4구역 튜브 퍼니스 1100C, 600mm 대구경 석영 튜브 및 진공 플랜지

제품 개요

이 고성능 4구역 튜브 퍼니스는 열처리 엔지니어링의 정점을 나타내며, 특히 대규모 재료 샘플 및 8인치 웨이퍼를 수용하도록 설계되었습니다. 거대한 600mm(24인치) 직경의 고순도 석영 튜브를 사용하여 이 시스템은 부피와 정밀도가 모두 필요한 특수 열처리를 위한 광대한 환경을 제공합니다. 이 장비의 핵심 가치는 다중 구역 구성에 있으며, 이는 열 구배에 대한 복잡한 제어를 가능하게 하여 균일성이 가장 중요한 고급 화학 기상 증착(CVD), 어닐링 및 소결 공정에 필수적인 도구입니다.

산업 R&D 센터 및 재료 과학 실험실을 대상으로 하는 이 장비는 다양한 대기 조건 처리에 탁월합니다. 고진공 또는 특정 보호 가스 환경에서 작동하든, 이 시스템은 견고한 엔지니어링을 통해 무결성을 유지합니다. 통합 공기 냉각 기능이 있는 이중층 강철 케이스는 내부 챔버가 고온에 도달하더라도 외부 표면이 작업자에게 안전하게 유지되도록 하여 생산적이고 안전한 실험실 환경을 촉진합니다. 이 장치는 새로운 재료 합성을 위해 최적화되어 연구원들이 벤치 규모 또는 파일럿 규모 수준에서 복잡한 산업 제조 조건을 시뮬레이션할 수 있는 유연성을 제공합니다.

안정성은 이 설계의 최전선에 있으며, 에너지 효율성과 열 안정성을 극대화하는 내화물 섬유 알루미나 단열 라이너를 특징으로 합니다. 이 시스템은 까다로운 산업용 주기 시간을 견딜 수 있도록 제작되어 수천 시간의 작동에 걸쳐 일관된 성능을 제공합니다. 고급 탄소 재료의 구조적 배열 및 흑연화를 처리하는 능력으로 인해 이 장비는 촉매 개발, 반도체 연구 및 야금 테스트를 포함하는 프로젝트에 대한 신뢰할 수 있는 백본 역할을 합니다. 이 시스템은 단순한 퍼니스가 아니라 고위험 재료 혁신을 위한 포괄적인 열 솔루션입니다.

주요 특징

• 4구역 독립 온도 관리: 시스템은 각각 300mm 길이의 4개의 별도 가열 구역을 특징으로 하며, 총 가열 길이는 1200mm입니다. 이 구성은 정밀한 열 구배를 생성하거나 최대 1100mm의 매우 긴 일정 온도 구역을 생성할 수 있어 긴 기판 또는 대량 배치를 위한 탁월한 처리 유연성을 보장합니다.
• 초대형 직경 석영 처리 튜브: 600mm(24인치) OD 고순도 석영 튜브가 장착된 이 장치는 특히 8인치 웨이퍼와 같은 대형 재료 처리를 위해 설계되었습니다. 석영 재료는 우수한 열충격 저항성과 화학적 불활성을 제공하여 고순도 소결 및 어닐링을 위한 오염 없는 환경을 유지합니다.
• 정밀 마이크로프로세서 PID 제어: 각 구역은 30단계 프로그래밍 가능한 주기와 자체 튜닝 기능을 갖춘 전용 디지털 컨트롤러로 제어됩니다. 마이크로프로세서 기반 PID 논리는 온도 과잉을 방지하고 ±1°C의 안정 상태 정확도를 유지하여 민감한 재료 변환 및 반복 가능한 결과에 중요합니다.
• 고급 다단 진공 밀봉: 시스템에는 빠른 접근과 우수한 밀봉을 위해 설계된 수냉식 스테인리스 스틸 힌지 플랜지 한 쌍이 포함되어 있습니다. 실리콘 O-링 및 통합 KF40 포트를 사용하여 퍼니스는 2차 터보 분자 펌프와 함께 페어링될 때 최대 10-5 torr의 진공 수준을 달성하여 초청정 처리 조건을 용이하게 합니다.
• 산업용 등급 가열 요소: 고품질 NiCrAl 저항선 가열 요소를 사용하여 퍼니스는 최대 1150°C의 가열 온도를 달성합니다. 이 요소는 내구성과 일관된 열 방출을 위해 선택되어 빈번한 열 순환에 노출되더라도 장기간의 신뢰성을 보장합니다.
• 통합 안전 및 냉각 시스템: 이중층 강철 케이스는 외부 표면 온도를 70°C 미만으로 유지하기 위한 내부 공기 냉각으로 설계되었습니다. 이 설계는 실험실 직원을 보호하고 주변 열 축적을 방지하며, 플랜지를 위한 순환수 냉각기 포함은 고온 작동 중에 씰을 보호합니다.
• 포괄적인 모니터링 및 보정: 이 장치에는 각 구역의 실시간 모니터링을 위한 4개의 K형 열전대가 장착되어 있습니다. 플랜지에는 2차 보정 열전대를 위한 특수 포트가 포함되어 있어 사용자가 내부 온도를 확인하고 공정 검증 및 품질 관리의 최고 표준을 보장할 수 있습니다.
• 고효율 내화물 단열: 고품질 섬유 알루미나 단열 라이너는 열 손실과 전력 소비를 최소화합니다. 세라믹 튜브 블록과 결합된 이 에너지 효율적인 설계는 복사열을 효과적으로 차단하여 주변 환경이 아닌 처리 구역으로 열 에너지를 집중시킵니다.

응용 분야

기술 사양

왜 우리를 선택해야 하는가

• 우수한 열 균일성: 4구역 아키텍처는 매우 큰 일정 온도 구역을 제공하여 제품 품질을 결정하는 열 일관성이 중요한 대형 기판 및 벌크 처리에 대한 최고의 선택입니다.
• 견고한 산업용 빌드: 고하중 강철, 수냉식 스테인리스 스틸 플랜지 및 고효율 알루미나 단열재로 설계된 이 시스템은 지속적인 R&D 및 파일럿 생산 환경의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다.
• 탁월한 진공 무결성: 힌지 플랜지 설계와 고속 터보 펌프 호환성을 결합하여 연구원들이 고순도 화학 기상 증착에 필요한 초청정 대기를 달성하고 유지할 수 있도록 합니다.
• 정밀 엔지니어링 및 지원: 각 시스템은 엄격한 표준에 따라 보정되며 가스 공급 시스템, 수소 누출 감지기 및 보정 키트를 포함한 사용 가능한 액세서리 모음으로 지원되어 장기적인 작동 정확도를 보장합니다.
• 맞춤형 고용량 처리: 독특한 600mm 튜브 직경으로 이 퍼니스는 표준 실험실 장치와 산업 생산 가마 사이의 격차를 해소하여 고급 재료 연구를 확장하기 위한 전문가 수준의 솔루션을 제공합니다.

저희 기술팀은 특정 처리 요구 사항에 맞는 이상적인 열 솔루션을 구성하는 데 도움을 드릴 준비가 되어 있습니다. 기술 상담 또는 공식 견적을 받으려면 지금 문의하십시오.