4채널 가스 혼합 및 진공 시스템을 갖춘 100mm/80mm 이중 튜브 CVD 슬라이딩 퍼니스

제품 개요

이 고성능 열처리 시스템은 고급 화학 기상 증착(CVD) 응용 분야를 위해 설계되었으며, 특히 금속 호일 위에 박막 및 그래핀을 성장시키는 데 최적화되어 있습니다. 독특한 이중 튜브 구조를 활용하여 반응 환경을 정밀하게 제어할 수 있습니다. 이 시스템의 핵심 가치는 차세대 에너지 저장 및 전자 연구의 필수 요구 사항인 금속 기판 위 유연 전극 준비를 처리할 수 있다는 점입니다. 이 장치는 가열, 가스 공급, 진공 제어를 하나의 통합 플랫폼으로 결합하여 재료 과학자를 위한 간소화된 워크플로우를 보장합니다.

이 장비는 2차원 재료 및 나노 기술에 중점을 둔 산업 R&D 환경과 학술 연구소에 특히 적합합니다. 주요 사용 사례로는 대규모 그래핀 필름 생산과 엄격한 분위기 제어가 필요한 복잡한 나노 구조 합성이 있습니다. 이 시스템은 동심 석영 튜브 사이의 좁은 10mm 반응 공간으로 반응 가스를 정밀하게 계량하여 전구체 효율과 필름 균일성을 극대화하는 다목적 환경을 제공합니다. 슬라이딩 메커니즘은 장치의 유용성을 더욱 향상시켜 특정 상 변환 및 고처리량 실험에 필수적인 급속 열 사이클링을 가능하게 합니다.

산업용 등급의 부품으로 제작된 이 퍼니스는 까다로운 조건에서도 타의 추종을 불허하는 신뢰성을 제공합니다. 고순도 알루미나 단열재와 견고한 스테인리스 스틸 진공 플랜지는 고온에서 지속적인 작동을 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 디지털 질량 유량 제어기(MFC)부터 고성능 진공 스테이션에 이르기까지 이 시스템의 모든 측면은 정밀 공학에 대한 의지를 반영합니다. 연구원들은 일상적인 열처리를 수행하든 제어된 분위기에서 복잡한 다단계 CVD 합성 공정을 수행하든 관계없이 이 장치를 통해 일관되고 재현 가능한 결과를 얻을 수 있습니다.

주요 특징

• 동심 이중 튜브 구조: 이 시스템은 직경 100mm의 외부 튜브와 내부에 매달린 직경 80mm의 내부 튜브를 사용하여 10mm의 반응 간극을 생성합니다. 이 간극에 금속 호일 기판을 감아 최적의 CVD 표면적과 가스 상호작용을 구현할 수 있습니다.
• 동적 슬라이딩 레일 시스템: 퍼니스 하단에 고성능 슬라이딩 레일이 통합되어 있어 가열 챔버를 샘플 영역에서 빠르게 이동시킬 수 있습니다. 이를 통해 고정식 퍼니스에서는 불가능한 급속 냉각(Quenching)이나 빠른 가열 속도를 구현할 수 있습니다.
• 정밀 4채널 가스 공급: 통합 가스 혼합 스테이션은 다양한 범위(100~500 SCCM)의 4개 디지털 질량 유량 제어기(MFC)를 갖추고 있어, ±1%의 풀스케일 정확도로 전구체 및 캐리어 가스를 복합적으로 혼합할 수 있습니다.
• 고급 PID 열 조절: 이 장비는 30개의 프로그래밍 가능한 세그먼트를 갖춘 정교한 PID 컨트롤러를 사용하여 가열 속도, 유지 시간, 냉각 곡선을 세밀하게 제어하며 ±1°C의 온도 안정성을 유지합니다.
• 통합 진공 및 압력 모니터링: 2단계 로터리 베인 펌프와 10^-4에서 1000 Torr까지 측정 가능한 디지털 진공 게이지가 포함된 종합 진공 스테이션이 제공되어 깨끗하고 제어된 반응 환경을 보장합니다.
• 견고한 수냉식 플랜지: 스테인리스 스틸 304 플랜지에는 통합 수냉식 재킷이 장착되어 있어 고진공 씰을 보호하고 장시간 고온 작동 중에도 구조적 무결성을 유지합니다.
• 최적화된 단열: 가열 챔버는 고순도 Al2O3 섬유 단열재로 구성되어 열 손실을 최소화하고 전체 항온 영역에서 우수한 온도 균일성을 제공합니다.
• 확장 가능한 가열 구성: 단일 및 이중 가열 영역 구성으로 제공되며, 전구체 이송이나 다단계 반응 관리에 필수적인 온도 구배를 독립적으로 제어할 수 있습니다.
• 안전 및 자동화: 내장된 과열 경보 및 자동 보호 기능을 통해 지속적인 감독 없이도 시스템을 안전하게 작동할 수 있어 실험실 효율성을 높이고 운영 위험을 줄입니다.
• 산업용 Swagelok 연결: 모든 가스 입구와 출구는 1/4" Swagelok 튜브 커넥터를 사용하여 누출 없는 성능을 보장하며 표준 산업용 가스 처리 인프라와 호환됩니다.

응용 분야

기술 사양

TU-RT12를 선택해야 하는 이유

• 그래핀 연구를 위한 우수한 공학 설계: 이중 튜브 디자인은 롤투롤(roll-to-roll) 방식의 호일 감기에 최적화되어 있어, 실험실 규모에서 대면적 그래핀 및 2D 재료 합성을 위한 가장 효율적인 구성을 제공합니다.
• 타의 추종을 불허하는 열적 민첩성: 슬라이딩 퍼니스 디자인은 연구원에게 초고속 냉각 속도를 달성하거나 온도 영역 간에 샘플을 즉시 전환할 수 있는 결정적인 능력을 제공하며, 이는 결정 성장 및 상 순도를 제어하는 데 필수적입니다.
• 턴키 가스 및 진공 통합: 광범위한 조립이 필요한 모듈식 설정과 달리, 이 시스템은 완전히 통합된 4채널 MFC 스테이션과 일치하는 진공 펌프 스테이션과 함께 제공되어 첫날부터 고순도 분위기 제어를 보장합니다.
• 장기적인 산업용 사용을 위해 제작: 고성능 모바일 카트부터 고급 스테인리스 스틸 플랜지 및 Al2O3 단열재에 이르기까지 모든 부품은 고부하 R&D 환경에서 내구성과 일관된 성능을 발휘하도록 선택되었습니다.
• 정밀도 및 맞춤화: 단일 또는 이중 영역 제어 옵션과 Eurotherm 컨트롤러 또는 맞춤형 가스 구성을 통합할 수 있는 기능을 통해 이 시스템은 귀하의 특정 CVD 공정 요구 사항에 정확히 맞출 수 있습니다.

기술 상담이나 귀하의 실험실 맞춤형 열처리 요구 사항에 대한 공식 견적을 받으려면 지금 THERMUNITS에 문의하십시오.