12존 초장형 분할 튜브 퍼니스 (20피트 석영 튜브 및 최대 온도 1100°C)

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12존 초장형 분할 튜브 퍼니스 (20피트 석영 튜브 및 최대 온도 1100°C)

품목 번호: TU-54

최대 온도: 1100 °C 가열 구역: 12개 독립 구역 총 가열 길이: 6000 mm (20 피트)
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제품 개요

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이 정교한 열처리 시스템은 극도의 가열 길이와 정밀한 분위기 제어가 필요한 대규모 연구 및 산업 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 총 6미터 길이에 걸쳐 12개의 독립적인 가열 존을 통합함으로써, 연구자들에게 복잡한 열 구배를 생성하거나 매우 긴 항온 존을 유지할 수 있는 독보적인 기능을 제공합니다. 이 시스템은 기존 실험실용 퍼니스로는 처리할 수 없는 긴 스트립 시료, 와이어 또는 대용량 재료 배치를 수용하도록 특별히 설계되었습니다. 분할 힌지 구조는 초장형 프로세스 튜브의 설치 및 유지보수를 간편하게 하여 설치 중 부품 손상 위험을 줄여줍니다.

첨단 재료 과학, 야금 및 반도체 산업을 겨냥한 이 장비는 화학 기상 증착(CVD), 초전도 와이어 어닐링, 특수 탄소 구조 합성 등의 공정을 위한 초석 역할을 합니다. 이 장치는 소규모 실험실 실험과 산업 규모 생산 사이의 격차를 해소하며, 연구 도구의 정밀함과 파일럿 플랜트 시스템의 처리 능력을 동시에 제공합니다. 견고한 산업용 부품으로 제작된 이 퍼니스는 진공 밀폐형 석영 튜브와 스테인리스 스틸 플랜지 시스템을 통해 고순도 환경을 제공하며 연속 작동에 최적화되어 있습니다.

신뢰성은 이 열처리 장치의 핵심입니다. 고순도 섬유질 알루미나 단열재부터 모듈식 강철 케이싱에 이르기까지 모든 부품은 고온 열 사이클의 가혹함을 견딜 수 있도록 선택되었습니다. 제어 전자 장치를 전용 캐비닛으로 분리하여 민감한 PID 컨트롤러를 열 스트레스로부터 보호함으로써 장기적인 작동 안정성을 보장합니다. 구매자는 이 시스템이 반복 가능한 결과, 균일한 열 분포, 그리고 진공 또는 제어된 분위기 조건에서의 강력한 성능을 제공한다는 점을 확신하고 투자할 수 있으며, 이는 까다로운 산업 R&D 환경에 없어서는 안 될 자산이 됩니다.

주요 특징

  • 12개의 독립 가열 존: 각 500mm 존에는 전용 PID 컨트롤러와 열전대가 장착되어 있어 전체 6000mm 길이에 걸쳐 열 프로파일을 완벽하게 제어할 수 있습니다.
  • 분할 힌지 퍼니스 구조: 가열 챔버가 길이 방향으로 열려 초장형 프로세스 튜브의 로딩 및 언로딩이 용이하며, 분해 없이 시료 설정을 빠르게 냉각하거나 검사할 수 있습니다.
  • 모듈식 챔버 구조: 물류 효율성을 위해 설계된 이 퍼니스는 모듈식 챔버 설계를 사용하여 초장형 시스템을 섹션별로 배송하고 현장에서 쉽게 조립할 수 있습니다.
  • 첨단 터치스크린 제어: 중앙 집중식 터치스크린 인터페이스가 12개 존을 동시에 관리하며, 온도 프로파일 편집 및 단일 지점에서의 실시간 데이터 모니터링을 위한 사용자 친화적인 플랫폼을 제공합니다.
  • 고순도 섬유질 알루미나 단열재: 챔버는 에너지 효율적인 알루미나 섬유로 라이닝되어 있어 우수한 단열 성능, 낮은 열 저장량, 탁월한 열충격 저항성을 제공합니다.
  • 정밀 진공 플랜지 시스템: 니들 밸브와 압력 게이지가 포함된 스테인리스 스틸 퀵 어셈블리 플랜지가 포함되어 있어 가열 주기 동안 고진공 수준이나 정밀한 가스 분위기를 유지하도록 설계되었습니다.
  • 향상된 가열 요소: 몰리브덴이 도핑된 1300°C 등급 Fe-Cr-Al 합금 요소를 사용하여 최대 20°C/min의 빠른 가열 속도와 고온에서의 긴 수명을 보장합니다.
  • 원격 PC 인터페이스 기능: 내장된 RS485 통신 포트와 특수 소프트웨어를 통해 안전한 거리에서 완벽한 원격 작동, 데이터 로깅 및 레시피 관리가 가능합니다.
  • 통합 안전 보호 장치: 내장된 과열 방지 및 열전대 단선 경보 기능이 있어 결함 발생 시 자동으로 전원을 차단하여 장비와 시료를 보호합니다.
  • 이중층 강철 케이싱: 견고한 공랭식 이중 쉘 구조로 외부 표면 온도를 작업자에게 안전하게 유지하면서 20피트 프레임의 구조적 무결성을 유지합니다.

응용 분야

응용 분야 설명 주요 이점
초전도 와이어 어닐링 제어된 분위기에서 초장형 초전도 필라멘트의 정밀 열처리. 시료를 분할하지 않고 전체 와이어 길이에 걸쳐 균일한 상 형성 달성.
질소 도핑 탄소 합성 구조적 정렬 및 전기 전도도를 최적화하기 위한 촉매의 고온 처리. 메탄올 내성 향상을 위해 1100°C에서 안정적인 Co-N 클러스터 형성 촉진.
CVD / PECVD 공정 긴 기판 또는 다중 웨이퍼에 박막 코팅을 위한 대규모 화학 기상 증착. 18피트 항온 존 덕분에 일관된 막 두께로 대량 처리 가능.
긴 스트립 야금 항공우주 및 자동차 분야에 사용되는 특수 합금 스트립의 열처리 및 응력 제거. 뒤틀림을 방지하고 전체 재료 스트립에 걸쳐 일관된 기계적 특성 보장.
탄소 나노튜브 생산 진공 하에서 다양한 가스 전구체를 사용하는 CNT의 연속 또는 배치 성장. 고순도 석영 환경 내에서 방대한 반응 부피를 제공하여 수율 극대화.
반도체 확산 실리콘 웨이퍼 또는 긴 막대 기판으로의 도펀트 고온 확산. 탁월한 +/- 1°C 정확도로 모든 처리 부품에서 반복 가능한 전자적 특성 보장.
열 구배 연구 결정 성장 또는 재료 상변이 연구를 위한 특정 온도 경사 생성. 12존 제어를 통해 6미터에 걸쳐 선형 또는 비선형 구배 프로그래밍 가능.

기술 사양

매개변수 모델 TU-54 사양
퍼니스 구조 냉각 팬이 포함된 이중층 강철 케이스; 쉬운 설치를 위한 모듈식 설계
단열재 고순도 섬유질 알루미나 단열재
가열 요소 Mo가 도핑된 1300°C 등급 Fe-Cr-Al 합금
최대 온도 1100°C (1시간 미만)
연속 작동 온도 1050°C
최대 가열 속도 ≤ 20°C / min
총 가열 존 12개 독립 존 (각 500mm)
총 가열 존 길이 6000mm (20피트)
항온 존 ~5500mm (18피트), 모든 존 동기화 시 +/- 2°C 이내
프로세스 튜브 치수 용융 석영 튜브: 5" OD x 4.7" ID x 22' L (6500mm)
온도 컨트롤러 12개 PID 채널을 독립적으로 제어하는 터치스크린 디지털 유닛 1대
제어 정확도 +/- 1°C
프로그램 용량 10개 저장 프로그램; 프로그램당 30개 세그먼트
열전대 12 x K-타입 (존당 1개)
통신 포트 RS485 (소프트웨어 포함, PC 연결 가능)
진공 플랜지 니들 밸브, 압력 게이지 및 KF40 포트가 포함된 스테인리스 스틸
총 전력 정격 최대 30 KW
입력 전압 AC 208-240V 단상, 50/60 Hz
안전 기능 과열 및 열전대 단선 보호
규정 준수 CE 인증; 요청 시 NRTL/CSA 가능

TU-54를 선택해야 하는 이유

  • 비교할 수 없는 열 균일성: 12존 제어 구조는 18피트의 거대한 항온 존을 제공하여 대규모 시료가 끝에서 끝까지 동일한 열처리를 받을 수 있도록 합니다.
  • 산업 등급 확장성: 이 시스템을 통해 연구자들은 열 매개변수를 변경하지 않고도 소규모 실험실 테스트에서 파일럿 생산으로 전환할 수 있어 공정 개발 시간을 몇 달씩 단축할 수 있습니다.
  • 정밀 분위기 관리: 고순도 석영 튜브와 진공 밀폐형 플랜지 어셈블리는 정교한 가스 처리를 가능하게 하며, 이는 민감한 재료 합성 및 고순도 어닐링에 필수적입니다.
  • 신뢰할 수 있는 엔지니어링 및 지원: 프리미엄 부품과 모듈성을 고려하여 제작된 이 장치는 수십 년간 사용할 수 있도록 설계되었으며, 현장 인증 및 기술 지원을 받을 수 있습니다.
  • 맞춤형 제어 옵션: 무선 원격 작동부터 통합 수냉식 시스템에 이르기까지, 퍼니스는 귀하의 시설의 특정 안전 및 데이터 요구 사항을 충족하도록 맞춤화될 수 있습니다.

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