제품 개요
이 고성능 시스템은 정밀성, 유연성 및 급속 냉각 기능이 필요한 연구원과 산업 엔지니어를 위해 설계된 특수 열처리 장치입니다. 수직 방향과 분할형 쉘 설계를 채택하여 복잡한 실험 환경에 원활하게 통합할 수 있으며, 재료 합성 및 특성 분석을 위한 이상적인 환경을 제공합니다. 이 시스템은 제어된 분위기 또는 진공 환경을 제공하도록 설계되어 첨단 재료 과학 및 고온 연구에 중점을 둔 연구소의 핵심 장비입니다.
주로 급속 냉각 테스트, 온도 측정 및 특수 화학 기상 증착(CVD) 공정에 사용되는 이 장치는 열 구배와 급격한 온도 변화가 중요한 응용 분야에서 탁월한 성능을 발휘합니다. 수직 구성은 중력식 급속 냉각 및 샘플 매달기에 특히 유리하며, 야금, 반도체 개발 및 항공우주 연구와 같은 산업 분야에 적합합니다. 이 장비는 견고한 이동식 카트에 장착되어 있어 역동적인 R&D 시설 내의 다양한 워크스테이션 구성에 쉽게 통합할 수 있습니다.
일관성과 내구성은 이 열처리 시스템의 핵심입니다. 이중층 강철 구조와 고급 섬유질 알루미나 단열재를 사용하여 연속적인 고온 작동 중에도 외부 쉘 온도를 매우 낮게 유지합니다. 이러한 엔지니어링 우수성에 대한 집중은 장기적인 신뢰성과 작동 안전성을 보장하며, 무인 작동이나 정밀한 30단계 온도 램핑 및 유지(Dwell)가 필요한 민감한 실험에 필요한 확신을 제공합니다.
주요 특징
- 정밀 분할형 쉘 엔지니어링: 이 퍼니스는 독특한 분할 개방형 설계를 갖추고 있어 섬세한 샘플이나 복잡한 진공 연결을 방해하지 않고 공정 튜브를 쉽게 삽입, 제거 및 검사할 수 있습니다. 이러한 구조적 선택은 작업 간 가동 중단 시간을 크게 줄이고 내부 발열체 유지보수를 용이하게 합니다.
- 첨단 단열 기술: 특수 표면 코팅으로 강화된 고순도 섬유질 알루미나 단열재를 사용하여 에너지 효율을 극대화하면서 급속 가열 및 냉각 기능을 유지합니다. 이중층 강철 케이스는 작동 중에도 65°C 미만으로 유지되어 사용자 및 주변 장비를 과도한 열 복사로부터 보호합니다.
- 지능형 PID 온도 제어: 이 시스템에는 30개의 프로그래밍 가능한 단계를 제공하는 MET 인증 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 이를 통해 ±1°C의 정확도로 가열 속도, 냉각 속도 및 유지 시간을 정밀하게 제어할 수 있습니다. 내장된 자동 튜닝 기능과 과열 방지 기능은 장비가 설정 매개변수를 유지하기 위해 동적으로 반응하도록 보장합니다.
- 강력한 진공 밀봉 및 분위기 제어: 진공 게이지와 밸브가 통합된 두 개의 고급 스테인리스 스틸 플랜지를 갖춘 이 시스템은 분자 펌프를 사용하여 10E-5 Torr만큼 낮은 진공 수준을 달성할 수 있습니다. 설계에는 1/4인치 바브 커넥터와 열 블록 또는 도가니를 매달기 위한 내부 후크 링이 포함되어 있어 고순도 가스 흐름 실험에 필수적입니다.
- 고성능 발열체: 1100°C까지 일관된 성능을 보장하기 위해 몰리브덴이 도핑된 특수 Fe-Cr-Al 합금 발열체를 사용합니다. 이 재료 선택은 우수한 내구성과 산화 저항성을 제공하여 까다로운 열 사이클 하에서도 긴 수명을 보장합니다.
- 최적화된 수직 급속 냉각 설계: 수직 방향은 급속 냉각 테스트에 특별히 맞춰져 있습니다. 사용자는 기존의 와이어 컷 릴리스 또는 옵션인 전자기 릴리스 메커니즘을 사용하여 가열 구역에서 냉각 매체로 샘플을 떨어뜨려 고온 상과 미세 구조를 보존할 수 있습니다.
- 이동성 및 확장 가능한 인프라: 전체 어셈블리는 견고한 이동식 카트에 설치되어 시설 내에서 쉽게 이동할 수 있습니다. 또한 이 시스템은 RS485 통신을 지원하여 원격 데이터 로깅과 노트북 인터페이스를 통한 소프트웨어 기반 제어가 가능하며, 포괄적인 레시피 관리를 지원합니다.
- 향상된 안전 및 보호 시스템: 통합된 안전 기능에는 열전대 단선 보호, 케이스 냉각을 위한 내부 팬, 고열 및 저압 조건에서 석영 튜브의 구조적 무결성을 보호하는 진공 제한 정의가 포함됩니다.
응용 분야
| 응용 분야 | 설명 | 주요 이점 |
|---|---|---|
| 질소 도핑 탄소 합성 | 탄소 촉매의 구조적 정렬 및 흑연화를 촉진하기 위한 1100°C 처리. | 촉매의 제한 전류 및 메탄올 내성 향상. |
| 야금 급속 냉각 | 상변태 연구를 위해 가열 구역에서 냉각 매체로 샘플을 중력 낙하시킴. | 준안정상을 포착하기 위한 냉각 속도의 정밀 제어. |
| HPCVD 공정 | 제어된 석영 환경 내에서 특수 샘플 서셉터를 사용하는 하이브리드 물리-화학 기상 증착. | 정밀한 온도 및 가스 흐름 제어를 통한 고순도 박막 성장. |
| 재료 특성 분석 | 특정 분위기 또는 진공 압력 하에서 민감한 샘플의 고정밀 온도 측정. | 신뢰할 수 있는 데이터 획득을 위한 ±1°C 항온 구역 유지. |
| 반도체 어닐링 | 오염을 방지하기 위해 고순도 석영 환경에서 웨이퍼 및 기판의 열처리. | 용융 석영 튜브의 화학적 불활성으로 금속 불순물 확산 방지. |
| 배터리 재료 R&D | 질소 또는 아르곤과 같은 보호 분위기에서 용융염 및 전도성 고분자의 열처리. | 사이클 중 투명 석영 튜브를 통한 샘플 상태의 시각적 모니터링. |
| 센서 교정 | 고정밀 교정을 위해 수직 튜브 내에서 열전대 프로브 또는 열 센서를 균일하게 가열. | 수직 적재로 가열 중 긴 센서에 가해지는 기계적 응력 최소화. |
기술 사양
| 기능 | 품목 번호 TU-C06 세부 정보 |
|---|---|
| 가열 구역 구성 | 440mm 길이의 단일 구역 |
| 항온 구역 | 150mm (±1°C) |
| 최대 온도 | 1100°C (1시간 미만) |
| 연속 작동 온도 | 1000°C |
| 최대 가열 속도 | 분당 ≤ 20°C |
| 표준 공정 튜브 | 고순도 석영; 외경 80mm x 내경 72mm x 길이 1000mm |
| 튜브 업그레이드 옵션 | 멀라이트 튜브(최대 1250°C, 외경 60mm~100mm) 사용 가능 |
| 발열체 | 몰리브덴이 도핑된 1300°C 등급 Fe-Cr-Al 합금 |
| 온도 컨트롤러 | MET 인증, 30개 프로그래밍 가능 단계; RS485; PID 자동 튜닝 |
| 온도 정확도 | ± 1ºC |
| 진공 플랜지 | 진공 게이지, 니들 밸브 및 1/4" 바브 커넥터가 포함된 스테인리스 스틸 |
| 진공 성능 | 10E-2 Torr (기계식 펌프); 10E-5 Torr (분자 펌프) |
| 누설률 | < 5 mTorr / 분 |
| 정격 출력 | 6 KW |
| 공급 전압 | AC 208-240V 단상, 50/60 Hz |
| 퍼니스 치수 | 550mm(L) x 380mm(W) x 520mm(H) (카트 제외) |
| 이동식 카트 포함 치수 | 600mm(L) x 600mm(W) x 1200mm(H) |
| 순중량 | 약 80kg (이동식 카트 제외) |
| 규정 준수 | CE 인증; 요청 시 NRTL(UL61010) 또는 CSA 제공 가능 |
80mm 석영 튜브 및 스테인리스 스틸 진공 플랜지가 포함된 1100°C 분할형 수직 튜브 퍼니스를 선택해야 하는 이유
- 비교할 수 없는 열 정밀도: 정교한 30단계 컨트롤러로 제작된 이 퍼니스는 재료 전환 및 유지 시간이 산업 등급의 정확도로 실행되도록 보장하며, 이는 반복 가능한 R&D 결과에 매우 중요합니다.
- 다재다능한 엔지니어링 설계: 석영 튜브와 멀라이트 튜브 간 전환 기능과 수직 분할 구성이 결합되어 표준 박스 퍼니스나 수평 튜브 퍼니스가 따라올 수 없는 수준의 다재다능함을 제공합니다.
- 강력한 진공 무결성: 당사의 스테인리스 스틸 진공 플랜지와 고품질 석영 밀봉은 낮은 누설률에 최적화되어 있어 실험이 대기 오염으로부터 자유롭게 유지됩니다.
- 향상된 실험실 안전: 이중층 쉘 냉각 및 포괄적인 열 차폐 기능을 갖춘 이 시스템은 작업자에게 열 위험을 초래하지 않으면서 통행이 잦은 실험실 환경에서 안전하게 작동하도록 설계되었습니다.
- 장기적인 투자 보호: 평생 기술 지원이 뒷받침되는 1년 제한 보증을 제공하여 장비가 서비스 수명 동안 생산적인 자산으로 유지되도록 합니다.
당사의 엔지니어링 팀은 귀하의 특정 응용 분야에 맞춘 맞춤형 플랜지 설계 또는 통합 소프트웨어 솔루션을 지원할 준비가 되어 있습니다. 기술 상담이나 공식 견적을 원하시면 오늘 저희에게 연락해 주십시오.
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