첨단 소재 CVD 공정을 위한 통합 가스 공급 시스템 및 1200°C 성능을 갖춘 5인치 3존 회전식 튜브 퍼니스

제품 개요

이 고성능 회전식 열처리 시스템은 탁월한 열 균일성과 정밀한 분위기 제어가 필요한 첨단 소재 과학 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 실험실 규모의 연구와 산업 생산 사이의 중요한 가교 역할을 하도록 설계된 이 장비는 제어된 조건 하에서 고순도 분말의 합성 및 코팅을 용이하게 합니다. 독특한 회전식 설계와 다중 구역 가열 구조는 전구체 물질의 모든 입자가 동일한 열 및 화학적 환경에 노출되도록 보장하며, 차세대 배터리 소재, 촉매 및 특수 세라믹 개발에 없어서는 안 될 도구입니다.

이 시스템은 소재의 균질성이 가장 중요한 화학 기상 증착(CVD) 및 다양한 열처리 공정에 최적화되어 있습니다. 틸팅 메커니즘과 회전식 융합 석영 튜브를 결합하여 작업물의 지속적인 움직임을 촉진함으로써 응집을 방지하고 일관된 표면 개질을 보장합니다. 이 장비는 특히 양극 및 음극 분말 처리에 효과적이며, 연구원들이 실험 결과의 반복성에 대한 높은 확신을 가지고 실험 결과를 확장할 수 있도록 지원합니다. 정교한 가스 공급 시스템의 통합은 복잡한 기상 반응을 처리하는 능력을 더욱 향상시킵니다.

신뢰성은 이 열처리 장치 설계의 핵심입니다. 고온 작동 중 외부 케이싱 온도를 낮게 유지하기 위한 냉각 팬이 통합된 견고한 이중 쉘 구조를 특징으로 합니다. 고순도 알루미나 섬유 단열재부터 정밀 DC 기어 모터에 이르기까지 모든 구성 요소는 까다로운 산업 R&D 주기에서도 내구성을 발휘하도록 선택되었습니다. 국제 안전 표준 준수는 이 시스템이 전 세계의 엄격한 실험실 환경에 즉시 배치될 준비가 되어 있음을 보장하며, 민감한 소재 처리를 위한 안정적이고 안전한 플랫폼을 제공합니다.

주요 특징

• 정밀 다중 구역 열 구조: 이 시스템은 총 길이 600mm에 걸쳐 독립적으로 제어되는 3개의 가열 구역을 사용합니다. 이 구성은 정밀한 열 구배를 생성하거나 450mm의 확장된 항온 구역을 형성할 수 있게 하여, 매우 민감한 소재 합성을 위해 ±1°C의 열 정확도를 제공합니다.
• 동적 회전 및 틸팅 메커니즘: 가변 속도 DC 기어 모터(0-10 RPM)와 수동 전기 틸팅 기능(최대 30°)을 갖추어 최적의 소재 교반 및 처리량 제어를 보장합니다. 이러한 동적 움직임은 CVD 및 하소 공정 중 개별 분말 입자에 균일한 코팅을 달성하는 데 필수적입니다.
• 통합 4채널 가스 공급: 디지털 터치스크린 인터페이스를 갖춘 정교한 가스 혼합 및 공급 시스템을 통해 최대 4가지의 서로 다른 전구체 또는 불활성 가스를 정밀하게 조절할 수 있습니다. 이를 통해 단일 공정 주기 내에서 복잡한 분위기 제어 및 다단계 화학 반응이 가능합니다.
• 우수한 단열 성능: 퍼니스 챔버는 고순도 알루미나 섬유 단열재로 라이닝되어 있어 최대의 에너지 효율과 빠른 가열 속도를 제공하는 동시에 열 손실을 최소화합니다. 이 기술 등급의 단열재는 최대 1200°C의 온도에서 장기적인 구조적 무결성과 일관된 성능을 보장합니다.
• 고급 진공 및 오염 관리: 시스템에는 고효율 배기 필터 및 콜드 진공 트랩과 결합된 고성능 기계식 진공 펌프가 포함되어 있습니다. 이 구성은 CVD 부산물로부터 진공 하드웨어를 보호하고 공정 오염을 방지하여 10-2 torr만큼 낮은 챔버 압력을 유지합니다.
• 산업용 제어 시스템: 3개의 프로그래밍 가능한 PID 컨트롤러가 각 구역의 열 프로필을 독립적으로 관리합니다. 향상된 데이터 관리를 위해 터치스크린 제어 및 LabVIEW 기반 소프트웨어를 업그레이드하여 열 데이터를 기록하고 플롯할 수 있어 R&D 문서화에 대한 완벽한 추적성을 보장합니다.
• 안전 우선 설계: 퍼니스는 작업자 안전을 보장하기 위해 이중 쉘 케이싱과 냉각 팬으로 제작되었습니다. 모든 전기 부품은 UL 또는 Met 인증을 받았으며, 시스템 설계에는 빠른 냉각과 처리 튜브에 대한 쉬운 접근을 위한 분할 커버가 포함되어 있습니다.
• 다양한 튜브 구성: 이 장치에는 표면적 노출을 극대화하기 위해 4개의 내부 혼합 블레이드가 장착된 130mm 외경의 융합 석영 튜브가 포함되어 있습니다. 니들 밸브와 회전 가능한 가스 커넥터가 있는 스테인리스 스틸 밀봉 플랜지는 고진공 또는 제어된 분위기 응용 분야를 위한 기밀 밀봉을 제공합니다.

응용 분야

기술 사양

TU-X11을 선택해야 하는 이유

• 확장 가능한 생산 경로: 이 장비는 비용 효율적인 중간 단계로 특별히 설계되어, 연구원들이 소규모 실험실 샘플에서 최대 2kg의 생산 규모 배치로 소재 공정을 성공적으로 전환할 수 있도록 합니다.
• 비교할 수 없는 열 균일성: 정적 튜브 퍼니스와 달리, 3존 가열과 지속적인 회전이 결합되어 소재 베드 내의 열 구배를 제거하여 모든 입자가 동일한 열처리를 받도록 보장합니다.
• 턴키 CVD 솔루션: 4채널 가스 공급 시스템, 진공 펌프 및 콜드 트랩을 단일 패키지로 통합함으로써, 이 시스템은 추가 타사 구성 요소 없이도 정교한 화학 기상 증착을 위한 포괄적인 환경을 제공합니다.
• 프리미엄 소재 무결성: 고순도 석영과 고효율 알루미나 단열재를 사용하여 처리 환경이 금속 오염으로부터 자유롭게 유지되어 민감한 전자 및 배터리 소재의 무결성을 보호합니다.
• 검증된 신뢰성 및 지원: 산업 R&D의 엄격함을 견디도록 제작된 이 시스템은 포괄적인 보증과 장기적인 운영 일관성을 보장하는 기술 지원 팀의 지원을 받습니다.

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