1100°C 고온 석영 챔버 퍼니스, 8인치 외경, 7.6리터 용량 및 진공 분위기 제어 가능

제품 개요

이 고성능 열처리 시스템은 실험실 규모의 열처리 분야에서 정점을 나타내며, 소재 합성 및 특성 분석을 위한 제어된 환경을 제공하도록 특별히 설계되었습니다. 이 장비의 핵심은 7.6리터의 대용량 수평 석영 챔버로, 반도체 및 전자 소재 연구에 필요한 순도 기준을 유지하면서 대형 시료나 대량의 배치를 처리할 수 있습니다. 밀폐형 설계로 연구자가 다양한 압력 조건에서 매우 안정적인 열 프로파일을 구현할 수 있어 정밀도와 재현성을 중시하는 실험실에 필수적인 도구입니다.

범용성을 고려하여 설계된 이 시스템은 반도체 웨이퍼 어닐링부터 특수 세라믹 소결, 첨단 배터리 소재의 하소에 이르기까지 광범위한 산업 및 학술 분야의 요구를 충족합니다. 견고한 구조 덕분에 일관된 성능이 필수적으로 요구되는 까다로운 R&D 환경에서 탁월한 성능을 발휘합니다. 대구경 석영 튜브와 정교한 분위기 제어 기능을 통합하여 항공우주, 에너지, 전자 분야 전반에 걸쳐 신소재 개발 및 복잡한 제조 공정 개선을 위한 유연한 플랫폼을 제공합니다.

이 장비의 모든 엔지니어링 측면에는 신뢰성이 내재되어 있습니다. 정밀 권선 가열 소자부터 고무결성 스테인리스 스틸 플랜지에 이르기까지, 모든 구성 요소는 고온 사이클링의 가혹함을 견딜 수 있도록 선택되었습니다. 이 시스템은 뛰어난 열 안정성을 유지하여 실험 결과의 일관성과 확장성을 보장합니다. 사용자는 장시간 체류 작업이나 고진공 사이클 중에도 열 사이클의 무결성과 처리 환경의 순도를 보호하도록 설계된 이 장비를 안심하고 사용할 수 있습니다.

주요 특징

• 확장형 고순도 석영 챔버: 이 장치는 8인치 외경과 7.6리터 처리 용량에 최적화된 길이의 프리미엄급 석영 튜브를 사용합니다. 이 투명 챔버는 열 공정을 쉽게 육안으로 확인할 수 있게 해주며, 뛰어난 내화학성과 열충격 안정성을 제공합니다. 대구경은 수평 웨이퍼 처리나 대용량 분말 처리에 특히 적합하며, 표준 소구경 실험실 퍼니스보다 훨씬 높은 처리량 이점을 제공합니다.

• 정밀 다단계 열 제어: 전문가급 PID 컨트롤러를 탑재하여 가열, 유지, 냉각 단계에 대한 정밀한 제어를 위해 30개의 프로그래밍 가능한 세그먼트를 제공합니다. 이를 통해 +/- 1°C의 정확도로 복잡한 열 프로파일을 실행할 수 있습니다. 자동 튜닝 기능은 PID 매개변수가 특정 부하 특성에 완벽하게 일치하도록 하여 온도 오버슈트를 제거하고 배치 간 일관된 결과를 보장합니다.

• 진공 및 제어된 분위기를 위한 밀폐형 씰링: 이 장비는 진정한 밀폐를 구현하는 정교한 스테인리스 스틸 플랜지 어셈블리를 갖추고 있습니다. 이를 통해 고진공 수준(< 5e-2 torr) 및 제어된 불활성 또는 반응성 가스 분위기에서 작동할 수 있습니다. 이 이중 목적 설계는 단일 설정 내에서 진공 어닐링과 분위기 제어 소결 사이를 원활하게 전환할 수 있게 하여 실험실 효율성과 실험 유연성을 극대화합니다.

• 통합 수냉식 구조: 실리콘 O-링의 무결성을 보호하고 안전한 외부 온도를 유지하기 위해 퍼니스에는 다기능 수냉식 플랜지 시스템이 포함되어 있습니다. 이 설계는 500°C를 초과하는 작업에 필수적이며, 최대 작동 온도인 1100°C에서 장시간 실행하는 동안에도 진공 씰이 내구성과 효과를 유지하도록 보장합니다. 푸시 투 커넥트(push-to-connect) 방식의 수냉 피팅은 표준 실험실 칠러와 빠르고 안전하게 연결할 수 있도록 합니다.

• 첨단 안전 및 진단 시스템: 내장된 과열 경보 및 열전대 고장 감지 기능을 포함하여 안전을 최우선으로 합니다. 시스템은 프로그래밍된 열 프로파일에서 벗어나는지 자동으로 모니터링하며, 장비와 귀중한 시료를 보호하기 위해 즉각적으로 대응합니다. 이러한 페일세이프(failsafe) 구조는 장시간 실험이나 무인 실험실 운영에 필수적입니다.

• 고성능 Fe-Cr-Al 가열 소자: 가열 모듈은 고온에서의 긴 수명과 산화 저항성으로 알려진 고밀도 Fe-Cr-Al 합금 와이어 소자를 사용합니다. 이 소자들은 7.6리터 석영 챔버 전체에 걸쳐 최적의 열 균일성을 보장하도록 전략적으로 배치되어 냉점을 줄이고 시료의 모든 부분이 동일한 열 이력을 경험하도록 합니다.

• 데이터 연결 및 PC 통합: PC와의 원활한 연결을 위해 표준 DB9 통신 포트가 포함되어 있습니다. 이를 통해 실시간 데이터 로깅, 열 사이클 원격 모니터링, 공정 매개변수 아카이빙이 가능합니다. 산업 규정 준수 및 연구 문서화를 위해 이 기능은 모든 열 실행이 완전히 추적 가능하고 재현 가능하도록 보장합니다.

• 열 효율 및 단열: 퍼니스는 단열재로 첨단 Al2O3 폼 내화 블록을 사용합니다. 이 고다공성 소재는 처리 구역 내에 열을 효과적으로 가두어 에너지 소비를 줄이고 열 복사가 외부 실험실 환경에 영향을 미치는 것을 방지합니다. 단열재는 열 질량을 최소화하도록 설계되어 필요 시 분당 최대 20°C의 빠른 가열 속도를 가능하게 합니다.

응용 분야

기술 사양

TU-QF01을 선택해야 하는 이유

• 우수한 소재 호환성: 고순도 석영 챔버는 불활성 특성 때문에 특별히 선택되었으며, 금속 가열 소자나 내화 벽돌로부터의 오염을 엄격히 피해야 하는 민감한 소재 합성에 이상적인 시스템입니다.

• 산업급 신뢰성: 장기적인 사용에 초점을 맞춰 제작된 이 시스템은 고품질 Fe-Cr-Al 소자와 스테인리스 스틸 하드웨어를 사용하여 실험실에서 수년간 지속적인 작동이 가능한 신뢰할 수 있는 자산으로 남습니다.

• 정밀한 분위기 관리: 진공 및 분위기 제어를 위한 이중 목적 설계는 현대 재료 과학에 필요한 유연성을 제공하여 복잡한 다단계 공정을 단일 챔버에서 수행할 수 있게 합니다.

• 안전 우선 엔지니어링: 통합 냉각 시스템, 과열 경보 및 CE 인증을 통해 이 장비는 산업 R&D 및 학술 기관에서 요구하는 최고 안전 표준을 충족하도록 설계되었습니다.

• 비교할 수 없는 맞춤화 및 지원: 당사의 엔지니어링 팀은 귀하의 특정 연구 요구 사항을 충족하기 위해 옵션인 고정밀 Eurotherm 컨트롤러 및 특수 시료 보트를 포함하여 시스템 통합에 대한 포괄적인 지원을 제공합니다.

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