고온 1600°C 분할형 튜브 퍼니스(진공 플랜지 및 밸브 포함, 60mm/80mm 알루미나 튜브 선택 가능)

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고온 1600°C 분할형 튜브 퍼니스(진공 플랜지 및 밸브 포함, 60mm/80mm 알루미나 튜브 선택 가능)

품목 번호: TU-69

최대 온도: 1550°C (발열체 정격 1650°C) 발열체 유형: Kanthal GLOBAR SG 1650 등급 SiC 온도 제어 정확도: +/- 1 ºC
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제품 개요

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이 고성능 분할형 알루미나 튜브 퍼니스는 재료 과학 및 산업 연구 개발을 위한 열 공학의 정점입니다. 실험실 열처리의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며, 반응 챔버에 빠르게 접근할 수 있는 독특한 분할 프레임 구조를 특징으로 합니다. 이러한 접근성은 공정 튜브와 샘플을 쉽게 삽입하고 제거할 수 있게 하여 시간과 정밀도가 중요한 복잡한 실험 설정에 필수적인 도구가 됩니다. 다재다능함과 뛰어난 열 안정성을 결합하여 연구자들이 하드웨어의 한계가 아닌 연구 결과에 집중할 수 있도록 지원합니다.

제어된 분위기나 고진공 조건이 필요한 환경을 위해 설계된 이 장비는 반도체 개발, 세라믹 소결 및 첨단 야금 분야에서 널리 사용됩니다. 핵심 가치는 견고한 진공 밀봉 시스템을 통해 최대 1600°C의 온도에서 뛰어난 균일성을 달성하는 능력에 있습니다. 화학 기상 증착(CVD), 하소 또는 어닐링을 수행하든, 이 퍼니스는 실험의 무결성과 공정 확장성을 보장하는 반복 가능하고 신뢰할 수 있는 환경을 제공합니다. 통합 공랭식 시스템이 포함된 이중층 강철 케이싱은 내부 챔버가 극한 온도에 도달하더라도 외부 온도를 안전하게 유지하여 작업자의 안전을 보장합니다.

신뢰성은 이 열처리 시스템의 특징입니다. 프리미엄 등급의 가열 요소와 고급 내화 코팅을 사용하여 까다로운 산업 R&D 환경에서 지속적인 작동 주기를 견딜 수 있도록 제작되었습니다. 스테인리스 스틸 진공 플랜지부터 정밀 온도 컨트롤러에 이르기까지 모든 구성 요소는 스트레스 상황에서의 내구성과 성능을 기준으로 선택되었습니다. 이 장비는 안전과 정확성을 우선시하는 엔지니어링 표준을 바탕으로 최소한의 유지 보수로 장기적인 서비스를 제공하도록 설계되었으므로 안심하고 투자하실 수 있습니다.

주요 특징

  • 정밀 분할형 디자인: 혁신적인 분할 퍼니스 챔버를 통해 공정 튜브를 쉽게 로딩 및 언로딩할 수 있습니다. 이 기능은 실행 후 샘플을 빠르게 검사해야 하거나 알루미나 튜브 내부에 섬세한 사전 조립 기기를 설치해야 하는 사용자에게 특히 유용합니다.
  • Kanthal GLOBAR SG 1650 등급 SiC 요소: 16개의 고등급 탄화규소(SiC) 가열 요소가 장착되어 빠른 가열과 뛰어난 수명을 제공합니다. 이 요소들은 1600°C에 가까운 온도에서도 안정적인 비저항과 열 출력을 유지하는 능력 때문에 특별히 선택되었습니다.
  • 고급 PID 온도 제어: 통합된 FA-YD518P-AG 컨트롤러는 램핑, 냉각 및 유지를 위한 30개의 프로그래밍 가능한 세그먼트를 제공합니다. +/- 1°C의 정확도와 자동 튜닝 기능을 통해 민감한 소재 합성에 필요한 정밀한 열 프로파일링을 제공합니다.
  • 우수한 진공 밀봉 구조: 진공 게이지와 밸브가 내장된 스마트 스테인리스 스틸 진공 밀봉 플랜지 한 쌍이 포함되어 있습니다. 이 시스템은 1/4" 파이프 및 KF25 어댑터를 지원하며, 분자 펌프와 결합 시 10^-5 torr 수준의 진공도를 달성할 수 있습니다.
  • 효율적인 단열: 챔버는 고순도 섬유질 알루미나 단열재를 사용하여 열 손실과 에너지 소비를 크게 줄입니다. 이 소재는 열이 공정 구역 내에 집중되도록 하여 퍼니스의 환경적 영향과 열 효율을 개선합니다.
  • 향상된 내화 보호: 내부 퍼니스 벽과 가열 요소 모두에 특수 내화 코팅이 적용되었습니다. 이 코팅은 화학 증기 및 고온 산화로부터 구성 요소를 보호하여 작동 수명을 크게 연장합니다.
  • 산업 안전 표준: 이 시스템은 이중층 강철 케이싱과 공랭식 팬으로 제작되어 외부 표면 온도를 60°C 이하로 유지합니다. 또한 장비와 실험실 환경을 보호하기 위해 과열 및 열전대 고장 경보가 내장되어 있습니다.
  • 소재별 알루미나 구성 요소: 이 시스템에는 고품질 알루미나 튜브(60mm 또는 80mm 직경 선택 가능)와 섬유질 세라믹 튜브 블록이 포함되어 있습니다. 이 블록은 복사열을 차단하고 밀봉 플랜지를 보호하며 균일한 정온 구역을 보장하는 데 필수적입니다.
  • 표준 준수 및 인증: 이 퍼니스는 CE 인증을 받았으며 엄격한 유럽 안전 및 품질 표준을 충족합니다. 특정 북미 규정 준수가 필요한 시설의 경우, 현지 안전 규정을 충족하기 위해 NRTL 또는 CSA 인증을 옵션으로 업그레이드할 수 있습니다.
  • 유연한 통신 인터페이스: 컨트롤러에는 DB9/PC 통신 포트가 기본으로 제공됩니다. 사용자는 LabVIEW 호환성을 위해 Eurotherm 컨트롤러로 업그레이드하여 산업 네트워크에서 정교한 데이터 로깅 및 원격 공정 관리를 수행할 수 있습니다.

응용 분야

응용 분야 설명 주요 이점
화학 기상 증착 (CVD) 기판에 박막을 증착하기 위한 정밀한 가스 흐름 및 온도 제어. 높은 균일성과 진공 무결성으로 고순도 박막 성장 보장.
첨단 세라믹 소결 최대 밀도를 달성하기 위한 기술 세라믹의 고온 처리. 1600°C 성능으로 복합 산화물 및 탄화물 소재 소결 가능.
반도체 어닐링 전기적 특성을 수정하기 위한 실리콘 웨이퍼 또는 화합물 반도체의 열처리. 정밀 PID 제어로 열충격을 방지하고 반복 가능한 결정 구조 보장.
촉매 합성 화학 공학을 위한 촉매 전구체의 제어된 분위기 하소. 진공 플랜지를 통해 특정 환원 또는 산화 가스 주입 가능.
배터리 소재 연구 엄격하게 제어된 열 프로파일 하에서 양극 및 음극 분말 합성. 분할형 디자인으로 실험 반복을 위한 빠른 샘플 처리 용이.
야금 열처리 진공 또는 불활성 가스 내 고성능 합금의 템퍼링 및 담금질 연구. 고온 금속 처리 중 산화 및 스케일링 방지.
탄소 나노튜브 생산 제어된 튜브 환경에서 탄소원의 고온 열분해. 안정적인 390mm 가열 구역으로 대량 샘플 배치에서 일관된 수율 보장.

기술 사양

사양 TU-69-60 TU-69-80
튜브 재질 고순도 알루미나 고순도 알루미나
튜브 치수 외경: 60mm x 내경: 54mm x 길이: 1000mm 외경: 80mm x 내경: 74mm x 길이: 1000mm
최대 가열 온도 1550°C 1550°C
연속 온도 (공기) 1500°C 1500°C
연속 온도 (진공) 1400°C 1400°C
가열 속도 ≤ 10°C/min ≤ 10°C/min
총 가열 구역 길이 390mm 390mm
정온 구역 (+/-1°C) 160mm 160mm
가열 요소 16개 Kanthal GLOBAR SG 1650 SiC 16개 Kanthal GLOBAR SG 1650 SiC
온도 컨트롤러 FA-YD518P-AG (30 세그먼트) FA-YD518P-AG (30 세그먼트)
제어 정확도 +/- 1°C +/- 1°C
진공 밀봉 게이지 및 밸브 포함 SS 플랜지 게이지 및 밸브 포함 SS 플랜지
진공 포트 1/4" 파이프 및 KF25 어댑터 1/4" 파이프 및 KF25 어댑터
최종 진공도 10^-2 torr (기계식) / 10^-5 torr (터보) 10^-2 torr (기계식) / 10^-5 torr (터보)
누설률 < 5 mtorr / min < 5 mtorr / min
입력 전압 208 - 240VAC 단상, 50/60Hz 208 - 240VAC 단상, 50/60Hz
정격 출력 6.0 KW 6.0 KW
규정 준수 CE 인증 CE 인증

이 퍼니스를 선택해야 하는 이유

  • 프리미엄 엔지니어링: Kanthal GLOBAR SiC 가열 요소와 고순도 알루미나 단열재로 제작된 이 장비는 성능 병목 현상이 허용되지 않는 고가동 산업 환경을 위해 설계되었습니다.
  • 탁월한 열 정밀도: 30세그먼트 PID 제어 시스템은 학술지 수준의 연구 및 고위험 산업 생산에 필수적인 정확도와 반복성을 제공합니다.
  • 다양한 공정 환경: 고진공, 불활성 가스 흐름 또는 주변 공기 조건 등 어떤 공정이 필요하든, 통합된 스테인리스 스틸 플랜지 시스템은 모든 열처리 요구 사항을 충족하는 유연한 플랫폼을 제공합니다.
  • 강력한 내구성: 특수 내화 코팅과 이중층 강철 케이싱의 조합은 퍼니스가 실험실에서 수년간 생산적인 자산으로 남아 구조적 및 작동적 무결성을 유지하도록 보장합니다.
  • 전문적인 맞춤화 및 지원: Eurotherm 컨트롤러, LabVIEW 소프트웨어 키트 및 다양한 가스 공급 시스템을 포함한 다양한 옵션 업그레이드를 제공하여 장비가 귀하의 특정 공정 요구 사항에 완벽하게 맞춰지도록 합니다.

귀하의 시설을 열처리 우수성의 최전선에 두십시오. 공식 견적을 받거나 연구 목표를 위한 맞춤형 열 솔루션에 대해 논의하려면 지금 기술 영업팀에 문의하십시오.

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