재료 연구 및 CVD 공정을 위한 고온 듀얼 존 진공 튜브 퍼니스

제품 개요

이 고온 듀얼 존 진공 튜브 퍼니스는 정교한 재료 과학 연구 및 산업 R&D를 촉진하기 위해 설계된 열 공학의 정점입니다. 단일 수평 튜브 내에 두 개의 별도 가열 구역을 통합함으로써, 이 시스템은 복잡한 온도 구배를 생성하거나 두 개의 개별 열 환경을 동시에 유지할 수 있습니다. 이러한 이중 기능은 화학 기상 증착(CVD), 제어 분위기 소결 및 정밀도와 유연성이 가장 중요한 복잡한 어닐링 사이클에 필수적입니다. 이 장비는 높은 열 효율과 평형 온도 필드를 제공하는 데 중점을 두고 제작되어 모든 시료가 일관되고 반복 가능한 처리를 거칠 수 있도록 보장합니다.

까다로운 실험실 환경을 위해 설계된 이 장치는 고급 가열 요소(특히 이규화 몰리브덴(MoSi2) 및 탄화규소(SiC) 로드)를 조합하여 뛰어난 안정성으로 고온에 도달합니다. 이중 쉘 구조는 외부 환경으로의 열 손실을 최소화하여 작업자 안전을 위해 낮은 표면 온도를 유지하는 동시에 에너지 효율을 향상시킵니다. 대상 산업 분야로는 반도체 제조, 첨단 세라믹, 항공우주 야금 및 대학 연구 기관이 있습니다. 이 시스템은 연속적인 고온 작동 하에서도 안정적인 서비스를 제공하도록 설계되어 연구원들이 하드웨어 고장 없이 장시간 실험을 수행할 수 있도록 합니다.

이 장비는 단순한 퍼니스가 아니라 완벽한 열처리 솔루션입니다. 통합 소프트웨어 제어, 정교한 진공 관리 및 다층 안전 기능을 통해 현대적인 재료 합성을 위한 강력한 플랫폼을 제공합니다. 진공 어닐링을 수행하든 고온 환원 공정을 수행하든, 이 장치는 설정된 열 프로파일을 엄격하게 준수합니다. 고순도 알루미나 다결정 섬유 단열재의 통합은 빠른 열 반응과 열 충격에 대한 저항성을 보장하여, 높은 처리량과 타협하지 않는 정확한 열처리 프로토콜이 필요한 실험실에 필수적인 자산으로 자리매김합니다.

주요 특징

• 독립적인 듀얼 존 제어: 이 시스템은 독립적으로 제어할 수 있는 두 개의 개별 가열 구역을 특징으로 합니다. 이를 통해 사용자는 각 구역에 서로 다른 온도를 설정하여 복잡한 열 구배 실험을 수행하거나, 동기화 시 더 크고 안정적인 일정한 온도 구역을 제공할 수 있습니다.
• 고급 하이브리드 가열 요소: 첫 번째 구역은 프리미엄 1800 등급 이규화 몰리브덴(MoSi2) 로드를 사용하며, 두 번째 구역은 견고한 탄화규소(SiC) 로드를 통합합니다. 이러한 하이브리드 접근 방식은 넓은 온도 범위에서 퍼니스의 가열 프로파일과 수명을 최적화합니다.
• 정밀 PID 온도 관리: 고급 디지털 계기를 갖춘 이 퍼니스는 30단계 프로그래밍 제어를 제공합니다. ±1°C의 정확도로 지능형 PID 조정을 지원하여 가장 민감한 산업 공정도 엄격한 허용 오차 내에서 유지되도록 합니다.
• 고성능 진공 밀폐: 퍼니스 튜브는 이중 레이어 실리콘 O-링이 장착된 스테인리스 스틸 플랜지로 고정됩니다. 이 수축 가능하고 분리가 쉬운 설계는 탁월한 기밀성을 보장하며, 측정 가능한 압력 손실 없이 12시간 동안 진공 수준을 유지할 수 있습니다.
• 우수한 단열 기술: 챔버는 고품질 알루미나 다결정 섬유로 제작되었습니다. 이 재료는 높은 반사율, 낮은 열전도율 및 분말화 방지 특성 때문에 선택되었으며, 이는 균형 잡힌 온도 필드와 전력 소비의 상당한 감소를 가져옵니다.
• 포괄적인 소프트웨어 통합: 내장된 485 통신 인터페이스를 통해 컴퓨터를 통한 원격 조작이 가능합니다. 포함된 소프트웨어는 PV(공정 값) 및 SV(설정 값)의 실시간 모니터링, 데이터 로깅 및 실험 매개변수의 세심한 문서화를 위한 열 곡선 생성을 가능하게 합니다.
• 다단계 안전 보호: 이 장치에는 퍼니스 개방 시 자동으로 전원을 차단하는 커버 개방 보호 시스템과, 온도가 1200°C를 초과하거나 열전대 결함이 감지될 경우 메인 회로를 차단하는 누전 보호 및 과열 경보 기능이 포함되어 있습니다.
• 맞춤형 가스 공급 인터페이스: 스테인리스 스틸 플랜지에는 정밀 니들 밸브와 압력 게이지가 장착되어 있습니다. 사용자는 소결 또는 환원 테스트 중에 정밀한 분위기 제어를 위해 플로트 유량계 또는 디지털 질량 유량 제어기(MFC)를 쉽게 통합할 수 있습니다.
• 견고한 플랜지 지지 시스템: 전용 플랜지 브래킷이 어셈블리를 지지하여 커런덤 튜브에 가해지는 기계적 응력을 효과적으로 제거합니다. 이 엔지니어링 세부 사항은 무거운 플랜지 무게로 인한 파손을 방지하여 튜브의 서비스 수명을 크게 연장합니다.
• 빠른 열 사이클링: 최대 분당 20°C(권장 10°C/분)의 가열 속도로 빠른 시작과 냉각이 가능하여 실험실 생산성을 높이고 재료 열 특성을 빠르게 탐색할 수 있습니다.

응용 분야

기술 사양

이 듀얼 존 시스템을 선택해야 하는 이유

• 비교할 수 없는 열적 범용성: 고온 1700°C 및 1400°C 구역을 결합함으로써, 이 퍼니스는 단일 구역 퍼니스가 달성할 수 없는 2단계 반응 및 구배 소결을 가능하게 하여 첨단 재료 연구에서 상당한 이점을 제공합니다.
• 산업 등급의 신뢰성: SEMIKRON 사이리스터부터 고순도 다결정 단열재에 이르기까지, 모든 구성 요소는 전문 실험실 환경에서 연속적인 작업 주기를 견딜 수 있는 능력에 따라 선택되었습니다.
• 정밀 설계된 진공 무결성: 당사의 독점적인 이중 링 씰 기술과 스테인리스 스틸 플랜지 브래킷은 시료를 보호하고 분위기 민감 공정의 순도를 보장하는 진공 밀폐 환경을 보장합니다.
• 고급 안전 및 모니터링: 실시간 추적을 위한 통합 소프트웨어와 다중 자동 종료 프로토콜을 통해, 실험실은 사용자와 실험 모두가 보호받고 있다는 확신을 가지고 운영할 수 있습니다.
• 검증된 성능 우수성: 당사의 시스템은 일관성, 에너지 효율성 및 장기적인 내구성으로 인해 세계 유수의 대학 및 산업 연구 시설에서 신뢰받고 있습니다.

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