통합 진공 시스템 및 정밀 온도 교정기가 포함된 콤팩트 분할형 튜브 퍼니스

제품 개요

이 고온 처리 시스템은 정밀 중심의 재료 과학 및 산업 연구를 위해 설계된 특수 열 솔루션입니다. 분할형 튜브 구조와 통합 진공 환경을 결합하여 복잡한 실험 설정을 방해하지 않으면서도 시료를 신속하게 로딩 및 언로딩할 수 있습니다. 이 시스템은 최대 1200°C까지 균일한 가열을 촉진하도록 설계되었으며, 대기 제어가 최종 재료 특성에 중요한 어닐링, 소결 및 화학 기상 증착(CVD) 공정을 위한 안정적인 플랫폼을 제공합니다.

고급 연구소 및 산업 R&D 시설을 대상으로 하는 이 장치는 다학제적 연구에 필요한 유연성을 제공합니다. 반도체 웨이퍼 처리나 새로운 배터리 화학 개발 등 어떤 용도로 사용하든, 이 시스템은 신뢰할 수 있고 반복 가능한 열 환경을 제공합니다. 전용 온도 교정 어셈블리가 포함되어 있어 사용자가 내부 튜브 온도를 실시간으로 검증할 수 있으며, 설정값 매개변수와 실제 시료 노출 조건 사이의 격차를 해소합니다.

내구성과 장기적인 작동 일관성을 위해 제작된 이 장비는 견고한 강철 케이스와 고순도 알루미나 섬유 단열재를 특징으로 합니다. 이러한 조합은 우수한 에너지 효율을 보장할 뿐만 아니라 고온 사이클 동안 낮은 외부 표면 온도를 유지합니다. 견고한 엔지니어링은 안전과 정밀함에 대한 약속을 반영하며, 현대 재료 연구 및 산업 열처리의 엄격한 기준을 충족하는 신뢰할 수 있는 고성능 열처리 장치를 찾는 구매 팀에게 필수적인 자산입니다.

주요 특징

• 정밀 분할형 튜브 설계: 길이 방향으로 분할 개방되는 챔버를 통해 공정 튜브에 쉽게 접근할 수 있어, 진공 플랜지나 가스 라인을 완전히 분해할 필요 없이 시료나 사전 조립된 실험 장치를 빠르게 삽입할 수 있습니다.
• 고급 PID 온도 제어: 이 시스템은 30개의 프로그래밍 가능한 세그먼트가 있는 고정밀 PID 컨트롤러를 사용하여 ±1°C의 정밀한 열 정확도를 보장하며, 특정 재료 요구 사항에 맞춘 복잡한 램프 및 소크(ramp and soak) 프로파일을 허용합니다.
• 통합 고진공 시스템: 156 L/m 이중 단계 로터리 베인 진공 펌프와 배기 여과 장치를 갖추고 있어 1E-2 Torr 수준의 진공도를 달성할 수 있으며, 제어된 환경에서 오염 없는 처리가 가능합니다.
• 실시간 온도 교정: NIST 표준 OMEGA K-타입 열전대와 디지털 교정기가 통합되어 있어 작업자가 내부 시료 온도를 직접 측정할 수 있으며, 실험 데이터와 공정 반복성에 대한 높은 신뢰성을 제공합니다.
• 우수한 단열 성능: 챔버는 에너지 효율이 높은 Al2O3 섬유 단열재로 라이닝되어 있어 열 손실과 전력 소비를 줄이는 동시에 최대 10°C/min의 빠른 가열 속도를 보장하여 실험실 처리량을 증가시킵니다.
• 양측 대기 제어: 1/4인치 바브 가스 유입구와 KF25 가스 배출구가 있는 스테인리스 스틸 진공 플랜지를 특징으로 하며, 진공 작동과 흐르는 가스 분위기를 모두 지원하여 다양한 화학 및 물리 기상 증착 공정에 적합합니다.
• Mo 도핑 고성능 가열 요소: 몰리브덴(Mo)이 도핑된 Fe-Cr-Al 합금 가열 요소는 최대 1200°C의 온도에서 산화 및 열 피로에 저항하며, 긴 수명과 일관된 성능을 발휘하도록 설계되었습니다.
• 모듈형 진공 플랜지 어셈블리: 견고한 SS 플랜지에는 통합 진공 게이지와 고온 씰이 포함되어 있으며, 고온에서 장시간 고진공 작동 시 빠른 조립과 안정적인 밀봉을 위해 설계되었습니다.
• 통합 안전 및 모니터링: 이 시스템에는 복사열 손실을 방지하기 위한 내부 안전 블록이 포함되어 있으며, 실시간 데이터 로깅 및 PC를 통한 원격 레시피 관리를 위해 선택적 모니터링 소프트웨어와 통합될 수 있습니다.

응용 분야

기술 사양

이 퍼니스 시스템을 선택해야 하는 이유

• 비교할 수 없는 측정 정밀도: 진공 챔버에 직접 통합된 NIST 추적 가능한 전용 온도 교정기는 표준 벽면 장착형 센서가 따라올 수 없는 시료 온도 검증을 가능하게 합니다.
• 신뢰성을 위한 설계: 산업용 등급의 Mo 도핑 가열 요소와 고밀도 알루미나 단열재를 사용하여, 이 시스템은 성능 저하 없이 까다로운 R&D 환경에서 지속적으로 사용할 수 있도록 제작되었습니다.
• 즉시 사용 가능한 완벽한 패키지: 진공 부품을 별도로 구매해야 하는 시스템과 달리, 이 장치는 고용량 156 L/m 기계식 펌프, 모든 필수 플랜지 및 석영 튜브가 포함되어 배송됩니다.
• 유연하고 확장 가능한 구조: 분할형 튜브 설계와 모듈형 플랜지 시스템을 통해 연구 요구 사항이 진화함에 따라 더 큰 튜브나 터보 분자 펌프(10E-6 Torr 달성)로 업그레이드할 수 있습니다.
• 우수한 빌드 품질: 견고한 강철 섀시부터 정밀 PID 전자 장치에 이르기까지 모든 구성 요소는 산업적 내구성과 사용자 안전에 대한 최고 기준을 충족하도록 제조되었습니다.

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