구용 복잡한 구배 모두에 대해 탁월한 유연성을 제공합니다.
• 프리미엄 설계 및 제작: 산업용 등급 부품과 이중 쉘 안전 설계로 제작되어 지속적인 R&D 및 산업 생산 사이클의 혹독한 조건을 견딜 수 있습니다.
• 우수한 분위기 제어: 표준 스테인리스 스틸 진공 플랜지와 고품질 O링이 누설 없는 환경을 보장하여, 산화에 민감한 재료 합성과 고순도 화학 기상 증착에 필수적입니다.
• 검증된 연구 성능: 이 플랫폼은 주요 학술 기관과 글로벌 연구 센터에서 신뢰받고 있으며, 전이금속 칼코게나이드와 첨단 전기촉매제 관련 고영향 연구에 활용되었습니다.
• 확장 가능한 맞춤화: 다양한 튜브 크기 옵션(60mm~130mm)과 질량 유량계 및 고진공 스테이션과 같은 호환 가능한 모듈형 액세서리를 통해, 모든 재료 과학 실험실의 특정 요구 사항에 맞게 시스템을 조정할 수 있습니다.

당사의 엔지니어링 팀은 고객의 특정 열처리 요구에 맞춘 맞춤 구성 또는 기술 통합을 지원할 준비가 되어 있습니다. 기술 상담이나 경쟁력 있는 견적이 필요하시면 오늘 바로 문의해 주세요.