급속 열처리 RTP 분위기 제어 바텀로딩로 1100℃ 고처리량 초당 50℃ 승온 속도

제품 개요

이 급속 열처리(RTP) 시스템은 고속 열처리 기술의 정점을 대표하며, 첨단 재료과학 및 반도체 연구를 위해 특별히 설계되었습니다. 고강도 단파 적외선 가열을 활용하여 최대 50℃/s의 뛰어난 승온 속도를 달성하여 열 예산과 상전이를 정밀하게 제어할 수 있습니다. 이 장치는 바텀로딩 방식으로 설계되어 시료 취급 안전성을 크게 높이고 현대 고처리량 실험실 환경에서 자동화된 로봇 워크플로우와 원활하게 통합할 수 있습니다.

이 장비의 주요 활용 사례는 단일원자 촉매 제조, 최대 6인치 크기 실리콘 또는 화합물 반도체 웨이퍼의 급속 어닐링, 냉각 및 승온 속도가 재료 특성에 결정적인 영향을 미치는 복잡한 소결 공정입니다. 엄격히 제어된 분위기 또는 고진공 조건에서 작동할 수 있는 이 시스템은 나노기술, 에너지 저장 및 전자 부품 연구자에게 없어서는 안될 존재입니다. 견고한 설계는 구조적 무결성이나 공정 재현성을 손상시키지 않으면서 급속 순환에 따른 반복적인 열응력을 견딜 수 있도록 보장합니다.

산업계 및 학계 구매자는 까다로운 R&D 조건에서도 일관된 성능을 기대할 수 있습니다. 정밀 PID 제어, 고순도 석영 용기 및 고급 데이터 기록 소프트웨어의 조합은 실험실 규모의 실험을 산업 파일럿 생산으로 확장하기 위한 안정적인 기반을 제공합니다. 미양압부터 고진공까지 다양하게 활용할 수 있는 분위기 관리 기능은 민감한 화학 기상 증착 및 어닐링 공정에 요구되는 엄격한 기준을 충족합니다.

주요 특징

• 초고속 단파 적외선 가열: 12개의 고출력 단파 적외선 램프가 탑재되어 있어 최대 50℃/s의 승온 속도를 달성합니다. 이를 통해 연구자는 원치 않는 확산을 최소화하고 시간에 민감한 열공정의 처리량을 극대화할 수 있습니다.
• 자동화 바텀로딩 메커니즘: 정밀 수직 시료 장착 시스템은 안정적인 배치를 보장하고 로 챔버의 자동 밀봉을 가능하게 합니다. 이 구성은 깨지기 쉬운 시료에 이상적이며 24시간 연속 운전을 위한 외부 로봇 암과 쉽게 통합할 수 있습니다.
• 고급 분위기 및 진공 제어: 통합 시스템에는 고정밀 저항 진공 게이지가 탑재되어 있으며 미양압 제어(103,000~120,000 Pa)를 지원합니다. 이를 통해 민감한 화학 반응과 재료 합성을 위한 안정적이고 오염 없는 환경을 보장합니다.
• 다중 장치 확장성 및 PC 제어: 독자 소프트웨어는 단일 워크스테이션에서 여러 로 장치를 동시에 제어할 수 있도록 지원합니다. 이 기능은 대규모 고처리량 소결 캠페인을 위해 로봇 시료 배치와 동기화할 수 있는 로 클러스터 배포를 가능하게 합니다.
• 정밀 PID 열관리: 지능형 50구간 프로그래밍 온도 컨트롤러는 ±1℃의 정확도를 유지합니다. 극도의 정밀도가 요구되는 경우 유로썸(Eurotherm) 컨트롤러로 옵션 업그레이드하면 ±0.1℃의 안정성을 제공하여 배치 전반에 걸쳐 완벽한 재현성을 보장합니다.
• 견고한 이중층 챔버 구조: 로는 공기 냉각이 통합된 이중층 스테인리스 스틸 쉘을 사용합니다. 이 설계는 작업자 안전을 위해 외부 온도를 낮게 유지하고 내부 전자 장치와 가열 요소의 수명을 늘려줍니다.
• 고순도 알루미나 섬유 단열재: 고밀도 알루미나 섬유는 뛰어난 단열 성능과 에너지 효율을 제공합니다. 이 소재는 로 라이닝의 열질량을 최소화하여 빠른 응답 속도를 보장합니다.
• 통합 질량 유량 제어(MFC): 시스템에는 0~5000sccm 범위의 MFC가 기본 내장되어 있어 분위기 처리 중 정밀한 가스 공급이 가능하며 처리된 재료의 일관된 화학양론을 보장합니다.
• 포괄적인 데이터 수집: 제공되는 소프트웨어 패키지는 온도 프로파일, 진공도, 가스 유량 등 모든 중요 매개변수를 기록합니다. 이 데이터는 완전한 공정 추적성을 위해 표준 통신 인터페이스를 통해 내보내고 업로드할 수 있습니다.

적용 분야

기술 사양

메인 시스템: TU-DZ11

옵션 로봇 보조 장치

옵션 수냉식 냉각기 & 진공 장치

저희 제품을 선택해야 하는 이유

• 비교할 수 없는 열 속도: 이 장치의 50℃/s 승온 속도는 표준 저항 가열로로는 얻을 수 없는 재료 상을 탐구할 수 있게 하여 연구에서 상당한 경쟁 우위를 제공합니다.
• 산업 4.0 준비 완료: 로봇 통결, 다중 장치 PC 제어 및 오픈소스 소프트웨어 루프를 기본 지원하므로 이 시스템은 수동 실험실 사용에서 완전 자율 24시간 생산 주기로 원활하게 전환할 수 있습니다.
• 정밀 엔지니어링과 밀봉: 고사양 스테인리스 스틸 수냉식 플랜지와 지능형 압력 조절은 최고 수준의 분위기 순도를 보장하여 민감한 시료를 산화나 오염으로부터 보호합니다.
• 확장 가능한 연구 기반: 단일 인터페이스로 여러 장치를 작동할 수 있는 기능은 여러 공정 라인에서 일관되고 재현 가능한 결과가 필요한 확장 중인 연구 시설에 이상적인 선택입니다.
• 뛰어난 제작 품질: 고순도 알루미나 섬유 단열재에서부터 실리콘 제어 정류기(SCR) 전력 조절까지 모든 부품은 고강도 환경에서 장기적인 내구성과 일관된 작동 성능을 위해 선택되었습니다.

귀하의 특정 재료 처리 요구 사항에 맞춘 종합 견적이나 맞춤 구성에 대해 논의하려면 오늘 기술 영업팀에 문의하세요.