1200C 3존 분할형 수직 튜브 퍼니스 4인치 석영 튜브 스테인리스 스틸 진공 플랜지

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1200C 3존 분할형 수직 튜브 퍼니스 4인치 석영 튜브 스테인리스 스틸 진공 플랜지

품목 번호: TU-C13

최대 온도: 1200°C 가열 구역: 3개 구역 (총 길이 900mm) 튜브 직경: 4인치 (102mm 외경) 석영
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제품 개요

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이 수직 열처리 시스템은 정밀한 분위기 제어와 빠른 온도 사이클링이 필요한 재료 과학 연구소 및 산업 R&D 시설을 위한 정교한 솔루션입니다. 분할형 셸 디자인과 수직 배치를 통합함으로써, 이 장비는 효율적인 시료 장입 및 배출을 가능하게 하는 동시에 이용률이 높은 연구 환경에서 작업 공간을 최적화합니다. 이 시스템의 핵심 가치는 세 개의 독립 가열 존 전반에 걸쳐 극도의 열 안정성을 유지하여, 고급 단결정 성장 및 화학 기상 증착 공정에 필요한 정밀한 온도 구배 또는 넓은 등온 영역을 구현할 수 있다는 점에 있습니다.

항공우주 공학, 반도체 개발, 고체 상태 화학과 같은 분야를 대상으로 하는 이 시스템은 복잡한 열처리 레시피에 필요한 다양성을 제공합니다. 고순도 석영 튜브와 견고한 진공 밀봉의 조합은 민감한 재료가 오염 없이 처리되도록 보장합니다. 빠른 담금질 시험이든 안정 상태 소결이든, 이 장비는 학술 및 산업 환경 모두에서 고품질 연구 데이터를 생성하는 데 필수적인 재현성과 정확성을 제공합니다.

산업용 부품으로 제작되고 장기 운용 신뢰성에 중점을 둔 이 퍼니스는 지속적인 고온 운전의 가혹한 조건을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 분할형 케이싱은 손쉬운 유지보수와 빠른 냉각을 가능하게 하며, 통합형 고하중 이동식 베이스는 시설 내에서 전체 시스템을 안전하게 재배치할 수 있게 합니다. 이러한 고급 엔지니어링 투자는 일관된 성능으로 이어져 가동 중단을 최소화하고, 정밀도가 절대적으로 중요한 핵심 연구 프로젝트의 처리량을 극대화합니다.

주요 기능

  • 독립형 3존 가열 제어: 시스템은 각 300mm 길이의 세 개 독립 가열 존을 갖추고 있으며, 독립적으로 제어되어 맞춤형 열 구배를 생성할 수 있습니다. 이 구성은 브리지먼 단결정 성장과 같은 응용이나, 존을 동기화했을 때 600mm의 일정 가열 구간에 걸쳐 매우 균일한 온도 분포를 보장하는 데 매우 중요합니다.
  • 정밀 분할 셸 설계: 퍼니스 본체는 길이 방향으로 열리는 분할형 구조로 설계되었습니다. 이를 통해 사용자는 공정 튜브를 쉽게 삽입하거나 제거할 수 있으며, 복잡한 진공 연결 분해 없이 고온 사이클 후 시료를 신속하게 냉각할 수 있습니다.
  • 고급 진공 밀봉 시스템: 이중 스테인리스 스틸 진공 플랜지를 갖추고 있으며, 고품질 밸브와 진공 게이지가 포함되어 있습니다. 상단 플랜지에는 담금질 실험용 도가니 또는 시료를 걸 수 있도록 특별히 설계된 통합 훅 링이 있어, 열처리 과정 중 수직 안정성을 보장합니다.
  • 고순도 용융 석영 반응 튜브: 표준 4인치 직경 석영 튜브는 뛰어난 열충격 저항성과 화학적 비활성을 제공합니다. 이 소재는 진공 또는 흐르는 가스 하에서 고순도 환경을 유지하는 데 이상적이며, 연구자들이 투명한 튜브를 통해 반응 진행 상황을 시각적으로 관찰할 수 있게 합니다.
  • 정교한 PID 온도 제어: MET 인증 컨트롤러는 가열 속도, 냉각 속도 및 유지 시간을 정밀하게 관리할 수 있도록 30개의 프로그래밍 가능한 세그먼트를 제공합니다. ±1°C 이내의 정확도가 유지되며, 내장 PID 자동 튜닝 기능과 열전대 단선 보호 기능이 지원되어 무인 운전 시 안전성을 높입니다.
  • 견고한 열 절연: 고품질 섬유질 단열재를 사용하여 최대 에너지 효율을 구현하도록 설계되었습니다. 이 소재는 열 손실을 최소화하고, 1200°C의 최대 한계에서 장시간 운전하더라도 외부 케이싱이 안전한 온도를 유지하도록 합니다.
  • 통합 안전 기능: 시스템에는 과온 보호 및 경보가 표준으로 포함되어 있어 야간에도 안전하게 운전할 수 있습니다. 이중 구조의 강철 케이싱은 공랭 팬 시스템을 포함하여 외부 표면 온도를 55°C 이하로 유지하고, 실험실 인원과 주변 장비를 보호합니다.
  • 고하중 이동식 통합: 전체 퍼니스 유닛은 고하중 산업용 이동 카트에 장착되어 있습니다. 이를 통해 시설 내에서 장비를 쉽게 이동할 수 있으며, 민감한 실험 세팅을 위한 안정적이고 진동이 감쇠된 플랫폼을 제공합니다.
  • 디지털 통신 기능: RS485 통신 포트를 갖추고 있어 외부 컴퓨터 시스템과 통합할 수 있습니다. 이를 통해 원격 모니터링, 가열 프로파일 데이터 로깅, Labview 기반 소프트웨어 환경을 통한 복잡한 열처리 레시피 자동화가 가능합니다.
  • 확장 가능한 분위기 제어: 표준 1/4" 바브형 니들 밸브 피팅을 통해 보호 가스를 주입할 수 있습니다. 또한 Swagelok 피팅 또는 KF25 어댑터로 업그레이드하여 고진공 펌프와 정밀 질량 유량 컨트롤러를 CVD 응용에 맞게 장착할 수 있습니다.

응용 분야

응용 분야 설명 주요 이점
담금질 연구 수직 현수 및 신속 분리 메커니즘을 통해 고온의 금속 또는 세라믹 시료를 급속 냉각합니다. 상변태 동역학과 미세구조 진화를 정밀하게 제어할 수 있습니다.
화학 기상 증착 석영 튜브의 제어된 열 환경에 전구체 가스를 공급하여 박막과 나노재료를 합성합니다. 넓은 600mm 일정 가열 구간 전반에서 뛰어난 균일성을 제공하여 일관된 막 두께를 구현합니다.
결정 성장 3존 제어를 활용하여 브리지먼 또는 증기 수송 방식에 필요한 정밀한 온도 구배를 설정합니다. 단결정 품질에 필요한 고해상도 공간 온도 제어를 제공합니다.
반도체 도핑 고순도 석영 환경에서 실리콘 웨이퍼 또는 기타 반도체 기판에 고온 확산 방식으로 도펀트를 주입합니다. 배치 균일성을 위한 오염 최소화와 재현 가능한 열 사이클을 제공합니다.
촉매 합성 제어된 분위기(흐르는 질소, 아르곤 또는 포밍 가스) 하에서 촉매 물질을 소성 및 환원합니다. 활성 사이트 보존을 위한 고순도 가스 흐름 관리와 정확한 유지 시간 제어를 제공합니다.
세라믹 소결 진공 하에서 최대 1200°C의 온도로 분말 성형체를 치밀한 세라믹 부품으로 치밀화합니다. 효과적인 분위기 제거와 정밀한 승온 속도 제어를 통해 기공을 제거합니다.
상평형도 연구 안정 상태 등온 유지 조건을 사용하여 재료 혼합물의 열 안정성과 상전이 지점을 결정합니다. 신뢰할 수 있는 재료 특성화 데이터를 위한 장기 온도 안정성(±1°C)을 제공합니다.
고진공 처리 산화 또는 질화를 방지하기 위해 0.1 torr까지의 압력이 필요한 민감한 합금을 열처리합니다. CNC 가공 스테인리스 스틸 플랜지와 O-링 씰이 제공하는 신뢰성 높은 진공 기밀성을 제공합니다.

기술 사양

사양 구분 세부 사양 (TU-C13)
모델 식별자 TU-C13
퍼니스 구조 강제 공랭 기능이 있는 이중 구조 강철 케이싱; 표면 온도 < 55°C
단열재 에너지 효율을 위한 고순도 섬유질 세라믹 단열재
정격 전력 7 KW
전압 요구사항 AC 208-240V 단상, 50/60 Hz
최대 온도 1200°C
연속 운전 온도 1100°C
최대 가열 속도 ≤ 20°C /min
튜브 재질 고순도 용융 석영
튜브 치수 외경: 102mm; 내경: 94mm; 길이: 1540mm (4인치 직경)
기본 패키지 4" 석영 튜브 1개 포함; 2", 3", 5" 어댑터는 옵션 제공
가열 존 구성 총 가열 길이 900mm를 위한 3개 존(3x 300mm)
일정 가열 구간 600mm (세 개의 존이 모두 동일한 온도로 설정될 때)
온도 컨트롤러 MET 인증; 30개 프로그래밍 가능 세그먼트; PID 자동 튜닝; RS485 포트
온도 정확도 ± 1ºC
진공 밀봉 스테인리스 스틸 플랜지 2개; 통합 게이지, 밸브 및 상단 플랜지 훅
피팅 포트 니들 밸브가 있는 표준 1/4’’ 바브형 피팅
진공 수준 0.1 torr (옵션 디지털 게이지 및 고진공 펌프 사용 시 최대 10-4 torr)
가열 요소 수명 향상을 위해 Mo가 도핑된 Fe-Cr-Al 합금
인증 CE 인증; 요청 시 NRTL/CSA 제공 가능
진공 제한 1000°C까지 진공 하에서 안전하게 사용 가능; 내부 압력 < 0.2 bars
가스 유량 한계 석영 튜브의 열충격을 줄이기 위해 200 SCCM 미만 권장

왜 TU-C13을 선택해야 하는가

  • 정밀성을 위한 설계: 독립형 3존 제어는 열 프로파일링에서 전례 없는 유연성을 제공하여, 균일성과 구배가 모두 필요한 복잡한 재료 합성에 이상적입니다.
  • 타협 없는 제작 품질: 몰리브덴이 도핑된 Fe-Cr-Al 합금 발열체와 고순도 섬유질 단열재를 적용하여, 까다로운 산업 및 연구 환경에서 수년간 신뢰성 있게 사용할 수 있도록 제작되었습니다.
  • 향상된 안전성과 사용 편의성: 빠른 접근을 위한 분할형 수직 설계와 이중 구조 공랭 케이싱의 조합은 연구자에게는 생산성을, 실험실 환경에는 안전성을 제공합니다.
  • 다목적 분위기 제어: 스테인리스 스틸 진공 플랜지와 고진공 피팅으로 업그레이드할 수 있는 기능을 통해, 이 장비는 진공, 불활성 가스 및 반응성 가스 환경을 완벽하게 처리합니다.
  • 인증된 신뢰성: 모든 장비는 CE 인증을 받았으며 엄격한 엔지니어링 기준에 따라 제작되어, 규제가 적용되는 산업의 구매팀과 규정 준수 담당자에게 안심을 제공합니다.

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