8인치 또는 11인치 석영 튜브와 고진공 플랜지가 적용된 1200℃ 대형 수직 3구역 튜브 퍼니스

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8인치 또는 11인치 석영 튜브와 고진공 플랜지가 적용된 1200℃ 대형 수직 3구역 튜브 퍼니스

품목 번호: TU-C16

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제품 개요

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이 고용량 열처리 시스템은 대구경 시편 챔버와 정밀한 분위기 제어가 필요한 첨단 재료 연구 및 산업 규모 개발을 위해 설계되었습니다. 수직 3구역 가열 유닛으로서, 수직 브리지만 성장이나 특수 소결과 같이 중력 또는 대류의 영향을 받는 공정에 독특한 구조적 이점을 제공합니다. 이 장비는 외경 최대 11인치에 달하는 매우 큰 석영 튜브를 수용할 수 있어 소형 실험실 퍼니스로는 처리할 수 없는 대량 배치 또는 대형 부품의 가공이 가능합니다. 이 시스템은 벤치탑 실험과 완전 산업 규모 생산 사이의 중요한 가교 역할을 하며, 다중 가열 구역의 유연성과 극한 진공 호환성을 제공합니다.

까다로운 R&D 환경을 위해 설계된 이 시스템은 1000mm 가열 길이 전체에 걸쳐 고온 안정성과 뛰어난 열 균일성을 제공하는 데 탁월합니다. 3개의 독립적으로 제어되는 가열 구역을 활용하여 연구자는 정확한 온도 구배를 생성하거나 균일한 확산 및 어닐링을 위해 매우 긴 정온 구역을 유지할 수 있습니다. 산업용 캐스터 바퀴가 장착된 견고한 알루미늄 합금 프레임은 큰 용량과 성능에도 불구하고 유닛이 실험실이나 클린룸 환경에서 이동 가능하고 적응력을 유지하도록 보장합니다. 첨단 세라믹, 반도체 웨이퍼 및 금속학적 상 변태 연구에 종사하는 기관에서 선호하는 제품입니다.

이 장비에 대한 신뢰는 견고한 구조와 엔지니어링 우선 설계 철학에 기반합니다. 분할 가능한 퍼니스 본체와 고품질 섬유 알루미나 단열재를 특징으로 하는 이 시스템은 빠른 가열 및 냉각 사이클과 에너지 효율성, 안전한 외부 표면 온도의 균형을 맞춥니다. 정밀 가공된 스테인리스 스틸 진공 플랜지와 신뢰할 수 있는 SiC 가열 요소의 통합은 이 퍼니스가 엄격한 작동 사이클에서도 일관되게 성능을 발휘하도록 보장합니다. 고진공 또는 보호 분위기 조건에서 작동하든, 이 유닛은 정교한 재료과학 응용 분야에서 반복 가능하고 고충실도 결과를 얻는 데 필요한 제어된 환경을 제공합니다.

주요 특징

  • 수직 분할 튜브 구조: 퍼니스는 분할 가능한 가열 챔버를 갖춘 독특한 수직 방향을 특징으로 하며, R&D 시설의 공간을 최적화하면서도 대형 석영 튜브와 섬세한 시료의 쉬운 적재 및 하역을 용이하게 합니다.
  • 3구역 독립 열 관리: 각각 자체 프로그래밍 가능 PID 컨트롤러로 관리되는 3개의 별도 가열 구역이 장착되어 있어 복잡한 온도 프로파일을 생성하거나 330mm를 초과하는 초안정 중앙 정온 구역을 유지할 수 있습니다.
  • 고용량 석영 튜브 호환성: 이 시스템은 8인치 또는 11인치 외경의 석영 튜브를 수용하도록 특별히 설계되었으며, 수직 튜브 퍼니스 카테고리에서 가장 큰 가공 용량 중 하나를 제공합니다.
  • 산업 등급 진공 밀봉: 고온 내성 실리콘 O-링이 장착된 힌지형 스테인리스 스틸 진공 밀봉 플랜지 한 쌍이 포함되어 있으며, 표준 기계식 펌프로 10^-2 torr까지 낮은 진공 수치를 달성할 수 있습니다.
  • 첨단 SiC 가열 요소: 가열 챔버는 총 36개의 고성능 탄화규소(SiC) 요소로 구동되며, 1200℃까지 균일한 열 분포와 빠른 열 응답을 제공하도록 전략적으로 배치되어 있습니다.
  • 열 효율성 및 안전성: 이중층 강철 케이싱은 공랭식 기술을 통합하여 최대 부하 작동 중에도 외부 표면 온도를 70℃ 이하로 유지하여 작업자와 주변 장비를 보호합니다.
  • 정밀 다구역 컨트롤러: 8개 또는 24개의 개별 구역을 가진 내장 유로서모 컨트롤러를 특징으로 하며, 실시간 PC 기반 모니터링 및 데이터 로깅을 위해 디지털 통신(RS485)과 소프트웨어 통합을 제공합니다.
  • 고순도 단열 라이너: 내부는 고급 섬유 알루미나 단열재로 라이닝되어 있어 열 손실을 최소화하고 온도 램프 속도를 개선하며 30KW 가열 시스템의 최대 에너지 효율을 보장합니다.
  • 종합 모니터링 포트: 오른쪽 플랜지에는 KF40 진공 포트와 전용 1/4인치 외경 열전대 삽입 포트가 장착되어 있어 튜브 내 직접 온도 교정과 정확한 내부 모니터링이 가능합니다.
  • 인증된 엔지니어링 표준: 이 장비는 CE 인증을 받았으며, 실험실 및 산업용 가열 기기에 대한 엄격한 국제 안전 및 품질 표준을 준수함을 강조합니다.

응용 분야

응용 분야 설명 주요 이점
반도체 확산 도펀트 확산 및 열 산화를 위한 대구경 웨이퍼(최대 8인치) 가공 웨이퍼 표면 전체에 뛰어난 열 균일성을 제공하여 일관된 전자 특성을 구현합니다.
공업용 세라믹 소결 수직 방향에서 대형 세라믹 부품 또는 소형 부품 배치의 고온 성형 최적화된 수직 열 분포를 통해 높은 부품의 구조 변형을 최소화합니다.
CVD / PECVD 연구 기상 반응을 통해 첨단 전자 제품 또는 에너지 저장 재료용 박막 코팅 제작 튜브 용량이 크기 때문에 복잡한 기판 배치가 가능하고 더 높은 막 증착 처리량을 달성할 수 있습니다.
대형 부품 어닐링 대형 금속 합금 또는 항공우주 특수 부품의 내부 응력 완화 냉각 속도를 정밀하게 제어하여 열충격을 방지하고 재료 무결성을 유지합니다.
분말 야금 진공 또는 불활성 가스 조건에서 금속 분말을 조밀하고 고순도 부품으로 소결 및 합금화 고진공 밀봉과 석영 순도를 통해 산화와 오염을 방지합니다.
브리지만 결정 성장 3구역 제어를 활용하여 방향성 응고를 위한 정확한 온도 구배를 설정 고해상도 구배 제어를 통해 고품질 단결정 성장을 용이하게 합니다.
배터리 재료 하소 제어된 분위기 환경에서 양극 및 음극 재료의 벌크 열처리 재료 검증을 위해 산업 생산 매개변수를 시뮬레이션하는 확장 가능한 R&D 용량을 제공합니다.
상전이 연구 물리적 상태 변화를 겪는 재료의 고충실도 온도 추적 정확한 교정과 PC 모니터링을 통해 중요한 전이 데이터 포인트를 로깅할 수 있습니다.

기술 사양

매개변수 TU-C16의 사양 세부 정보
품목 번호 TU-C16
퍼니스 구조 약 12인치 직경 가열 챔버를 갖춘 수직 분할 튜브 퍼니스
케이싱 설계 공랭식 이중층 강철 케이싱; 표면 온도 < 70℃
단열재 고품질 섬유 알루미나 단열 라이너
마운팅 고부하 캐스터 바퀴가 장착된 알루미늄 합금 프레임
표준 튜브 옵션 8인치 또는 11인치 외경 고순도 석영 튜브 (길이: 1800 mm / 71인치)
가열 구역 길이 총: 1000 mm (40인치); 3개 구역: 330 mm + 330 mm + 330 mm
정온 구역 350 mm (3개 구역 동기화 시 +/- 3℃)
가열 요소 36개 탄화규소(SiC) 요소
최대 작동 온도 1100℃ (연속 작동); 1200℃ (단기 작동)
온도 정확도 ± 0.1ºC
온도 컨트롤러 3대 프로그래밍 가능 PID 컨트롤러 (RS485 통신)
가열/냉각 속도 분당 10℃ (최대)
전원 공급 삼상, 208V AC 또는 380V AC, 50/60 Hz
최대 소비 전력 30 KW (100A 차단기 필요)
진공 수준 10^-2 torr (기계식 펌프); 10^-5 torr (옵션 터보 펌프)
플랜지 유형 이중 밸브가 장착된 스테인리스 스틸 힌지형 진공 밀봉 플랜지
가스 유입구 왼쪽: 니들 밸브 + 1/4인치 가시 호스; 오른쪽: KF40 포트
안전 기능 과부하 보호, 튜브 열충격 경고, 방사선 차폐
인증 CE 인증 (요청 시 NRTL 또는 NRTL/CSA 인증 가능)

저희 제품을 선택해야 하는 이유

  • 비교할 수 없는 가공 용량: 11인치 직경 석영 튜브를 활용할 수 있는 능력은 표준 실험실 튜브 퍼니스를 훨씬 뛰어넘는 가공 용량을 허용하므로, 이 유닛은 연구를 산업 규모로 확장하는 데 이상적입니다.
  • 정교한 열 정밀도: 독립적인 3구역 제어는 전례 없는 수준의 열 프로파일링을 가능하게 하여, 대량 배치 또는 대형 부품 전체에서 일관된 시료 품질을 보장하는 균일성 수준을 달성합니다.
  • 수명을 위한 견고한 엔지니어링: 고급 등급 SiC 가열 요소와 고부하 알루미나 단열재로 제작된 이 시스템은 까다로운 산업 R&D 환경에서 수년간 고사이클 작동을 견딜 수 있도록 제작되었습니다.
  • 유연한 시스템 통합: 수직 방향, 고진공 기능 및 디지털 PC 인터페이스의 조합은 기존 실험실 워크플로우나 복잡한 자동화 시스템에 이 유닛을 쉽게 통합할 수 있게 합니다.
  • 안전성과 안정성: 냉각된 외부 케이싱과 인증된 전자 부품을 통해 이 퍼니스는 특수 열처리에 필요한 고출력을 유지하면서 작업자 안전을 우선시합니다.

열처리 역량을 향상시키려는 산업 조달 팀과 연구자에게 이 수직 3구역 시스템은 가장 첨단 재료과학 응용 분야에 필요한 신뢰성과 정밀도를 제공합니다. 자세한 견적을 받거나 특정 진공 및 분위기 요구 사항에 맞춘 사용자 정의 구성에 대해 논의하려면 오늘 기술 영업 팀에 문의하십시오.

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5인치 직경의 챔버와 스테인리스 스틸 진공 플랜지를 갖춘 고성능 1200°C 수직형 석영 튜브 전기로입니다. 정밀한 30세그먼트 PID 제어를 통해 재료 과학 R&D, CVD 및 제어된 분위기에서의 특수 담금질(quenching) 공정을 위한 정확한 열처리를 보장합니다.