통합 터보 펌프 시스템과 8인치 가열 구간을 갖춘 1200C 고진공 소형 튜브 퍼니스

제품 개요

이 고성능 열처리 시스템은 고진공 조건에서 정밀한 온도 제어가 필요한 연구자와 산업 엔지니어를 위한 완전한 통합 솔루션입니다. 컴팩트하고 벤치탑에 적합하도록 설계된 이 장비는 고온 튜브 퍼니스와 정교한 터보분자 진공 시스템을 결합합니다. 이러한 통합을 통해 사용자는 10^-5 torr까지의 진공 수준을 달성하여 산소에 민감한 재료, 박막 연구, 첨단 화학 기상 증착(CVD) 공정에 적합한 청정 환경을 제공합니다. 외부 펌프 배열의 복잡성을 제거함으로써, 이 장치는 학계와 산업계의 재료 과학자들에게 간소화된 작업 흐름을 제공합니다.

주로 재료과학 R&D 및 반도체 실험실 환경에서 활용되는 이 장비는 새로운 나노재료 합성, 고체상 반응 수행, 민감한 부품 소결의 핵심 장비로 사용됩니다. 단일 가열 구간은 균일성에 최적화되어 있어 60mm 석영 튜브 내에 배치된 시료가 일관된 열 에너지 분포를 경험하도록 보장합니다. 고순도 어닐링이든 복잡한 분위기 제어 열처리이든, 이 시스템은 현대 산업 표준에 필요한 안정성과 재현성을 제공합니다.

이 열처리 장비는 모든 구성 요소에 신뢰성을 반영하여 설계되었습니다. 최대 작동 온도에서도 손으로 만져도 뜨겁지 않은 이중층 강철 구조부터, 수명을 연장하도록 코팅된 알루미나 섬유 단열재에 이르기까지 모든 세부 사항이 내구성에 초점을 맞추고 있습니다. 이 장비는 24/7 산업 연구 사이클의 엄격한 요구를 견딜 수 있도록 제작되었으며, 수천 시간의 작동 시간 동안 높은 진공 무결성과 온도 정확도를 유지합니다. 이러한 탁월한 엔지니어링에 대한 집중 덕분에 기술팀은 장비가 아닌 결과에 집중할 수 있습니다.

주요 특징

• 통합 고진공 터보 펌프 시스템: 이 장비는 독일 엔지니어링의 내장형 터보분자 펌프 시스템을 갖추고 있으며, 최대 1 x 10^-5 torr의 궁극 진공 수준을 달성하여 민감한 열 공정을 위한 초고순도 환경을 보장합니다.
• 정밀 PID 온도 제어: 고급 마이크로프로세서 컨트롤러는 비례-적분-미분 로직과 자동 튜닝 기능을 활용하여 ±1°C의 정확도를 유지하며, 램핑, 유지, 냉각을 위한 30개의 프로그래밍 가능한 세그먼트를 지원합니다.
• 고급 이중층 열 보호: 퍼니스는 이중 구조 강철 외피와 통합 냉각 팬으로 제작되어 내부 챔버가 1200°C에 도달하더라도 외부 표면 온도를 70°C 이하로 유지합니다.
• 고내구성 코팅이 적용된 알루미나 섬유 단열재: 가열 챔버는 고효율 알루미나 섬유 열 단열재로 라이닝되어 있으며, 내화 재료의 열화를 방지하고 수명을 연장하기 위해 추가로 알루미나 코팅이 처리되어 있습니다.
• 정밀 가열 소자: 이 장치는 몰리브덴이 도핑된 Fe-Cr-Al 합금 소자를 사용하며, 고온 안정성과 산화 저항성을 위해 특별히 선택되어 8인치 구간 전반에서 일관된 가열 성능을 보장합니다.
• 기밀 진공 밀봉 및 플랜지: 1/4" 바브 피팅, 니들 밸브, 퀵 커넥트 열전대 피드스루가 포함된 완전한 60mm O.D. 진공 플랜지 세트를 갖추어, 원활한 가스 관리와 신뢰할 수 있는 진공 밀봉을 보장합니다.
• 종합 안전 프로토콜: 과온 보호 및 열전대 고장 보호를 포함한 내장 안전장치는 가열 소자를 자동으로 차단하여 손상을 방지하고 무인 운전 중 작업자 안전을 보장합니다.
• 향상된 데이터 관리 기능: 컨트롤러에는 DB9 PC 통신 포트가 포함되어 있으며, 원격 프로파일 편집, 데이터 로깅, 실시간 열처리 레시피 관리를 지원하는 선택 사양의 LabVIEW 기반 소프트웨어(MTS01)를 지원합니다.
• 모듈식 가열 성능: 가열 모듈의 교체 가능한 설계는 유연한 유지보수와 향후 업그레이드 가능성을 제공하여, 장기적인 실험실 운영에 비용 효율적인 경로를 제공합니다.
• 최적화된 열 블록: 이 시스템에는 활성 가열 영역에서 발생하는 열 손실을 제한하고 냉각 플랜지를 보호하며 전체 에너지 효율을 향상시키도록 설계된 한 쌍의 섬유 세라믹 열 블록이 포함되어 있습니다.

적용 분야

기술 사양

TU-41를 선택해야 하는 이유

• 우수한 통합 설계: 별도의 외부 펌프가 필요한 시스템과 달리, 이 장치는 진공 및 열 시스템을 하나의 고효율 공간에 통합하여 실험실 공간을 절약하고 설치 복잡성을 줄입니다.
• 산업용 등급의 진공 성능: 독일산 터보분자 펌프를 사용하여 이 시스템은 표준 기계식 펌프보다 100배 더 깊은 진공 수준을 달성할 수 있어 고순도 재료 연구에 적합합니다.
• 정밀 엔지니어링 신뢰성: Mo가 도핑된 가열 소자부터 액체 알루미나 코팅 단열재에 이르기까지 모든 구성 요소는 요구가 큰 R&D 사이클에서 최대 가동 시간과 일관된 성능을 위해 선택되었습니다.
• 유연한 열 프로파일링: 30세그먼트 PID 컨트롤러는 복잡한 재료 합성에 필요한 세분성을 제공하여 냉각 및 가열 속도를 정밀하게 관리해 재료 실패를 방지합니다.
• 종합 지원 및 품질: CE 인증 제품이며 NRTL 업그레이드가 가능하므로, 이 장비는 최고 수준의 국제 안전 및 운영 우수성 기준을 충족하며 THERMUNITS의 전문 기술 지원을 제공합니다.

저희 엔지니어링 팀은 이 고성능 진공 시스템에 대한 맞춤 구성 또는 공식 견적을 기꺼이 도와드릴 준비가 되어 있습니다. 귀하의 구체적인 열처리 요구 사항을 논의하려면 지금 문의해 주세요.