제품 개요





이 다중 위치 열처리 시스템은 수직 및 수평 작동이 모두 가능한 독특한 기계적 설계를 통해 첨단 재료 연구를 위한 다목적 솔루션을 제공합니다. 최대 1100°C까지 도달하도록 설계된 이 장비는 소형 샘플 소성, 복잡한 기상-액상-고상(VLS) 성장, 화학 기상 증착(CVD) 및 급속 담금질 테스트를 위한 작지만 고성능의 환경을 제공합니다. 이 장치의 핵심 가치는 적응성에 있습니다. 스테인리스 스틸 쉘은 높이 조절이 가능한 플랫폼에 장착되어 있어 연구자가 실험 프로토콜의 중력 또는 방향 요구 사항에 맞춰 가열 챔버를 정밀하게 배치할 수 있습니다.
현대 산업 R&D 및 재료 과학 실험실의 까다로운 환경을 위해 설계된 이 시스템은 정밀도와 일관성을 강조합니다. 고순도 알루미나 섬유 단열재를 통합하여 외부 쉘을 차갑게 유지하면서도 빠른 가열 주기와 탁월한 에너지 효율성을 보장합니다. 전자 결정 성장을 위한 반도체 산업이나 양성자 세라믹 소결을 위한 에너지 연구 등 어디에서 사용하든 이 장비는 반복 가능한 열 프로파일을 제공합니다. 모듈식 특성 덕분에 다양한 튜브 직경과 진공 구성을 원활하게 통합할 수 있어, 공간적 유연성을 희생하지 않으면서 고온 정밀도가 필요한 실험실을 위한 기초 도구가 됩니다.
성능에 대한 신뢰는 이 장치의 모든 구성 요소에 내재되어 있습니다. 몰리브덴이 도핑된 Fe-Cr-Al 합금 가열 요소부터 고급 PID 제어 아키텍처에 이르기까지, 이 시스템은 1000°C에서 지속적으로 작동하도록 제조되었습니다. 견고한 구조는 과열 방지 및 열전대 고장 경보와 같은 안전 기능으로 보완되어 중요한 산업 공정을 안전하게 유지합니다. 이 시스템은 단순한 퍼니스가 아니라 학계와 산업계 모두에서 가장 엄격한 열처리 응용 분야에 장기적인 신뢰성을 제공하도록 설계된 정밀 기기입니다.
주요 특징
- 다중 위치 기계적 유연성: 독특한 디자인은 수직, 수평 또는 각진 위치로 고정할 수 있는 조절 가능한 스테인리스 스틸 쉘을 특징으로 합니다. 이를 통해 수직 소결부터 수평 결정 성장 및 기울어진 CVD 공정에 이르기까지 다양한 응용이 가능합니다.
- 정밀 PID 온도 조절: 고급 자동 PID 컨트롤러가 장착되어 30개의 프로그래밍 가능한 단계를 지원합니다. 이를 통해 가열 속도, 유지 시간 및 냉각 램프를 정확하게 정의하여 특정 야금 또는 화학적 변화를 달성할 수 있습니다.
- 고순도 알루미나 섬유 단열재: 내부 챔버는 에너지 절약형 고순도 Al2O3 섬유 단열재로 라이닝되어 있습니다. 이 소재는 우수한 열 반사율과 낮은 열 저장 능력을 제공하여 기존 내화 벽돌에 비해 더 빠른 램프 속도와 감소된 전력 소비를 실현합니다.
- 다양한 튜브 호환성: 이 장비는 다양한 직경의 석영 처리 튜브를 수용하도록 설계되었으며, 특히 포함된 정밀 가공 튜브 어댑터를 통해 1인치 및 2인치 외경을 모두 지원합니다. 이러한 유연성 덕분에 별도의 가열 장치 없이도 특수 샘플 크기를 처리할 수 있습니다.
- 몰리브덴 도핑 고급 가열 요소: 몰리브덴이 도핑된 Fe-Cr-Al 합금 요소를 사용하여 고온 사이클링 중에도 안정적인 저항과 긴 수명을 보장합니다. 이 요소들은 300mm 균일 가열 구역을 제공하도록 전략적으로 배치되었습니다.
- 조절 가능한 높이 제어 메커니즘: 구조물 후면의 3개 정밀 노브를 통해 제어 플랫폼 대비 퍼니스의 수직 위치를 4.5~12인치 범위 내에서 조절할 수 있습니다. 이는 외부 담금질 탱크나 보조 처리 장비와의 통합을 용이하게 합니다.
- 통합 안전 및 진단: 제어 시스템에는 과열 및 열전대 단선에 대한 내장 보호 기능이 포함되어 있어, 무인 작동 중 장비 손상이나 샘플 손실을 방지하기 위해 요소에 대한 전원을 자동으로 차단합니다.
- 진공 및 분위기 준비 설계: 퍼니스 본체가 기본 구성 요소이지만 고진공 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 호환 가능한 플랜지와 석영 블록을 장착하면 분자 펌프를 사용하여 10^-5 torr 수준의 진공에 도달할 수 있어 산소에 민감한 공정에 적합합니다.
- 견고한 산업용 빌드 품질: 외부 케이싱은 고급 스테인리스 스틸로 제작되어 가혹한 실험실 환경에서도 부식 저항성과 구조적 무결성을 제공합니다. 콤팩트한 설치 공간은 열 성능을 저하시키지 않으면서 벤치탑 공간의 효율적인 사용을 보장합니다.
응용 분야
| 응용 분야 | 설명 | 주요 이점 |
|---|---|---|
| CVD / PECVD | 제어된 온도에서 화학 기상 증착을 통해 박막 및 나노 구조 성장. | 정밀한 분위기 제어 및 고진공 호환성으로 순수한 박막 성장 보장. |
| 결정 성장 | 수평 또는 각진 방향을 활용하여 전자 결정의 브리지먼(Bridgman) 또는 VLS 성장 촉진. | 조절 가능한 기울기 각도로 중력 보조 성장 및 최적화된 온도 구배 가능. |
| 담금질 테스트 | 수직 퍼니스 방향에서 담금질 매체로 샘플을 떨어뜨려 급속 냉각. | 수직 기울기 기능으로 중력 기반의 직접적인 샘플 이송 가능. |
| 소결 | 최대 1100°C 온도에서 금속 또는 세라믹 분말을 고체 형태로 압축. | 균일한 항온 구역으로 일관된 밀도 및 미세 구조 보장. |
| 양성자 세라믹 | 수소 연료 전지 연구를 위한 전기화학 셀 및 스캐폴드 소성 및 테스트. | 고순도 단열재로 샘플 오염 방지 및 장시간 열 안정성 유지. |
| 반도체 R&D | 반도체 웨이퍼 및 소형 기판의 열 산화, 어닐링 및 도핑. | ±1°C의 정확도로 전자 부품 테스트에 필요한 반복 가능한 조건 제공. |
| 재료 피로도 | 반복적인 열 사이클링 및 유지 시간을 통해 합금의 구조적 무결성 테스트. | 30단계 프로그래밍으로 복잡한 자동화 열 응력 프로파일 구현 가능. |
기술 사양
| 기능 그룹 | 매개변수 | TU-15 사양 상세 |
|---|---|---|
| 열 성능 | 최대 온도 | 1100 °C (1시간 미만) |
| 연속 작동 온도 | 1000 °C | |
| 최대 가열 속도 | 10 °C / 분 | |
| 온도 정확도 | ± 1 °C | |
| 물리적 치수 | 가열 구역 길이 | 12" (300 mm) |
| 항온 구역 | 3.1" (80 mm) | |
| 위치 이동 거리 | 4.5'' ~ 12'' (플랫폼으로부터 높이 조절 가능) | |
| 튜브 직경 호환성 | 1.0" 및 2.0" O.D. (어댑터 포함) | |
| 전기 데이터 | 소비 전력 | 1500 W |
| 정격 전류 | 15 Amps | |
| 작동 전압 | AC 110V 또는 220V 단상 (사용자 선택 가능) | |
| 제어 시스템 | 컨트롤러 유형 | 자동 튜닝 기능이 있는 PID 자동 제어 |
| 프로그래밍 | 30단계 (가열, 유지, 냉각) | |
| 열전대 | K-타입 | |
| 컴퓨터 인터페이스 | 옵션 MTS02-Y 소프트웨어 키트 + 노트북 사용 가능 | |
| 재료 및 안전 | 단열재 | 에너지 절약형 고순도 Al2O3 섬유 라이너 |
| 가열 요소 | 몰리브덴 도핑 Fe-Cr-Al 합금 | |
| 인증 | CE 인증 (요청 시 NRTL/CSA/UL61010 가능) | |
| 안전 기능 | 과열 및 열전대 단선 보호 | |
| 진공 능력 | 기계식 펌프 한계 | 50 m-torr (적절한 플랜지/튜브 사용 시) |
| 분자 펌프 한계 | 10^-5 torr (적절한 플랜지/튜브 사용 시) | |
| 가스 유량 제한 | 열충격 감소를 위해 200 ml/min 미만 권장 |
이 다중 위치 튜브 퍼니스를 선택해야 하는 이유
- 비교할 수 없는 위치 설정 유연성: 고정 위치 장치와 달리 이 시스템은 수평 및 수직 방향 간의 원활한 전환을 허용합니다. 이러한 적응성 덕분에 단일 실험실에서 여러 대의 퍼니스를 구입하지 않고도 소결부터 담금질까지 다양한 실험을 수행할 수 있습니다.
- 첨단 열 공학: 몰리브덴 도핑 가열 요소와 고급 섬유 단열재를 사용하여 퍼니스는 우수한 열 균일성과 에너지 효율성을 달성합니다. 이는 운영 비용 절감과 더 정밀한 실험 데이터로 이어집니다.
- 견고한 신뢰성과 안전성: 스테인리스 스틸 쉘과 고성능 안전 전자 장치로 제작되어 연속적인 다중 교대 작동을 위해 설계되었습니다. 국제 CE 표준을 충족하여 까다로운 산업 R&D 환경에 안심하고 통합할 수 있습니다.
- 복잡한 레시피를 위한 정밀 제어: 30단계 PID 컨트롤러는 특정 램프-소크-냉각 프로파일이 필요한 민감한 재료에 필요한 세밀함을 제공하여 연구의 반복성을 보장하고 재료가 사양에 정확하게 처리되도록 합니다.
- 전문적인 기술 지원 및 맞춤화: 제조업체로서 당사는 깊은 기술 전문 지식을 제공하며, 고객의 고유한 처리 요구 사항을 충족하기 위해 맞춤형 소프트웨어 인터페이스, 특수 튜브 재료 및 진공 플랜지 구성을 제공할 수 있습니다.
이 퍼니스에 투자한다는 것은 귀하의 연구 요구와 함께 성장하는 유연하고 내구성이 뛰어나며 매우 정확한 열처리 플랫폼을 확보하는 것을 의미합니다. 자세한 견적을 원하시거나 특정 고온 응용 분야 요구 사항에 대해 논의하려면 지금 문의하십시오.
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