제품 개요
이 고성능 열처리 시스템은 제어된 환경 내에서 정밀한 재료 합성 및 열처리를 위해 설계되었습니다. 이 장치는 힌지 분할형 설계를 채택하여 쿼츠 처리 튜브에 쉽게 접근하고 빠르게 냉각할 수 있어, 빈번한 샘플 교체나 복잡한 실험 설정이 필요한 실험실에 이상적인 선택입니다. 전용 진공 시스템과 삽입형 온도 교정기를 통합함으로써, 이 장비는 열 사이클에서 높은 수준의 정확도와 반복성을 요구하는 연구자들에게 턴키 솔루션을 제공합니다.
이 장비의 주요 사용 분야는 재료 과학, 반도체 연구 및 산업 R&D 전반에 걸쳐 있습니다. 진공 또는 흐르는 가스 조건에서 어닐링, 소결, 화학 기상 증착(CVD)과 같은 공정을 처리하도록 특별히 설계되었습니다. 최대 1200°C까지 안정적인 환경을 유지하는 시스템의 능력은 학계 및 산업 금속 공학 연구소의 엄격한 기준을 충족합니다. 콤팩트한 크기 덕분에 기존 실험실 공간에 원활하게 통합하거나 특수 안전 요구 사항을 위해 흄 후드 내에 배치할 수 있습니다.
장기적인 신뢰성에 중점을 두고 제작된 이 시스템은 내구성이 뛰어난 강철 케이싱과 에너지 효율적인 알루미나 섬유 단열재를 사용하여 구조적 무결성과 열 효율을 보장합니다. 몰리브덴이 도핑된 고품질 Fe-Cr-Al 합금 발열체를 포함하여 까다로운 연속 작동 조건에서도 일관된 성능을 보장합니다. 조달 팀은 이 장비의 견고한 엔지니어링과 NIST 추적 가능한 교정 도구를 신뢰할 수 있으며, 이를 통해 실험 데이터가 다양한 배치와 프로젝트 전반에 걸쳐 검증 가능하고 일관되게 유지되도록 합니다.
주요 특징
- 정밀 분할 힌지 설계: 퍼니스 챔버는 분할 개방 메커니즘으로 구성되어 있어, 사용자가 전체 설정을 분해하지 않고도 처리 튜브를 쉽게 설치하고 샘플에 접근할 수 있습니다. 이 기능은 고온 사이클 후 빠른 냉각을 용이하게 합니다.
- 현장 온도 교정: 이 시스템에는 특수 OMEGA K-타입 열전대와 NIST 인증서가 포함된 휴대용 디지털 온도 교정기가 포함되어 있습니다. 이를 통해 튜브 내부의 샘플 온도를 실시간으로 정확하게 측정하여 컨트롤러 판독값과 실제 시료 상태 간의 차이를 줄일 수 있습니다.
- 고급 PID 열 관리: 이 장치에는 PWM 솔리드 스테이트 릴레이를 사용하는 정교한 PID 자동 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 가열, 유지, 냉각을 위한 30개의 프로그래밍 가능한 세그먼트를 지원하며 ±1°C의 정밀한 온도 정확도를 유지합니다.
- 고효율 진공 통합: 156 L/m 2단 로터리 베인 기계식 펌프를 포함한 완벽한 진공 솔루션이 제공됩니다. 이를 통해 스테인리스 스틸 플랜지와 디지털 진공 게이지의 지원을 받아 1E-2 Torr (50 m-torr) 수준의 진공도에 빠르게 도달할 수 있습니다.
- 우수한 단열 성능: 가열 챔버는 고순도 Al2O3 섬유 단열재로 라이닝되어 있습니다. 이 에너지 효율적인 재료는 외부 케이싱으로의 열 손실을 줄여 빠른 승온 속도와 장시간 공정 중 낮은 에너지 소비를 보장합니다.
- 다양한 가스 처리 기능: 왼쪽 플랜지에는 1/4'' 바브 가스 유입구가, 오른쪽에는 KF25 가스 배출구가 장착되어 있습니다. 이 구성을 통해 낮은 유량에서 불활성 또는 반응성 가스를 사용하여 대기 민감 공정을 정밀하게 제어할 수 있습니다.
- 내구성 있는 발열체: 몰리브덴이 도핑된 Fe-Cr-Al 합금 발열체로 설계되어 고온에서도 긴 수명과 안정적인 저항을 제공하며, 200mm 가열 구역 전반에 걸쳐 균일한 열 분포를 보장합니다.
- 향상된 안전 및 모니터링: 이 시스템에는 복사 손실을 방지하기 위한 열 차단 블록과 견고한 강철 케이싱 등 포괄적인 안전 기능이 포함되어 있습니다. 옵션 소프트웨어 인터페이스를 통해 PC를 통한 원격 데이터 로깅 및 레시피 관리가 가능합니다.
응용 분야
| 응용 분야 | 설명 | 주요 이점 |
|---|---|---|
| 반도체 어닐링 | 진공 상태에서 실리콘 웨이퍼 또는 박막의 정밀 열처리. | 결정 구조 및 전기적 특성 향상. |
| CVD 연구 | 제어된 가스 흐름을 사용하여 탄소 나노튜브 또는 2D 재료 성장. | 반복 가능한 열 프로파일을 갖춘 고순도 성장 환경. |
| 세라믹 소결 | 최대 1100°C 연속 온도에서 세라믹 분말을 고밀도 고체로 압축. | 우수한 기계적 밀도 및 일관된 재료 상전이. |
| 센서 교정 | 삽입형 교정기를 사용하여 외부 온도 센서 검증. | 품질 보증 프로토콜을 위한 NIST 추적 가능한 정확도. |
| 진공 탈가스 | 금속 또는 복합 샘플에서 갇힌 가스 제거. | 내부 기공 제거 및 산화 방지. |
| 금속 열처리 | 소형 합금 부품의 담금질, 템퍼링 또는 응력 완화. | 제어된 분위기로 표면 탈탄 방지. |
| 배터리 재료 R&D | 특정 대기 조건에서 양극/음극 재료 테스트. | 산업 생산 열 사이클의 정확한 시뮬레이션. |
| 촉매 테스트 | 흐르는 가스와 함께 고온에서 촉매 효율 평가. | 접촉 시간 및 반응 온도에 대한 정밀 제어. |
기술 사양
| 매개변수 | TU-19 사양 세부 정보 |
|---|---|
| 제품 모델 | TU-19 |
| 최대 온도 | 1200 °C (1시간 미만) |
| 연속 작동 온도 | 1100 °C |
| 권장 가열 속도 | ≤ 10 °C/min |
| 가열 구역 길이 | 200 mm (8") |
| 항온 구역 | 100 mm (4") (±2 °C @ 900 °C) |
| 발열체 | Mo 도핑된 Fe-Cr-Al 합금 |
| 처리 튜브 | 고순도 쿼츠 튜브: 50mm 외경 x 43mm 내경 x 600mm 길이 |
| 진공도 | 1E-2 Torr (50 m-torr, 포함된 펌프 사용 시) |
| 진공 펌프 | 2단 로터리 베인 (110V, 156 L/m), 배기 필터 포함 |
| 온도 컨트롤러 | PID 자동 제어, 30개 프로그래밍 가능 세그먼트, ±1 °C 정확도 |
| 교정 도구 | OMEGA K-타입 열전대 (18" x 1/4"), 디지털 교정기 포함 |
| 진공 플랜지 | 1/4" 바브 유입구 및 KF25 배출구가 있는 스테인리스 스틸 |
| 입력 전력 | 1.75 KW |
| 전압 | AC 110V 단상, 50/60 Hz (208V-240V 옵션) |
| 단열재 | Al2O3 섬유 단열재 |
| 열 차단 블록 | 2개의 섬유 세라믹 튜브 블록 포함 |
| 치수 (케이싱) | 분할 가능한 챔버를 갖춘 견고한 강철 구조 |
이 퍼니스를 선택해야 하는 이유
- 턴키 진공 솔루션: 표준 퍼니스와 달리 이 시스템은 고용량 기계식 펌프와 특수 플랜지가 완전히 통합되어 제공되므로 별도의 조달 및 호환성 테스트가 필요하지 않습니다.
- 비교할 수 없는 측정 정밀도: 삽입형 K-타입 열전대와 NIST 인증 교정기가 포함되어 있어, 샘플 구역에서 직접 측정된 추적 가능하고 정확도가 높은 온도 판독값을 통해 연구 데이터의 신뢰성을 보장합니다.
- 연구 처리량 최적화: 분할 튜브 설계는 고효율 실험실을 위해 특별히 설계되었으며, 기존의 폐쇄형 튜브 설계에 비해 더 빠른 냉각과 더 쉬운 샘플 취급을 가능하게 합니다.
- 프리미엄 빌드 품질: Mo 도핑된 발열체부터 견고한 강철 케이싱까지, 모든 구성 요소는 산업 R&D의 가혹한 환경을 견디고 긴 작동 수명을 제공할 수 있는 능력에 따라 선택되었습니다.
- 사용자 정의 및 확장 가능: 이 시스템은 초고진공(10E-6 Torr)을 위한 터보 분자 펌프, 더 큰 튜브 옵션, 자동화된 데이터 관리를 위한 Labview 기반 소프트웨어 등 다양한 업그레이드 경로를 제공합니다.
저희 엔지니어링 팀은 귀하의 특정 재료 과학 요구 사항에 맞는 이상적인 열 솔루션을 구성하도록 도울 준비가 되어 있습니다. 기술 상담이나 공식 견적을 원하시면 오늘 저희에게 연락해 주십시오.
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