제품 개요


이 고성능 5존 열처리 시스템은 첨단 재료과학 연구와 산업 R&D를 위해 설계되었습니다. 5개의 독립 제어 가열 존을 활용하여, 연구자는 매우 안정적이고 길게 확장된 균일 온도 구간을 만들거나 정밀하고 맞춤형인 열 구배를 구현할 수 있습니다. 이러한 유연성은 화학 기상 증착(CVD), 결정 성장, 국부 상변화와 같이 긴 거리에서의 온도 정밀도가 매우 중요한 복잡한 공정에 필수적입니다. 분할형 퍼니스 설계는 빠른 냉각과 처리 튜브에 대한 쉬운 접근을 가능하게 하여 실험실 처리량과 운영 효율을 극대화합니다.
반도체 제조부터 항공우주 금속공학에 이르기까지 다양한 분야를 대상으로 하는 이 퍼니스는 어닐링, 확산, 소결 응용의 핵심 장비입니다. 고진공 또는 특정 분위기 조건에서 운전하든, 이 장치는 오염을 최소화하고 반복 가능한 실험 결과를 보장하는 제어된 환경을 제공합니다. 고순도 섬유상 알루미나 단열재와 이중층 강철 외함의 통합은 내부 챔버가 극한 온도에 도달하더라도 외부 표면은 작업자에게 안전하게 유지되도록 하며, 이는 성능과 실험실 안전 모두에 대한 헌신을 보여줍니다.
신뢰성은 이 시스템 구조의 핵심입니다. 고내구성 부품과 정교한 터치식 제어 인터페이스로 제작되어, 까다로운 환경에서의 연속 운전을 위해 설계되었습니다. B2B 구매팀과 실험실 관리자는 견고한 엔지니어링을 바탕으로 매일 일관된 열 프로파일을 제공할 수 있습니다. 내장된 보호 메커니즘과 표준화된 안전 인증을 갖춘 이 퍼니스는 장기적인 연구 역량에 대한 프리미엄 투자로, 민감한 산업 열처리 공정에 필요한 안정성을 제공합니다.
주요 특징
- 독립 제어 5존 가열: 각 152mm 길이의 5개 개별 가열 존을 갖추고 있습니다. 이 구성은 ±2°C 정확도의 500mm 일정 온도 구간을 만들거나, 특수 재료 합성에 필요한 특정 열 구배를 형성할 수 있게 합니다.
- 고급 터치스크린 인터페이스: PLC 기반 터치스크린 제어 패널이 5개 존을 모두 동기화합니다. 가열, 냉각, 유지용 최대 30개의 프로그래밍 세그먼트를 지원하여, 수동 조정 없이 복잡한 레시피를 간소화하고 높은 공정 재현성을 보장합니다.
- 정밀 PID 온도 제어: 5개의 고감도 K형 열전대를 활용하여, 고급 PID 컨트롤러가 전체 1200°C 운전 범위에서 ±1°C 정확도를 유지하며, 환경 변동과 열부하 변화를 보정합니다.
- 고효율 진공 밀봉: 이 퍼니스는 기계식 압력 게이지와 니들 밸브를 포함한 진공 밀봉 스테인리스 스틸 플랜지 한 쌍을 장착하고 있습니다. 터보펌프와 함께 사용 시 최대 10-4 torr 수준의 진공을 달성하여 고순도 분위기 제어를 지원합니다.
- 에너지 절감형 단열: 챔버는 고순도 섬유상 알루미나 단열재로 라이닝되어 있습니다. 이 낮은 열용량 재료는 열손실과 전력 소비를 줄이는 동시에 더 빠른 승온 속도와 외함 온도 제어 개선을 가능하게 합니다.
- 유연한 처리 튜브 옵션: 다양한 시료 크기와 처리량 요구를 수용하기 위해, 시스템은 외경 80mm, 100mm 또는 130mm의 교체 가능한 석영관을 지원하며, 모두 최적의 열 분포를 위해 표준 길이 1400mm를 제공합니다.
- 강화된 안전 프로토콜: 산업용 신뢰성을 위해 과열 보호 및 열전대 단선 감지 기능이 내장되어 있습니다. 통합 냉각 팬이 있는 이중층 강철 외피는 장시간 고온 사이클 동안 외부를 시원하게 유지합니다.
- 디지털 통신 지원: RS485 통신 포트와 호환 소프트웨어가 장착되어 있어 원격 PC 연결, 데이터 로깅, 열 프로파일의 실시간 모니터링이 가능하며, 이는 R&D 환경의 감사 추적에 필수적입니다.
응용 분야
| 응용 분야 | 설명 | 주요 이점 |
|---|---|---|
| 반도체 도펀트 확산 | 제어된 분위기에서 다존 제어를 활용하여 도펀트를 실리콘 웨이퍼 또는 기판에 주입합니다. | 전체 시료 배치에 걸쳐 매우 균일한 확산 깊이. |
| 화학 기상 증착(CVD) | 진공 상태에서 전구체가 기판 위로 이동하고 증착되도록 열 구배를 생성합니다. | 막 두께와 결정 배향에 대한 정밀한 제어. |
| 재료 소결 | 불활성 또는 환원성 가스 하에서 최대 1200°C의 온도에서 분말 재료를 고체 형태로 치밀화합니다. | 세라믹의 구조적 밀도와 기계적 특성 향상. |
| 합금 어닐링 | 제어된 가열과 특정 냉각 속도를 통해 금속 합금의 내부 응력을 완화합니다. | 항공우주 또는 자동차 부품의 연성 및 인성 향상. |
| 결정 성장 | 용융물 또는 기상으로부터 단결정의 느린 성장을 돕기 위해 정밀한 온도 구배를 유지합니다. | 결함 밀도가 낮고 순도가 높은 우수한 결정 품질. |
| 배터리 소재 연구 | 이온 전도성을 최적화하기 위해 질소 또는 아르곤 환경에서 양극 또는 음극 재료를 열처리합니다. | 다른 재료 배치 전반에 걸친 일관된 전기화학 성능. |
| 구배 열처리 | 시료를 여러 가열 존에 걸쳐 배치하여 하나의 시료에 서로 다른 온도의 영향을 시험합니다. | 상전이 연구를 위한 데이터 수집 가속화. |
기술 사양
| 매개변수 그룹 | 사양 세부 정보 | TU-48 기본값 |
|---|---|---|
| 전원 요구 사항 | 전압 / 주파수 | AC 208-240V 단상, 50/60 Hz |
| 최대 소비 전력 | 8 KW | |
| 회로 보호 | 50A 차단기 필요 | |
| 열 성능 | 최고 온도 | 1200 °C (< 1 hr) |
| 연속 운전 온도 | 1100 °C | |
| 최대 가열 속도 | ≤ 20 °C / min | |
| 온도 정확도 | ± 1 °C | |
| 가열 존 사양 | 존 수 | 5 존 (각 152 mm) |
| 총 가열 존 길이 | 870 mm | |
| 일정 온도 구간 길이 | ~500 mm (± 2 °C 이내) | |
| 열전대 | 5 x K형 (존당 1개) | |
| 튜브 종류 | TU-48-80 | OD 80 x ID 74 x L 1400 mm |
| TU-48-100 | OD 100 x ID 94 x L 1400 mm | |
| TU-48-130 | OD 130 x ID 124 x L 1400 mm | |
| 진공 시스템 | 진공도 (기계식 펌프) | 10-2 torr |
| 진공도 (터보펌프) | 10-4 torr | |
| 플랜지 구성품 | 니들 밸브(1/4"), 기계식 게이지, KF25 포트 제공 | |
| 제어 인터페이스 | 제어 시스템 | PLC 터치스크린 (통합 5존 제어) |
| 프로그램 세그먼트 | 30 세그먼트 (속도, 유지, 냉각) | |
| 연결성 | RS485 통신 포트 | |
| 규격 준수 | 표준 | CE 인증 (요청 시 NRTL 또는 CSA 제공 가능) |
| 특허 참조 | ZL-2011-2-0355777.1 |
이 퍼니스를 선택해야 하는 이유
- 탁월한 열적 유연성: 단일 존 모델과 달리, 이 시스템은 열 프로파일 길이에 대한 절대적인 제어를 제공합니다. 짧고 강한 구배가 필요하든, 500mm에 달하는 대형 균일 구간이 필요하든, 5존 아키텍처는 연구 요구에 맞춰 성능을 확장합니다.
- 프리미엄 엔지니어링 및 안전성: 산업용 분할 퍼니스 하드웨어와 고급 알루미나 섬유 단열재로 구성되어 내구성과 열 효율성을 위해 제작되었습니다. 과열 및 열전대 고장 보호 기능이 포함되어 있어 실험실과 시료의 안전을 보장합니다.
- 직관적인 자동화: 터치스크린 PLC는 5개의 개별 컨트롤러를 관리하는 복잡성을 제거합니다. 이 통합 접근 방식은 가열 속도와 냉각 단계의 원활한 동기화를 가능하게 하여, 복잡한 30세그먼트 레시피에서 작업자 오류 위험을 줄입니다.
- 검증된 고진공 성능: 진공 밀봉 플랜지와 고품질 석영관이 기본 포함되어 있어, 이 시스템은 박스에서 꺼내자마자 고진공 및 제어 분위기 운전에 바로 사용할 수 있으며, 산소 민감 반응을 쉽게 지원합니다.
- 미래 지향적 규격 준수: 이 시스템은 CE 인증을 받았으며 NRTL 또는 CSA 표준으로 업그레이드할 수 있어, 높은 규격 준수가 요구되는 산업 환경과 전 세계 학술 기관에 적합합니다.
당사의 기술팀은 귀하의 특정 분위기 및 열 요구 사항에 맞는 이상적인 퍼니스 구성을 지원할 준비가 되어 있습니다. 고온 연구 또는 생산 시설을 위한 견적 요청이나 맞춤화 옵션 상담을 원하시면 오늘 THERMUNITS에 문의하십시오.
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