대형 웨이퍼 처리를 위한 8.5~11인치 외경 석영 튜브 및 진공 플랜지가 포함된 1100°C 3존 튜브 퍼니스

제품 개요

이 고용량 열처리 시스템은 대규모 반도체 웨이퍼 처리, 첨단 재료 연구 및 산업용 열처리를 위해 특별히 설계되었습니다. 대구경 석영 튜브와 결합된 대형 3존 가열 구성을 통해 민감한 화학 기상 증착(CVD)이나 어닐링 사이클에 필요한 열 정밀도를 유지하면서도 넓은 처리 용량을 제공합니다. 이 장비는 1100°C에서 연속 작동하도록 설계되어, 반복 가능한 결과와 고순도 분위기를 요구하는 고처리량 실험실 환경 및 파일럿 생산 라인에 강력한 플랫폼을 제공합니다.

반도체, 항공우주 및 에너지 저장 분야를 겨냥한 이 장비는 웨이퍼 확산부터 촉매 재료의 구조적 최적화에 이르기까지 다양한 응용 분야에서 탁월한 성능을 발휘합니다. 3존 설계는 정밀한 열 구배를 생성하거나 상당히 확장된 균일 가열 구역을 제공하며, 이는 더 큰 기판이나 여러 샘플을 동시에 처리하는 데 매우 중요합니다. 이러한 다재다능함 덕분에 이 시스템은 벤치탑 실험에서 산업용 프로토타입으로 재료 합성을 확장하려는 시설의 핵심 장비가 됩니다.

신뢰성을 최우선으로 설계된 이 퍼니스는 이중층 강철 케이싱과 첨단 섬유질 알루미나 단열재를 사용하여 작동 안전성과 에너지 효율성을 보장합니다. 수냉식 스테인리스 스틸 밀폐 플랜지를 포함하여 고진공 작동 및 제어된 분위기 처리가 가능하며, 가장 까다로운 야금 또는 화학 공정도 안정적이고 깨끗한 환경 내에서 수행할 수 있습니다. 이 시스템은 엄격한 R&D 일정 속에서도 장기적인 성능을 제공하는 내구성에 상당한 투자를 한 결과물입니다.

주요 특징

• 독립적인 3존 열 제어: 이 시스템은 각각 300mm 길이의 3개 가열 구역을 갖추고 있으며, 개별 PID 프로그래밍 가능 컨트롤러로 제어됩니다. 이를 통해 총 900mm(약 35.4인치)의 가열 길이를 제공하며, 600mm의 정온 구역을 설정하거나 특수 증기 수송 공정에 필요한 복잡한 열 구배를 유연하게 구성할 수 있습니다.
• 대형 석영 튜브 통합: 외경 8.5인치(216mm)에서 11인치(279mm)에 이르는 석영 튜브를 수용할 수 있어 대형 웨이퍼 보트와 대형 산업용 부품을 처리할 수 있습니다. 이러한 고용량은 실험실 규모의 튜브 퍼니스에서는 드문 사양으로, 소규모 연구와 본격적인 산업 생산 사이의 간극을 메워줍니다.
• 고성능 FeCrAl 발열체: 고품질 철-크롬-알루미늄(FeCrAl) 저항선이 내화성 섬유질 알루미나 단열재 내부에 전략적으로 매립되어 있습니다. 이 발열체는 산화 및 열 피로에 대한 뛰어난 저항성 덕분에 최대 작동 온도까지 자주 사이클을 반복해도 긴 수명을 보장합니다.
• 첨단 밀폐 진공 씰링: 퍼니스에는 힌지 스타일의 수냉식 스테인리스 스틸 플랜지 한 쌍이 장착되어 있습니다. 이 플랜지에는 진공 게이지, 니들 밸브, KF40 포트가 통합되어 있어 기계식 펌프로 최대 5e-2 torr의 진공도를 달성할 수 있으며, 옵션인 터보 펌핑 시스템을 사용하면 더 높은 진공도도 가능합니다.
• 우수한 단열 및 안전성: 공랭식 통합 이중층 강철 케이싱은 최대 작동 중에도 외부 표면 온도를 70°C 미만으로 유지합니다. 고순도 알루미나 섬유 단열재는 열 손실을 최소화하고 전력 소비를 줄이는 동시에 최대 10°C/min의 빠른 가열 및 냉각 속도를 유지합니다.
• 정밀 PID 계측: 각 구역은 듀얼 K-타입 열전대로 모니터링되며, +/- 1°C 정확도의 30세그먼트 프로그래밍 가능 컨트롤러로 관리됩니다. 이러한 제어 수준은 열 오버슈트를 방지하고 장시간 어닐링 또는 확산 단계에서 섬세한 기판의 무결성을 보장하는 데 필수적입니다.
• 강력한 가스 처리 기능: 플랜지 어셈블리에는 스테인리스 스틸 니들 밸브와 퀵 커넥트 포트가 포함되어 있어 불활성 또는 반응성 가스를 쉽게 도입할 수 있습니다. 이는 가스 흐름과 압력을 엄격하게 유지해야 하는 분위기 제어 공정에 이상적입니다.
• 웨이퍼 처리 최적화: 옵션인 석영 배플 블록과 특수 웨이퍼 보트(대형 튜브 변형의 경우 최대 8인치)를 지원하여 반도체 어닐링, 산화 및 확산 공정을 위한 턴키 솔루션을 제공합니다.

응용 분야

기술 사양

이 3존 튜브 퍼니스를 선택해야 하는 이유

• 산업용 처리량: 11인치 외경 튜브 용량과 900mm 가열 길이의 드문 조합으로, 일반적으로 산업용 장비가 필요한 대형 기판이나 대량의 재료를 처리할 수 있습니다.
• 정밀 엔지니어링: 3존 PID 제어와 +/- 1°C의 정확도로 재현 가능한 재료 과학 및 반도체 제조에 필요한 열 안정성을 제공합니다.
• 첨단 안전성 및 안정성: 이중벽 케이싱 설계와 수냉식 플랜지는 안전한 실험실 환경을 보장하며 고온 장시간 사이클 동안 시스템의 내부 씰을 보호합니다.
• 고진공 무결성: 힌지형 밀폐 플랜지와 KF40 포트로 설계되어 5e-2 torr 수준의 진공도를 요구하는 고순도 공정에 적합하며, 클린룸 환경에서도 사용할 수 있습니다.
• 맞춤형 제어 옵션: 표준 PID 구성 외에도 고급 레시피 편집 및 자동 데이터 로깅을 위해 Eurotherm 3000 시리즈 컨트롤러와 Labview 기반 소프트웨어로 업그레이드할 수 있습니다.

저희 기술 팀은 귀하의 R&D 또는 생산 요구 사항에 정확히 부합하도록 맞춤형 구성이나 특정 공정 요구 사항을 지원할 준비가 되어 있습니다. 상세 견적을 원하시거나 열처리 사양에 대해 논의하시려면 지금 바로 문의해 주십시오.