제품 개요
이 고성능 분할형 튜브 퍼니스는 콤팩트하고 에너지 효율적인 열처리 기술의 정점을 보여줍니다. 정밀성과 다목적성을 위해 설계된 이 시스템은 최대 작동 온도 1200°C를 제공하여 재료 과학 연구소 및 산업 R&D 센터의 필수 장비입니다. 분할 힌지(split-hinge) 설계로 빠른 냉각과 시료의 간편한 적재 및 하역이 가능하며, 대구경 석영 튜브는 직경 최대 4인치의 기판을 수용할 수 있습니다. 고급 단열재와 분리형 제어 모듈을 통합하여 까다로운 환경에서도 뛰어난 열 안정성과 장기적인 작동 신뢰성을 제공합니다.
현대 연구의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 이 장치는 어닐링, 소결 및 화학 기상 증착(CVD) 공정에 널리 사용됩니다. 고진공 또는 제어된 대기 조건에서 작동할 수 있는 능력은 연구자들에게 2D 재료 합성, 반도체 웨이퍼 처리 및 복잡한 열처리를 수행하는 데 필요한 유연성을 제공합니다. 분리형 컨트롤러 아키텍처는 민감한 전자 부품을 퍼니스 본체의 고열로부터 보호하여 전자 장치의 수명을 크게 연장하고 수천 번의 사이클 동안 일관된 성능을 보장합니다.
신뢰성은 이 시스템 엔지니어링의 핵심입니다. 모든 전기 부품은 NRTL 인증을 받아 실험실 사용에 대한 엄격한 안전 표준을 준수합니다. 퍼니스는 이중층 강철 구조와 고순도 Al2O3 섬유 단열재 및 내화 세라믹 코팅을 결합하여 열 손실을 최소화하고 에너지 절감을 극대화합니다. 이러한 견고한 제작 품질은 외부 표면을 안전하게 유지하면서도 내부 온도 균일성을 정밀하게 유지하여 기술자와 과학자 모두에게 안전하고 생산적인 작업 환경을 제공합니다.
주요 특징
- 정밀 분할 힌지 설계: 퍼니스 본체는 시료에 빠르게 접근하고 냉각 단계를 가속화할 수 있는 분할 개방 메커니즘으로 설계되어 실험실 처리량과 실험 유연성을 크게 향상시킵니다.
- 대구경 석영 처리 튜브: 5인치(130mm) 외경의 고순도 석영 튜브를 장착하여 열 균일성을 저해하지 않으면서 직경 최대 4인치의 반도체 웨이퍼를 포함한 대형 기판을 처리할 수 있습니다.
- 분리형 디지털 제어 모듈: 30단계 프로그래밍 가능한 PID 컨트롤러가 별도의 인클로저에 수용되어 있어, 퍼니스의 열 복사로부터 중요한 전자 부품을 격리하여 최대의 정밀도와 장비 수명을 보장합니다.
- 고효율 섬유 단열재: 특수 알루미나 코팅이 된 고순도 Al2O3 섬유 단열재를 사용하여 기존 내화 재료보다 우수한 에너지 효율과 긴 수명을 달성합니다.
- 고급 진공 밀봉 시스템: 이중 고온 실리콘 O-링이 장착된 한 쌍의 스테인리스 스틸 304 진공 플랜지는 안정적인 밀봉을 제공하여 표준 기계식 펌프로 10-2 Torr까지의 진공도를 구현합니다.
- 통합 안전 및 인증: 이 시스템은 내장된 과열 방지 및 열전대(thermocouple) 고장 보호 기능을 갖추고 있으며, 모든 전기 부품은 NRTL 인증을 받아 산업 및 학술 연구소를 위한 최고 수준의 안전 표준을 충족합니다.
- 유연한 가스 및 진공 관리: 표준 KF25 포트와 1/4" 바브 피팅을 통해 진공 펌프 및 가스 공급 시스템과의 원활한 연결이 가능하며, 정적 및 흐름 대기 공정을 모두 지원합니다.
- 우수한 가열 요소: 몰리브덴이 도핑된 Fe-Cr-Al 합금 요소는 최대 1200°C까지 안정적이고 일관된 가열을 제공하여 반복적인 고온 사이클에 필요한 내구성을 보장합니다.
응용 분야
| 응용 분야 | 설명 | 주요 이점 |
|---|---|---|
| 반도체 웨이퍼 어닐링 | 전기적 특성을 수정하기 위한 실리콘 또는 화합물 반도체 웨이퍼의 고온 처리. | 탁월한 열 균일성으로 최대 4인치 웨이퍼 수용. |
| 2D 재료 합성 | CVD 또는 열처리를 통한 그래핀, MoS2 및 기타 박막 재료의 합성. | 정밀한 유량 제어 및 진공 무결성으로 고품질 필름 성장 보장. |
| 세라믹 소결 | 진공 또는 불활성 가스 하에서 세라믹 분말 압축물을 밀도가 높고 강도가 높은 부품으로 통합. | 분할 설계로 파손되기 쉬운 그린 바디(green body)를 쉽게 적재 가능. |
| 대기 하소(Calcination) | 휘발성 성분을 제거하기 위해 제어된 가스 환경에서 광물 또는 화학 물질을 가열. | 다양한 가스 입/출구로 정밀한 화학 반응 가능. |
| 진공 탈가스 | 구조적 무결성을 개선하기 위해 특수 합금 또는 복합 재료에서 갇힌 가스를 제거. | 고성능 플랜지가 사이클 전반에 걸쳐 안정적인 진공 수준 유지. |
| 배터리 재료 연구 | 전기화학적 성능을 최적화하기 위해 불활성 분위기에서 양극 및 음극 재료를 열처리. | 균일한 12인치 가열 구간이 일관된 재료 특성 제공. |
| 코팅 응력 완화 | 금속 또는 세라믹 기판에 적용된 특수 코팅의 내부 응력 완화. | 프로그래밍 가능한 냉각 속도로 열충격 및 코팅 박리 방지. |
| 촉매 준비 | 특정 가스 흐름 조건 하에서 촉매 재료의 열 활성화. | 분리형 컨트롤러로 실험실 흄 후드 내에 안전하게 통합 가능. |
기술 사양
| 매개변수 | TU-22 사양 |
|---|---|
| 최대 작동 온도 | 1200°C (1시간 미만) |
| 연속 작동 온도 | 1100°C |
| 가열 구간 길이 | 12" (300 mm) |
| 항온 구간 | 100 mm (±1ºC) / 140 mm (±2ºC) |
| 튜브 재질 및 크기 | 고순도 석영; 5" 외경 x 4.7" 내경 x 29.5" 길이 (130 x 120 x 750 mm) |
| 가열 요소 | 몰리브덴 도핑 Fe-Cr-Al 합금 |
| 최대 가열 속도 | ≤ 20°C/min |
| 온도 정확도 | ± 1°C |
| 온도 제어 | 솔리드 스테이트 릴레이를 통한 PID 30단계 프로그래밍 가능 |
| 퍼니스 구조 | 고순도 Al2O3 섬유 단열재를 포함한 이중층 강철 |
| 전력 / 전압 | 3 KW / 220VAC 50/60Hz |
| 진공 수준 | 10-2 Torr (기계식 펌프 사용 시) |
| 진공 플랜지 | 이중 실리콘 O-링이 포함된 스테인리스 스틸 304; KF25 포트 포함 |
| 압력 모니터링 | 표준 기계식 게이지 (-0.1 ~ 0.15 Mpa) |
| 피팅 | 가스 유입용 1/4" 바브 피팅; 진공 배출용 KF25 |
| 인증 | NRTL 인증 전기 부품 |
| 옵션 업그레이드 | PC 제어 모듈, Eurotherm 컨트롤러, 디지털 진공 게이지, 수냉식 플랜지 |
TU-22를 선택해야 하는 이유
- 비교할 수 없는 열 정밀도: 30단계 프로그래밍 가능한 PID 컨트롤러와 고급 Fe-Cr-Al 합금 가열 요소의 조합으로 실험의 재현성을 보장하며 ±1°C 이내의 정확도를 제공합니다.
- 높은 처리량을 위한 최적화: 분할형 퍼니스 설계는 바쁜 실험실에 중요한 이점을 제공하며, 빠른 자연 냉각을 가능하게 하고 실험 간 시료 교체 과정을 간소화합니다.
- 견고한 안전 엔지니어링: NRTL 인증과 과열 및 열전대 고장 경고와 같은 고급 보호 기능을 갖춘 이 시스템은 전문 환경에서 안전하고 무인 작동이 가능하도록 설계되었습니다.
- 미래 지향적 다목적성: TU-22의 모듈식 설계는 PC 기반 제어, 고정밀 Eurotherm 컨트롤러, 장시간 고온 작업을 위한 수냉식 플랜지 등을 포함한 상당한 수준의 맞춤화를 지원합니다.
- 산업 등급의 제작 품질: 고순도 알루미나 코팅 내화 세라믹부터 스테인리스 스틸 304 진공 부품에 이르기까지, 이 퍼니스의 모든 측면은 장기적인 내구성과 최소한의 유지 보수를 위해 제작되었습니다.
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