다구역 어닐링 및 재료 연구를 위한 3인치 석영 튜브가 포함된 고처리량 1200C 4채널 튜브 퍼니스

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다구역 어닐링 및 재료 연구를 위한 3인치 석영 튜브가 포함된 고처리량 1200C 4채널 튜브 퍼니스

품목 번호: TU-R05

공정 채널: 4개의 독립적인 튜브 최대 온도: 1200°C 튜브 직경: 80mm 외경 (3인치 공칭)
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제품 개요

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이 고처리량 열처리 시스템은 연구실 효율성의 획기적인 발전을 의미하며, 다양한 조건에서 여러 샘플을 동시에 열처리해야 하는 연구원들을 위해 특별히 설계되었습니다. 4개의 독립적인 가열 모듈을 하나의 콤팩트한 공간에 통합함으로써, 이 장비는 서로 다른 온도 프로파일을 동시에 실행할 수 있게 하여 연구실 공간 요구 사항을 늘리지 않고도 연구 성과를 4배로 높일 수 있습니다. 이 장치는 병렬 처리와 정밀한 대기 제어가 필수적인 새로운 합금, 세라믹 및 박막 재료의 발견과 특성 분석을 가속화하려는 재료 과학자들에게 최고의 선택입니다.

이 시스템의 주요 사용 사례는 야금, 반도체 개발, 고체 화학을 포함한 다양한 산업 및 학술 분야에 걸쳐 있습니다. 특히 전이점과 구조적 변화를 식별하기 위해 여러 샘플에 서로 다른 열 이력을 적용해야 하는 상태도 매핑에 매우 효과적입니다. 4가지 공정을 한 번에 처리할 수 있는 능력은 촉매의 고처리량 스크리닝 및 차세대 배터리 재료 개발에 필수적입니다. 산업 R&D 환경에서 이 시스템은 반복 가능하고 충실도가 높은 열 데이터를 제공함으로써 소규모 실험실 실험과 파일럿 규모 생산 사이의 가교 역할을 합니다.

신뢰성은 이 산업용 퍼니스의 핵심입니다. 최대 1200°C의 온도에서 까다로운 연속 작동 주기를 견딜 수 있도록 제작되었으며, 견고한 구조는 일관된 열 균일성과 장기적인 기계적 안정성을 보장합니다. 고순도 석영 반응 용기와 정밀하게 설계된 밀봉 플랜지를 사용하여 민감한 재료의 무결성을 유지하는 데 필수적인 오염 없는 환경을 보장합니다. 각 가열 채널은 정교한 전자 장치에 의해 모니터링 및 제어되므로 엄격한 R&D 워크플로우에서 복잡하고 며칠이 걸리는 실험 프로토콜에 필요한 운영 신뢰성을 제공합니다.

주요 특징

  • 4채널 독립 제어: 이 시스템은 중앙 집중식 터치스크린 인터페이스를 통해 독립적으로 프로그래밍할 수 있는 4개의 개별 가열 모듈을 갖추고 있어, 동일한 장치 공간 내에서 4개의 고유한 온도 프로파일을 동시에 실행할 수 있습니다.
  • 정밀 용융 석영 챔버: 각 채널은 뛰어난 열충격 저항성과 화학적 불활성을 제공하는 고순도 80mm 외경 석영 튜브를 사용하여 민감한 화학 기상 증착 또는 어닐링 공정을 위한 깨끗한 환경을 보장합니다.
  • 고급 다중 세그먼트 프로그래밍: 모든 가열 채널에는 24세그먼트 프로그래밍 가능 컨트롤러가 장착되어 있어 고급 재료 합성의 특정 동역학 요구 사항에 맞춘 복잡한 램프-소크(ramp-soak) 시퀀스가 가능합니다.
  • 통합 가스 및 진공 아키텍처: 퍼니스에는 각 채널에 대한 개별 니들 밸브와 기계식 진공 게이지가 포함되어 있으며, 공유 KF25 진공 포트가 지원되어 단일 진공 소스를 사용하여 4개의 모든 튜브에 걸쳐 정밀한 대기 관리가 가능합니다.
  • 향상된 열 균일성: 각 300mm 가열 구역은 Ni-Cr-Al 저항 와이어 요소로 설계되어 ±1°C 이내의 중앙 100mm 항온 구역을 제공하며, 모든 배치에서 재현 가능하고 정확한 결과를 보장합니다.
  • 실시간 데이터 수집: RS485 통신 포트와 특수 PC 제어 소프트웨어를 갖추고 있어 연구원이 단일 워크스테이션에서 4개 채널 모두에 대한 열 데이터를 동시에 모니터링, 기록 및 내보낼 수 있습니다.
  • 산업용 진공 무결성: 정밀 가공된 퀵 클램프 KF25 플랜지는 호환되는 분자 터보 펌프와 결합할 경우 10^-5 torr까지 낮은 고진공 수준을 달성하도록 설계되었으며, 이는 산소에 민감한 야금에 필수적입니다.
  • 포괄적인 안전 모니터링: 이 시스템에는 과열 조건 및 열전대 고장에 대한 통합 경고가 포함되어 있으며, 무인 작동 중 샘플 무결성과 하드웨어를 보호하기 위해 자동 종료 기능을 제공합니다.
  • 견고한 가열 요소 설계: 고급 Ni-Cr-Al 저항 와이어가 전략적으로 배치되어 석영 튜브로의 열 전달 효율을 극대화하는 동시에 고온에서 장기적인 연속 작동을 위한 높은 내구성을 유지합니다.
  • 콤팩트한 인체공학적 디자인: 4개의 독립적인 퍼니스를 수직 또는 모듈식 수평 구성으로 쌓음으로써, 이 시스템은 샘플을 싣고 내리는 접근성을 저해하지 않으면서 연구실 공간 효율성을 극대화합니다.

응용 분야

응용 분야 설명 주요 이점
상태도 매핑 상 경계를 식별하기 위해 서로 다른 온도에서 4가지 합금 조성을 동시에 테스트. 단일 튜브 시스템 대비 재료 발견 속도를 4배 가속화.
반도체 어닐링 석영 반응 튜브를 사용하여 제어된 질소 또는 아르곤 분위기에서 웨이퍼 쿠폰의 고순도 열처리. 오염을 최소화하고 정밀한 도펀트 활성화 프로파일 보장.
세라믹 소결 높은 밀도와 원하는 결정 구조를 얻기 위해 진공 또는 흐르는 가스 하에서 세라믹 그린 바디 소결. 배치 간 높은 일관성 및 반복 가능한 밀도 지표.
촉매 효율 스크리닝 수명과 선택성을 테스트하기 위해 특정 촉매 재료를 특정 열 노화 프로토콜에 적용. 동일하거나 다양한 대기 조건에서 병렬 스크리닝 가능.
전고체 배터리 연구 이온 전도도를 최적화하기 위해 고체 전해질 및 음극 재료의 열처리. 독립적인 구역 제어로 소결 온도의 정밀한 최적화 가능.
코팅 및 박막 합성 탄소 나노튜브 또는 금속 박막의 성장을 탐구하기 위한 소규모 CVD 공정. 유연한 가스 흐름 및 진공 제어로 각 채널별 맞춤형 화학 환경 조성.
분말 야금 고온에서 산화를 방지하기 위해 보호 분위기에서 금속 분말의 탈지 및 소결. 퀵 씰 진공 플랜지를 통한 안정적인 대기 격리.
지구화학적 재료 분석 광물화 및 구조적 변화를 연구하기 위해 지질학적 샘플의 시뮬레이션된 고온 노화. 지구과학 연구의 대규모 샘플 세트에 대한 고처리량 데이터 수집.

기술 사양

사양 범주 TU-57 매개변수 세부 정보
모델 식별자 TU-57
퍼니스 아키텍처 독립 제어가 가능한 6튜브 퍼니스 모듈(4채널 구성)
튜브 사양 4 x 고순도 석영 튜브; Φ80 mm 외경 x Φ75 mm 내경 x 500 mm 길이
최대 온도 1200°C (1시간 미만 지속 시)
연속 작동 온도 1200°C
가열 구역 길이 채널당 300 mm
항온 구역 ~100 mm (±1.0°C 이내)
가열 속도 최대 20°C / 분
온도 정확도 ±1.0°C
가열 요소 Ni-Cr-Al 고내구성 저항 와이어
진공 시스템 포트 모든 채널에 대한 공통 KF25 진공 포트
밀봉 시스템 기계식 진공 게이지가 있는 퀵 클램프 KF25 플랜지
대기 제어 유량계 4개 포함; 채널당 가스/진공 격리를 위한 니들 밸브 4개
제어 인터페이스 통합 터치스크린; 4채널 개별 제어
프로그래밍 데이터 로깅을 위한 PC 소프트웨어 제어와 함께 채널당 24세그먼트
열전대 4 x K-타입 고정밀 열전대
진공 성능 외부 터보 펌프(별도 구매) 사용 시 최대 10^-5 torr
최대 압력 7.5 PSI (0.5 atm) 절대 압력
입력 전압 208 - 240V, 단상, 50/60Hz
최대 전력 10 KW (평균 총 전력 ~6 KW)
통신 인터페이스 노트북/PC 통합을 위한 RS485 포트
규정 준수 CE 인증; 요청 시 NRTL (UL61010) 또는 CSA 제공 가능

TU-57을 선택해야 하는 이유

  • 독보적인 효율성: 이 퍼니스의 4채널 아키텍처를 통해 연구팀은 일반적으로 4개의 개별 단일 채널 퍼니스가 필요한 작업을 완료할 수 있어 샘플당 비용과 연구실 공간을 크게 줄일 수 있습니다.
  • 입증된 신뢰성: 독점적인 가열 요소 레이아웃과 산업용 등급의 석영 부품으로 설계된 이 장치는 고위험 산업 R&D 프로젝트에 필요한 일관된 열 신뢰성을 제공합니다.
  • 정밀한 다중 대기 제어: 각 채널에 대한 독립적인 가스 및 진공 관리는 교차 오염 없이 고유한 화학 환경을 유지할 수 있도록 보장하며, 이는 고순도 재료 연구의 핵심 기능입니다.
  • 고급 사용자 인터페이스: 직관적인 터치스크린과 PC 통합 소프트웨어는 복잡한 열 사이클 프로그래밍을 간소화하여 연구원의 학습 곡선을 줄여주는 사용자 친화적인 경험을 제공합니다.
  • 사용자 정의 가능한 구성: 당사의 엔지니어링 팀은 전문적인 CVD 요구 사항이나 고유한 가스 공급 요구 사항에 맞게 이 플랫폼을 수정하여 귀하의 연구 수요와 함께 장비가 성장할 수 있도록 보장합니다.

비할 데 없는 정밀도와 고처리량 기능을 제공하는 이 4채널 시스템은 현대 재료 합성 및 열 분석을 위한 결정적인 솔루션입니다. 포괄적인 견적을 받거나 귀하의 특정 응용 분야 요구 사항에 맞는 맞춤형 구성을 논의하려면 지금 당사의 기술 영업팀에 문의하십시오.

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