옵션 대구경 석영 튜브를 갖춘 1200C 최대 4존 분할 튜브 퍼니스

제품 개요

이 고성능 열처리 시스템은 산업 R&D와 첨단 재료 과학의 엄격한 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 대형 분할형 4존 퍼니스로 설계되어, 정밀한 온도 구배 또는 확장된 균일 구간이 필요한 연구자와 생산 엔지니어에게 탁월한 유연성을 제공합니다. 분할 커버 구조는 반응 챔버에 쉽게 접근할 수 있게 하여, 전체 튜브 장치를 분해하지 않고도 시료를 빠르게 적재 및 하역하거나 복잡한 내부 조립체를 통합할 수 있도록 합니다. 1200°C의 최대 작동 온도와 특수 대구경 석영 튜브 옵션을 결합함으로써, 이 시스템은 일반 실험실 퍼니스로는 처리할 수 없는 대용량 공정 및 대형 기판을 다루는 데 독보적인 위치를 차지합니다.

이 장비는 제어된 분위기와 고진공 환경이 필요한 응용 분야에서 뛰어난 성능을 발휘합니다. 첨단 세라믹 합성, 반도체 웨이퍼 어닐링, 금속 분말 소결 등 어떤 작업이든 이 장비는 재현 가능한 결과에 필요한 열 안정성을 제공합니다. 4존 구성은 36인치의 대형 균일 온도 구간을 형성하도록 최적화되어 있어, 실험실 공정을 파일럿 플랜트 수준으로 확대하는 데 중요한 요구 사항을 충족합니다. 주요 대상 산업으로는 반도체 제조, 항공우주 소재 개발, 에너지 저장 연구, 고순도 화학 공정이 있으며, 이 분야에서는 일관성과 신뢰성이 필수입니다.

대형 산업용 부품으로 제작된 이 시스템은 장기적인 운영 우수성에 대한 의지를 보여줍니다. 본체는 이중층 강철 구조와 이중 냉각 팬을 통합하여 고온 사이클 동안 안전한 저접촉 외부 표면 온도를 유지합니다. 고순도 섬유질 알루미나 단열재를 채택하여 열 손실을 최소화하고 에너지 효율을 향상시킴으로써 신뢰성을 더욱 높였습니다. 구매 담당자와 실험실 관리자에게 이 퍼니스는 처리량과 고급 실험실 장비 수준의 정밀성을 균형 있게 제공하는 프리미엄 열 인프라 투자입니다.

주요 특징

• 독립 제어 4존 설계: 이 장비는 총 길이 47인치의 4개 독립 가열 구간을 갖추고 있어, ±5°C 이내의 정밀한 열 구배 또는 놀라울 정도로 긴 36인치 균일 구간을 형성할 수 있습니다. 이러한 수준의 제어는 복잡한 CVD 공정과 긴 시료 어닐링에 필수적입니다.
• 공압식 분할 커버 작동: 사용 편의성과 작업자 안전을 위해 상부 커버는 2개의 고내구성 공압 실린더로 구동됩니다. 이 기계식 보조 장치는 분할 퍼니스의 부드러운 개폐를 가능하게 하며, 고처리량 환경에서도 빠른 냉각과 쉬운 튜브 교체를 지원합니다.
• 대형 챔버 유연성: 이 시스템은 내경 8, 10 또는 14인치의 고순도 석영 튜브 옵션을 지원합니다. 이러한 유연성은 대형 웨이퍼, 부피가 큰 부품 또는 많은 수의 소형 시료를 한 번의 열 사이클로 처리할 수 있게 합니다.
• 정밀 PID 온도 제어: 4개의 프로그래머블 디지털 컨트롤러가 장착되어 가열 속도, 냉각 속도, 유지 시간을 위한 30개 세그먼트를 제공합니다. ±1°C의 정확도로 가장 민감한 소재도 엄격한 허용오차 내에서 처리할 수 있습니다.
• 산업용 냉각 및 단열: 이중층 강철 외함은 이중 냉각 팬과 결합되어 외부가 접촉해도 안전하도록 유지합니다. 고순도 섬유질 알루미나 단열재는 뛰어난 열 보존성을 제공하는 동시에 장시간 운전 시 전력 소비를 크게 줄입니다.
• 고급 진공 밀봉 기술: 이 장비에는 이중 고온 실리콘 O-링과 통합 수냉 재킷을 갖춘 스테인리스 스틸 304 진공 플랜지 2개가 포함됩니다. 이는 시스템의 최고 온도 한계에서도 밀봉 무결성과 긴 수명을 보장합니다.
• 종합 안전 시스템: 내장된 과열 및 열전대 단선 보호 기능과 과온 경보 기능을 통해 안심하고 무인 운전이 가능합니다. 이 시스템은 열 이상 발생 시 안전하게 정지하도록 설계되어 장비와 내부의 귀중한 시료를 모두 보호합니다.
• 고성능 발열 요소: Mo가 도핑된 Fe-Cr-Al 합금 발열체는 빠른 가열과 뛰어난 산화 저항성을 제공합니다. 이 발열체는 공정 튜브 전체 둘레에 균형 잡힌 복사열을 제공하도록 전략적으로 배치되어 있습니다.
• 즉시 통합 가능한 디지털 통신: RS485 통신 포트와 전용 소프트웨어가 표준으로 포함됩니다. 이를 통해 사용자는 노트북으로 퍼니스를 모니터링 및 제어할 수 있으며, 표준화된 산업 워크플로를 위한 데이터 로깅과 원격 레시피 관리가 가능합니다.
• 최적화된 열 버퍼 블록: 버퍼형 석영 디스크 열 블록이 포함되어 챔버 내부의 청결을 유지하고, 열 복사가 플랜지 씰을 손상시키는 것을 방지하여 소모성 부품의 수명을 더욱 연장합니다.

응용 분야

기술 사양

TU-46를 선택해야 하는 이유

이 4존 시스템에 투자하면 귀사의 실험실 또는 생산 시설이 최고 수준의 열 정밀도와 긴 운용 수명을 위해 설계된 장비를 갖추게 됩니다. 일반적인 단일존 퍼니스와 달리, 4존 아키텍처는 넓은 시료 영역에서 "냉점"을 제거하는 데 필요한 세밀한 제어를 제공하여 14인치 직경 규모에서도 배치 일관성을 유지합니다. 이 기능은 재료 낭비를 줄이고 고부가가치 산업 공정의 수율을 향상시키는 데 매우 중요합니다.

이 장비의 설계는 재료 연구에 필요한 섬세함을 유지하면서도 견고함을 우선시합니다. 작업자의 피로를 줄여주는 공압 리프트 시스템부터 민감한 씰을 보호하는 수냉식 진공 플랜지까지, 모든 구성 요소는 까다로운 환경에서의 연속 사용을 견딜 수 있도록 선택되었습니다. 당사의 제조 공정은 엄격한 CE 및 MET 표준을 준수하여, 현대 산업 시설에 필요한 문서화와 안전 보증을 구매 담당자에게 제공합니다.

또한 모든 연구 공정에는 고유한 요구사항이 있다는 점을 잘 알고 있습니다. 당사는 Eurotherm 고정밀 컨트롤러, 다중 가스 혼합용 질량 유량 컨트롤러, 기계식부터 터보 분자 펌프 시스템까지 다양한 진공 펌프 구성 등 이 퍼니스에 대한 폭넓은 맞춤화를 제공합니다. 이러한 유연성은 장비가 귀사의 연구 목표에 맞춰 함께 발전할 수 있음을 보장합니다.

이 퍼니스를 선택한다는 것은 기술적 우수성과 신속한 지원에 전념하는 브랜드와 함께하는 것을 의미합니다. 당사 팀은 설치, 유지보수, 공정 최적화에 대한 종합적인 지침을 제공하여 귀하가 열처리 목표를 달성할 수 있도록 돕습니다. 지금 문의하셔서 대구경 튜브 요구사항을 논의하거나 맞춤 구성에 대한 상세 견적을 요청해 보세요.