1200°C 최대 3존 튜브 퍼니스, 6인치 외경(튜브 및 플랜지 포함)

제품 개요

이 고성능 열처리 시스템은 재료 과학 연구 및 산업 생산의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 3존 가열 구성과 150mm(6인치)의 넉넉한 외경 용량을 특징으로 하는 이 장비는 4인치 웨이퍼 어닐링을 포함한 대규모 샘플 처리를 위한 다목적 플랫폼을 제공합니다. 독립적으로 제어되는 3개의 가열 존을 활용하여 사용자는 뛰어난 온도 균일성을 달성하거나 정밀한 열 구배를 생성할 수 있어, 엄격한 대기 제어와 열 안정성이 필요한 복잡한 열처리 사이클에 필수적인 도구가 됩니다.

이 시스템은 반도체, 항공우주 및 첨단 세라믹 산업 전반의 광범위한 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 화학 기상 증착(CVD), 고순도 재료의 소결 또는 금속 부품의 제어된 산화 등 어떤 용도로 사용하든 이 장비는 반복 가능하고 신뢰할 수 있는 결과를 제공합니다. 견고한 구조와 정교한 제어 인터페이스를 통해 차세대 고온 재료 개발에 정밀도와 확장성이 무엇보다 중요한 R&D 실험실 및 파일럿 생산 라인에 원활하게 통합될 수 있습니다.

장기적인 작동 신뢰성을 고려하여 제작된 이 퍼니스는 프리미엄 등급 단열재와 고급 전력 관리를 사용하여 까다로운 조건에서도 일관된 성능을 유지합니다. 고순도 알루미나 섬유 단열재를 통합하여 열 효율을 보장하는 동시에 열 손실을 최소화함으로써 에너지 효율적이고 온도 조절에 매우 민감하게 반응하는 시스템을 구현했습니다. 실험실 관리자와 구매 팀은 이 장비가 안정적인 열 환경을 제공하여 중요한 실험과 생산 배치를 열 변동 및 오염으로부터 보호할 것이라고 신뢰할 수 있습니다.

주요 특징

• 3존 독립 제어: 이 시스템은 3개의 개별 가열 존을 갖추고 있어 확장된 균일 온도 영역 또는 맞춤형 열 구배를 생성할 수 있습니다. 이러한 구성은 결정 성장이나 대량 어닐링과 같이 처리 튜브 전체에 걸쳐 특정 온도 프로파일이 필요한 공정에 필수적입니다.
• 고급 터치스크린 인터페이스: 7인치 고해상도 터치 패널은 전체 시스템을 위한 직관적인 제어 허브를 제공합니다. 사용자는 원클릭 시작/정지 기능, 실시간 데이터 모니터링 및 여러 복잡한 온도 프로그램을 미리 저장하는 기능을 활용하여 수동 설정 오류 가능성을 크게 줄일 수 있습니다.
• 정밀 PID 온도 조절: 정교한 PID 컨트롤러와 자동 튜닝 기능이 장착된 이 장치는 +/- 0.2°C의 온도 정확도를 유지합니다. 이러한 수준의 정밀도는 약간의 편차만으로도 샘플의 구조적 무결성이나 전기적 특성에 영향을 줄 수 있는 민감한 재료 처리 공정에 매우 중요합니다.
• 고순도 Al2O3 섬유 단열재: 퍼니스 챔버는 에너지 절약형 고순도 알루미나 섬유 단열재로 라이닝되어 있으며, 산화알루미늄 코팅으로 더욱 강화되었습니다. 이 조합은 가열 요소의 수명을 연장할 뿐만 아니라 빠른 가열 속도와 우수한 열 차폐를 보장합니다.
• 대구경 처리 능력: 최대 150mm(6인치) 직경의 석영 튜브를 수용하도록 설계된 이 시스템은 4인치 웨이퍼 처리 및 더 큰 벌크 재료 샘플에 이상적입니다. 어댑터를 통해 다양한 튜브 직경(80mm ~ 150mm)을 사용할 수 있는 유연성 덕분에 변화하는 연구 요구 사항에 매우 적합한 자산이 됩니다.
• 포괄적인 데이터 로깅: 통합 제어 시스템은 공정 데이터를 자동으로 기록하며 최대 1개월의 기록을 저장합니다. 이 기능은 산업 인증 및 연구 재현성에 필수적인 철저한 공정 후 분석 및 품질 관리 문서화를 용이하게 합니다.
• 견고한 진공 및 대기 밀봉: 진공 또는 제어된 가스 환경에서의 처리를 지원하기 위해 고품질 스테인리스 스틸 밀봉 플랜지를 사용할 수 있습니다. 이를 통해 장비는 다양한 화학 물질을 처리하고 고온 사이클 동안 산화를 방지할 수 있습니다.
• 안전 우선 설계: 과열 및 열전대 고장에 대한 내장 보호 메커니즘이 표준으로 제공되어 장시간 작동 시에도 안심할 수 있습니다. 시스템의 설계는 압력 관리 및 가스 흐름 조절을 위한 특정 프로토콜과 함께 안전한 작동을 강조합니다.
• 솔리드 튜브 단열 성능: 솔리드 튜브 단열 설계는 표준 분할 튜브 설계에 비해 더 균일한 온도 존을 제공하여 복사열이 처리 튜브의 전체 둘레에 고르게 분산되도록 합니다.
• 프로그래밍 가능한 세그먼트 유연성: 50개의 프로그래밍 가능한 세그먼트를 통해 이 시스템은 매우 복잡한 가열 및 냉각 램프를 지원합니다. 이를 통해 산업용 열 사이클을 정밀하게 시뮬레이션하고 취성 재료의 열 충격을 방지하기 위해 느리고 제어된 냉각을 수행할 수 있습니다.

응용 분야

기술 사양

TU-37을 선택해야 하는 이유

• 비교할 수 없는 열 정밀도: TU-37 시리즈는 단일 존 시스템의 전형적인 열 저하를 제거하는 정교한 3존 아키텍처를 활용하여 중요한 산업 공정을 위한 420mm의 거대한 균일 존을 제공합니다.
• 산업용 등급의 빌드 품질: 고순도 Al2O3 섬유 단열재부터 내구성이 뛰어난 스테인리스 스틸 플랜지에 이르기까지, 시스템의 모든 구성 요소는 까다로운 R&D 환경에서 지속적인 작동을 견딜 수 있는 능력에 따라 선택되었습니다.
• 확장 가능한 처리 용량: 6인치(150mm) 튜브를 수용할 수 있는 독특한 능력 덕분에 연구원들은 장비 플랫폼을 변경하지 않고도 소규모 테스트에서 4인치 웨이퍼 생산으로 원활하게 전환할 수 있습니다.
• 사용자 중심 디지털 제어: 터치스크린 인터페이스와 자동 데이터 로깅은 운영 학습 곡선을 줄이는 동시에 모든 공정 매개변수가 규정 준수 및 품질 보증을 위해 꼼꼼하게 문서화되도록 합니다.
• 다양한 대기 유연성: 공정에 고진공, 불활성 가스 흐름 또는 특정 압력 관리가 필요한지 여부에 관계없이, 시스템의 적응형 플랜지 및 펌핑 옵션은 다양한 연구 경로를 위한 미래 지향적인 솔루션을 제공합니다.

저희 엔지니어링 팀은 귀하의 특정 요구 사항에 맞는 완벽한 열처리 솔루션을 구성할 준비가 되어 있습니다. 기술 상담이나 TU-37 시스템에 대한 공식 견적을 원하시면 지금 바로 문의하십시오.