제품 개요
이 고성능 분할형 튜브 퍼니스는 현대 재료 과학 및 산업 R&D 분야의 열처리 공정에서 핵심적인 역할을 합니다. 최대 1200°C까지의 정밀한 열처리 프로토콜을 수행하도록 설계된 이 시스템은 열 환경에 대한 엄격한 제어가 필요한 연구자들에게 다목적 플랫폼을 제공합니다. 분할 힌지 구조를 채택하여 처리 챔버에 쉽게 접근할 수 있으며, 섬세한 샘플 배치를 방해하지 않고도 반응 튜브, 복잡한 센서 설정 또는 사전 조립된 실험 구성 요소를 빠르게 삽입할 수 있습니다.
주로 화학 기상 증착(CVD), 소결 및 어닐링 공정에 사용되는 이 시스템은 반도체 개발, 배터리 연구 및 첨단 세라믹 공학 분야의 필수 도구입니다. 고진공 상태에서 제어된 불활성 가스 흐름에 이르기까지 다양한 대기 조건에서 작동할 수 있어 산화나 환경 오염 물질에 민감한 고순도 재료를 합성하는 데 이상적입니다. 견고한 구조는 학술 실험실과 산업 파일럿 라인 모두의 엄격한 요구 사항을 충족합니다.
신뢰성은 이 장치 설계의 핵심입니다. 장기적인 작동 일관성에 중점을 두고, 사용자 보호 및 열 사이클의 무결성을 보장하는 고급 안전 기능과 고등급 단열재를 통합했습니다. UL 및 CSA 표준을 충족하는 구성 요소의 포함은 품질 및 규정 준수에 대한 의지를 강조하며, 조달 팀과 실험실 관리자에게 이 장비가 모든 고위험 연구 환경의 까다롭고 지속적인 사용 조건에서도 안정적으로 작동할 것이라는 확신을 제공합니다.
주요 특징
- 정밀 PID 온도 조절: 통합 디지털 컨트롤러는 자동 튜닝 기능이 있는 정교한 비례-적분-미분(PID) 로직을 사용하여 ±1°C 이내의 온도 안정성을 유지하며, 복잡한 램핑 및 드웰링을 위해 30개의 프로그래밍 가능한 세그먼트를 제공합니다.
- 고급 분할 힌지 구조: 퍼니스 케이싱은 내장된 안전 인터록 메커니즘이 있는 분할 커버 디자인을 특징으로 하며, 도어가 열리면 가열 요소의 전원을 자동으로 차단하여 우발적인 노출을 방지하고 작업자의 안전을 보장합니다.
- 향상된 단열 성능: 고순도 섬유질 알루미나 단열재를 사용하여 열 손실을 최소화하고 에너지 효율을 극대화하며, 내부 라이너와 가열 요소의 특수 내화 코팅은 장치의 작동 수명을 크게 연장합니다.
- 고성능 가열 요소: Mo-도핑된 Fe-Cr-Al 합금 가열 요소는 불활성 분위기에서 고온 사이클 동안 변형에 저항하면서 최대 20°C/min의 빠른 가열 속도를 제공하도록 설계되었습니다.
- 이중층 안전 케이싱: 헤비 듀티 이중층 강철 케이싱은 능동형 공랭 시스템을 통합하여 외부 표면 온도를 60°C 미만으로 유지하며, 1200°C의 최고 작동 온도에서도 안전한 접촉 환경을 보장합니다.
- 다양한 진공 및 분위기 제어: 니들 밸브, 기계식 압력 게이지 및 KF-25 포트가 특징인 스테인리스 스틸 304 진공 밀봉 플랜지를 갖추고 있어, 적절한 펌핑 시스템과 결합 시 10E-5 torr까지의 진공 수준을 지원합니다.
- 유연한 튜브 구성: 이 시스템은 60mm에서 100mm까지 다양한 석영 튜브 직경을 수용하도록 설계되어, 연구자들이 새로운 퍼니스 장치를 구매하지 않고도 실험 규모를 조정하거나 처리 용량을 변경할 수 있습니다.
- 통합 데이터 통신: 표준 DB9 PC 통신 포트와 포함된 소프트웨어를 통해 열 사이클의 원격 모니터링 및 데이터 로깅이 가능하며, 이는 R&D 분야의 문서화 및 공정 최적화에 매우 중요합니다.
응용 분야
| 응용 분야 | 설명 | 주요 이점 |
|---|---|---|
| CVD / PECVD 시스템 | 제어된 가스 환경에서 박막, 탄소 나노튜브 및 그래핀과 같은 2D 재료 성장. | 정밀한 가스 흐름과 온도 균일성으로 고품질의 반복 가능한 박막 성장 보장. |
| 반도체 어닐링 | 전기적 특성을 수정하거나 결정 결함을 복구하기 위한 실리콘 웨이퍼 또는 화합물 반도체의 열처리. | 고순도 석영 환경에서의 빠른 가열 및 냉각 기능으로 오염 방지. |
| 배터리 재료 합성 | 불활성 질소 또는 아르곤 분위기에서 양극/음극 분말의 하소 및 소결. | 열처리 과정 중 산화를 방지하여 엄격한 화학적 화학양론 유지. |
| 세라믹 소결 | 고온에서 기술 세라믹 분말을 고밀도 부품으로 압축. | 고순도 알루미나 단열재로 교차 오염을 방지하고 재료 무결성 보장. |
| 촉매 특성 분석 | 효율성과 수명을 결정하기 위해 다양한 온도 및 가스 유량에서 촉매 재료 테스트. | 이중 니들 밸브 플랜지로 반응성 가스 전구체의 정밀한 제어 가능. |
| 진공 야금 | 용해된 가스를 제거하기 위해 저압 환경에서 특수 합금을 용해하거나 열처리. | 고진공 기능(10E-5 torr)으로 항공우주 및 의료용 합금에 대한 초청정 공정 보장. |
기술 사양
| 매개변수 | TU-23 기술 세부 정보 |
|---|---|
| 모델 식별자 | TU-23 시리즈 (UL/CSA 구성 가능) |
| 입력 전압 | 208 - 240VAC 단상, 50/60Hz |
| 정격 출력 | 3KW (회로 차단기: 20A) |
| 최대 가열 온도 | 1200°C (튜브 내부 불활성 가스 필요) |
| 진공 가열 제한 | 1000°C (진공 조건 하) |
| 권장 가열 속도 | ≤ 20°C / min |
| 온도 정확도 | +/- 1 ºC |
| 가열 구역 길이 | 전체: 440mm; 균일 구역: 150mm (+/- 2°C) |
| 열 균일성 | +/- 10°C @ 1000°C (중심 320mm); +/- 5°C @ 1000°C (중심 220mm) |
| 온도 컨트롤러 | 30개 프로그래밍 가능 세그먼트; PID 제어; 자동 튜닝; 내장 알람 |
| 옵션 컨트롤러 | Eurotherm 3004 (±0.1°C 정확도), RS485-USB 통신 포함 |
| 열전대 유형 | K-타입 (길이 6인치, 외경 3mm, 세라믹 피복) |
| 석영 튜브 옵션 1 (TU-23-60) | 60mm 외경 x 55mm 내경 x 1000mm 길이 |
| 석영 튜브 옵션 2 (TU-23-75) | 76mm 외경 x 70mm 내경 x 1000mm 길이 |
| 석영 튜브 옵션 3 (TU-23-80) | 80mm 외경 x 74mm 내경 x 1000mm 길이 |
| 석영 튜브 옵션 4 (TU-23-100) | 101mm 외경 x 92mm 내경 x 1000mm 길이 |
| 진공 플랜지 | 이중 SS 304; 1/4" 피드스루; KF-25 포트; 니들 밸브; 바브 피팅 |
| 진공 압력 성능 | 10E-2 torr (기계식 펌프); 10E-5 torr (터보 펌프) |
| 표준 단열재 | 섬유질 세라믹 블록 포함 (석영 블록 선택 사항) |
| 제품 치수 | 600mm(길이) × 440mm(너비) × 550mm(높이) |
| 순중량 | 40 kg |
| 규정 준수 | CE 인증; 요청 시 NRTL 또는 CSA 제공 가능 |
이 고온 분할형 튜브 퍼니스를 선택해야 하는 이유
- 타협 없는 안전 표준: 이 장비는 인터록 보호 장치와 고급 냉각 케이싱을 갖추어 국제 안전 인증을 충족하거나 능가하도록 제작되었으며, 유동 인구가 많은 학술 및 산업 실험실에 적합합니다.
- 확장 가능한 처리 환경: 고정 직경 퍼니스와 달리 이 시스템의 모듈성은 다양한 석영 튜브 크기를 통합할 수 있어, 연구자들이 상당한 자본 지출 없이도 변화하는 프로젝트 요구 사항에 적응할 수 있는 유연성을 제공합니다.
- 우수한 열 관리: Mo-도핑된 요소와 고등급 알루미나 단열재를 사용하여 장치는 뛰어난 온도 균일성과 에너지 효율성을 제공하며, 모든 배치에서 일관된 재료 특성을 보장합니다.
- 정밀 엔지니어링 및 지원: 각 장치는 1년 제한 보증 및 평생 기술 지원을 제공하며, 고온 열처리의 미묘한 차이를 이해하는 전문가들이 귀하의 투자를 보호합니다.
- 맞춤형 제어 옵션: 표준 고정밀 PID 컨트롤러부터 초정밀 Eurotherm 업그레이드까지, 시스템은 가장 민감한 재료 합성 프로토콜의 특정 해상도 요구 사항을 충족하도록 맞춤화될 수 있습니다.
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