고온 CVD 및 진공 어닐링용 이중 온도 구역 이중 커버 튜브 퍼니스

제품 개요

이 고성능 이중 온도 구역 튜브 퍼니스는 재료 과학 연구 및 산업 생산의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 단일화된 유선형 장치 내에 두 개의 독립적인 가열 구역을 결합하여, 연구원들이 복잡한 열 구배를 생성하거나 긴 가열 구간에 걸쳐 매우 안정적인 온도 프로파일을 유지할 수 있는 유연성을 제공합니다. 이중 커버 설계는 접근성을 향상시키는 동시에 열 관리를 최적화하여, 정밀도와 일관성이 무엇보다 중요한 정교한 열처리에 필수적인 장비입니다.

다양성을 고려하여 설계된 이 장비는 고온 소결, 환원 분위기 공정 및 화학 기상 증착(CVD)에 탁월한 성능을 발휘합니다. 항공우주, 반도체 및 첨단 세라믹 산업 전반에서 진공 어닐링 및 제어 분위기 테스트를 수행하는 데 널리 사용됩니다. 견고한 구조와 통합된 안전 기능은 장치가 지속적인 작동 조건에서도 안정적으로 작동하도록 보장하며, 실험실 인력이 감독 없이도 장시간 실험을 수행할 수 있도록 자신감을 제공합니다.

내구성과 성능에 중점을 두고 제작된 이 시스템은 프리미엄 발열체와 고급 단열재를 통합했습니다. 고급 저항선과 진공 성형 알루미나 섬유의 통합은 빠른 가열 속도와 뛰어난 에너지 효율을 보장합니다. 대학의 기초 연구든 산업 연구소의 고위험 재료 개발이든, 이 장비는 가장 민감한 기술 공정에 필요한 열 안정성과 분위기 제어 기능을 제공합니다.

주요 특징

• 프리미엄 스웨덴 Kanthal A1 발열체: 이 장치는 최대 1420°C의 표면 온도에 도달할 수 있는 수입 Kanthal A1 저항선을 사용합니다. 이 발열체는 균형 잡힌 저항과 슬래그 없는 작동을 위해 선택되었으며, 깨끗한 열 환경과 표준 합금선보다 훨씬 긴 수명을 보장합니다.
• 고급 이중 구역 제어: 두 개의 독립적인 온도 구역을 특징으로 하는 이 시스템은 정밀한 열 구배를 생성할 수 있게 합니다. 이는 전구체 기화 및 기판 증착에 서로 다른 별도의 온도가 필요한 물리 기상 수송(PVT)이나 복잡한 CVD 응용 분야와 같은 공정에 매우 중요합니다.
• 고순도 알루미나 섬유 챔버: 퍼니스 챔버는 일본의 첨단 기술을 바탕으로 진공 흡입 및 필터 성형을 통해 제작된 고품질 다결정 알루미나 섬유를 사용하여 구성되었습니다. 이는 낮은 열 질량, 높은 단열 효율 및 열충격에 대한 우수한 저항성을 제공합니다.
• 정교한 PID 온도 조절: 30단계 지능형 PID 컨트롤러를 갖춘 이 시스템은 ±1°C의 제어 정밀도를 유지합니다. 과열 방지, 열전대 고장 경고 및 중단된 지점에서 프로그램을 재개하는 전원 차단 복구 기능을 갖추고 있습니다.
• 이중 쉘 강제 공랭식 냉각: 작업자의 안전과 구조적 수명을 보장하기 위해 퍼니스는 이중 쉘 구조를 특징으로 합니다. 통합된 냉각 팬이 내층과 외층 사이의 공기를 순환시켜 최대 온도 작동 중에도 외부 표면 온도를 45°C 미만으로 유지합니다.
• 포괄적인 안전 인터락: 이 장치에는 자동 커버 열림 보호 시스템이 포함되어 있습니다. 작동 중에 퍼니스 뚜껑이 열리면 릴레이가 즉시 주 전원 공급을 차단하여 사용자를 전기적 위험 및 고온 노출로부터 보호합니다.
• 디지털 통신 및 모니터링: 표준 RS485 인터페이스를 통해 장비를 컴퓨터에 직접 연결할 수 있습니다. 사용자는 매개변수를 제어하고, 실시간 PV(공정값) 및 SV(설정값) 곡선을 확인하며, 기록 분석 및 품질 보증 보고를 위해 온도 데이터를 기록할 수 있습니다.
• 진공 및 분위기 다양성: 이 장비는 다양한 가스 공급 및 진공 시스템과 인터페이스하도록 설계되었습니다. 단순한 불활성 가스 퍼지부터 10⁻³ Pa에 도달하는 고진공 환경까지, 이 시스템은 민감한 재료 처리를 위한 다양한 분위기 요구 사항을 수용합니다.

응용 분야

기술 사양

이 퍼니스를 선택해야 하는 이유

• 타의 추종을 불허하는 열 공학: 스웨덴 Kanthal A1 와이어와 일본식 챔버 형상을 활용하여, 이 시스템은 표준 실험실 퍼니스보다 훨씬 뛰어난 열 안정성을 제공합니다. 균형 잡힌 저항은 고충실도 연구에 필수적인 균일한 온도 필드를 보장합니다.
• 입증된 장기 신뢰성: Semikron 사이리스터 및 진공 흡입 알루미나 섬유와 같은 고품질 부품을 선택하여 장치가 수년간의 고온 작동 스트레스를 견딜 수 있도록 보장합니다.
• 다양한 확장 옵션: 이 장비는 특정 공정 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 진공 시스템(단일 단계 펌프에서 고진공 분자 장치까지) 및 가스 공급 시스템(질량 유량계, 버블러 또는 증발기)으로 맞춤화할 수 있습니다.
• 향상된 작업자 안전: 통합 누전 보호기, 커버 열림 시 전원 차단 및 이중 쉘 냉각 기능을 통해 이 시스템은 현대 산업 및 학술 실험실에 필요한 최고 수준의 안전 표준을 충족합니다.
• 데이터 기반 제어: 컴퓨터를 통해 퍼니스를 모니터링하고 제어하는 기능과 상세한 곡선 그리기 및 데이터 저장 기능은 엄격하게 제어되는 R&D 및 품질 감사 환경에 필요한 문서를 제공합니다.

이 시스템은 정밀도, 안전성 및 내구성을 결합하여 가장 중요한 연구 및 생산 목표를 지원하는 열처리 기술에 대한 프리미엄 투자입니다. 기술 상담이나 특정 실험실 요구 사항에 대한 맞춤형 견적을 원하시면 지금 바로 문의하십시오.