2D 소재 성장 및 TCVD 합성을 위한 1200C 듀얼 온도 구역 슬라이딩 튜브 퍼니스

제품 개요

이 고성능 듀얼 퍼니스 시스템은 고급 2D 소재 합성 및 복합 박막 증착을 위해 특별히 설계되었습니다. 80mm 공정 튜브 하나에 두 개의 독립적인 퍼니스 장치를 통합함으로써, 이 장비는 승화 및 증착을 위한 정밀한 온도 구배와 차별화된 열 환경을 조성할 수 있습니다. 한쪽 퍼니스는 고정형으로 설계되었으며, 다른 한쪽은 고속 슬라이딩 메커니즘을 갖추고 있어 연구원과 산업 엔지니어가 고온 구역과 상온 환경 사이에서 샘플을 매우 빠르고 반복적으로 이동시킬 수 있습니다.

이 시스템은 열화학 기상 증착(TCVD) 공정, 특히 2D 전이 금속 디칼코게나이드(TMDC) 단층 및 고급 페로브스카이트 미세 결정 생산에 이상적입니다. 전구체 증발 구역과 성장 구역을 분리함으로써, 이 장비는 증기압과 화학양론적 비율에 대해 타의 추종을 불허하는 제어 기능을 제공합니다. 듀얼 구역 구성의 다재다능함은 그래핀, 탄소 나노튜브, 반도체 박막을 연구하는 재료 과학 연구소 및 첨단 R&D 시설에 필수적인 도구가 됩니다.

까다로운 산업용으로 설계된 이 장비는 구조적 무결성과 열적 안정성을 최우선으로 합니다. 고순도 융합 석영, 정밀 설계된 가열 요소, 견고한 선형 슬라이딩 레일 시스템의 조합은 모든 사이클이 일관되고 신뢰할 수 있음을 보장합니다. 이 장치는 진공 또는 제어된 대기 조건에서 지속적인 작동에 필요한 내구성을 제공하여 구매 팀과 연구 책임자에게 장기적인 자본 투자에 대한 완전한 확신을 줍니다.

주요 특징

• 독립적인 듀얼 구역 제어: 이 시스템은 각각 전용 PID 온도 컨트롤러가 장착된 두 개의 개별 가열 장치를 사용하여 열 간섭 없이 별도의 승화 및 증착 온도를 설정할 수 있습니다.
• 슬라이딩 메커니즘을 통한 급속 열처리: 우측 퍼니스는 이중 선형 슬라이딩 레일 시스템에 장착되어 있어 성장 구역에서 멀어질 수 있으며, 약 100°C/min의 초고속 냉각 속도를 달성하여 상 변태를 억제하고 소재의 형태를 보존하는 데 결정적인 역할을 합니다.
• 정밀 선형 운동: 슬라이딩 퍼니스는 수동 속도 및 방향 제어 기능이 있는 200W 전기 모터로 구동되며, 중요한 성장 단계에서 부드럽고 진동 없는 움직임을 위해 크롬 도금 강철 레일로 지지됩니다.
• 고급 다중 구역 고정 퍼니스: 좌측 고정 장치는 3구역 구성(각 152.4mm)을 특징으로 하여, 확장된 일정 온도 구역을 제공하고 전구체 소스 전반에 걸쳐 열 프로파일을 미세 조정할 수 있게 합니다.
• 고순도 석영 공정 환경: 80mm 직경의 융합 석영 튜브는 민감한 반응을 위한 깨끗하고 화학적으로 불활성인 환경을 제공하며, 최대 1000 sccm의 유량과 최대 0.4 bar의 압력을 지원합니다.
• 정교한 열 조절: FA-YD518P-AG 컨트롤러를 탑재하여 램핑, 유지, 냉각을 위한 30개의 프로그래밍 가능한 세그먼트를 제공하며, ±1°C의 정확도를 유지하기 위한 자동 튜닝 기능이 내장되어 있습니다.
• 내구성 있는 가열 기술: 몰리브덴이 도핑된 고품질 Fe-Cr-Al 합금 가열 요소는 최대 1200°C의 작업 온도와 우수한 내산화성을 제공하여 서비스 수명을 연장합니다.
• 진공 통합 기능: 게이지가 통합된 스테인리스 스틸 진공 플랜지가 표준으로 제공되어, 분자 펌프와 결합 시 10E-5 torr 수준의 진공도를 달성할 수 있습니다.
• 포괄적인 안전 모니터링: 이 시스템에는 과열 및 열전대 고장 알람이 내장되어 있어 고온 사이클 동안 장비와 작업자의 안전을 보장합니다.

응용 분야

기술 사양

TU-RT10을 선택해야 하는 이유

• 탁월한 열적 유연성: 고정형 3구역 퍼니스와 슬라이딩형 단일 구역 퍼니스의 독특한 조합은 시장에서 가장 다재다능한 CVD 공정 플랫폼을 제공합니다.
• 입증된 신뢰성: 프리미엄 합금 가열 요소와 견고한 기계적 슬라이딩 시스템으로 제작된 이 장비는 집중적인 R&D 환경에서 긴 수명과 일관된 성능을 발휘하도록 설계되었습니다.
• 정밀 엔지니어링: ±1°C 이내로 유지되는 온도 정확도와 고급 선형 운동 부품을 통해 사용자는 민감한 소재 합성에 대해 매우 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다.
• 확장성 및 맞춤화: 모듈식 설계를 통해 더 높은 정밀도를 위한 Eurotherm 컨트롤러로 업그레이드할 수 있으며, 특정 연구 요구 사항을 충족하기 위해 다채널 가스 공급 시스템과 통합할 수 있습니다.
• 포괄적인 규정 준수: 당사의 시스템은 CE 인증을 받았으며 국제 안전 표준에 따라 제작되어 전문 실험실이나 산업 시설에 쉽게 통합할 수 있습니다.

상세 견적을 원하시거나 특정 소재 합성 요구 사항에 맞춘 맞춤형 구성을 논의하시려면 지금 바로 기술 영업팀에 문의하십시오.