제품 개요
이 고성능 열처리 시스템은 빠른 가열 및 냉각 사이클이 필요한 실험실 및 산업 시설을 위해 설계되었습니다. 특수 슬라이딩 메커니즘과 정밀 제어 가열 챔버를 통합하여, 기존 고정식 퍼니스에서는 불가능했던 열 구배 및 급랭 속도를 연구원들이 구현할 수 있도록 합니다. 이 장비의 핵심 가치는 기존의 전용 RTP(급속 열처리) 시스템보다 훨씬 저렴한 비용으로 RTP를 수행할 수 있다는 점이며, 이는 소재 과학 혁신과 고처리량 샘플 테스트에 필수적인 도구입니다.
이 시스템은 주로 첨단 소재 연구, 반도체 공정 및 상변태 연구를 위해 설계되었습니다. 고정된 처리 튜브를 따라 가열 구역을 수동으로 이동할 수 있어, 샘플 위치와 관계없이 퍼니스를 예열한 후 즉각적으로 고온에 노출시킬 수 있습니다. 이 장치는 반도체 웨이퍼 어닐링, 박막 증착 및 저차원 나노 소재 합성 등 열 이력에 대한 정밀한 제어가 필수적인 공정에 자주 사용됩니다.
까다로운 R&D 환경을 견딜 수 있도록 견고한 이중층 강철 구조와 통합 듀얼 냉각 팬을 갖추고 있습니다. 이러한 엔지니어링 접근 방식은 내부 구성 요소가 최고 효율로 작동하는 동안 외부 표면을 안전하게 유지합니다. 고순도 석영 부품과 고급 Mo(몰리브덴) 도핑 합금 발열체를 사용하여 반복적인 고속 슬라이딩 작업 중에도 일관된 열 환경을 제공하며 신뢰성을 더욱 높였습니다. 이 시스템은 최첨단 열처리 및 금속 분석에 집중하는 기관을 위한 내구성 있는 투자입니다.
주요 특징
- 고속 슬라이딩 메커니즘: 이 장비는 정밀하게 설계된 크롬 도금 강철 슬라이딩 레일 쌍 위에 장착되어 총 600mm의 이동 거리를 제공합니다. 이 수동 슬라이딩 기능을 통해 작업자는 예열된 퍼니스를 샘플 위로 이동하거나 샘플에서 멀어지게 하여 특정 분위기 조건에서 분당 최대 100°C 또는 초당 15°C의 가열 및 냉각 속도를 달성할 수 있습니다.
- 고급 PID 열 제어: 이 시스템은 30개의 프로그래밍 가능한 세그먼트를 갖춘 정교한 PID 자동 컨트롤러를 사용합니다. ±1°C의 제어 정확도로 반복 가능한 열 프로파일을 보장합니다. 과열 경보 및 자동 보호 프로토콜이 내장되어 있어 장시간 사이클 동안 무인 작동이 가능합니다.
- 듀얼 열전대 모니터링: 데이터 무결성을 최고 수준으로 보장하기 위해 두 개의 K-타입 열전대가 포함되어 있습니다. 하나는 퍼니스 제어 전용이며, 두 번째는 튜브 내부에 직접 삽입되어 샘플의 실시간 온도 프로파일을 모니터링합니다. 이 구성은 빠른 슬라이딩 기동 중 정확한 열 노출을 문서화하는 데 필수적입니다.
- 프리미엄 석영 처리 튜브: 이 퍼니스는 외경 80mm, 길이 1400mm의 고순도 용융 석영 튜브를 사용합니다. 이 소재는 우수한 열충격 저항성과 화학적 순도를 제공하여 민감한 소재나 특수 가스 환경을 포함하는 공정에 이상적입니다.
- 우수한 진공 및 분위기 제어: 스테인리스 스틸 진공 플랜지와 디지털 진공 게이지가 장착되어 있어 즉시 진공 또는 불활성 가스 사용이 가능합니다. 플랜지는 슬라이딩 과정에서 안정성을 보장하기 위해 고강도 마운트로 지지되며, 통합 니들 밸브를 통해 정밀한 분위기 관리가 가능합니다.
- 향상된 발열체 화학 조성: 발열체는 몰리브덴(Mo)이 도핑된 Fe-Cr-Al 합금으로 제작되었습니다. 이 고급 도핑은 고온에서 발열체의 구조적 무결성을 향상시켜 처짐을 방지하고 빈번한 급속 가열 사이클에서도 긴 수명을 보장합니다.
- 데이터 로깅 및 PC 연결: 모든 장치에는 NIST 인증 온도계와 PC 제어 모듈이 함께 제공됩니다. RS485 인터페이스와 포함된 Windows 소프트웨어를 통해 연구원은 온도 프로파일을 기록, 분석 및 내보낼 수 있어 민감한 실험 데이터에 대한 완전한 추적성을 보장합니다.
- 이중층 안전 구조: 퍼니스 본체는 통합 듀얼 공기 냉각 팬이 있는 이중 쉘 강철 구조를 특징으로 합니다. 이 설계는 전자 장치로부터의 열 방출을 가속화하고 1100°C에서 연속 작동하는 동안에도 외부 표면이 작업자에게 안전한 온도를 유지하도록 합니다.
응용 분야
| 응용 분야 | 설명 | 주요 이점 |
|---|---|---|
| 급속 열처리 (RTP) | 슬라이딩 메커니즘을 사용하여 사전 설정된 온도에서 퍼니스를 샘플 위로 이동. | 열 예산을 최소화하고 반도체 샘플의 원치 않는 확산을 방지. |
| 상변태 연구 | 가열 구역을 멀리 이동시켜 고온에서 실온으로 샘플을 급속 냉각. | 준안정상을 포착하고 금속 공학의 급랭 동역학 연구 가능. |
| 화학 기상 증착 (CVD) | 박막 또는 나노 구조 성장을 위한 열 구역 및 가스 흐름의 정밀 제어. | 고순도 석영과 진공 밀봉으로 오염 없는 고품질 성장 환경 보장. |
| 반도체 어닐링 | 도펀트 활성화를 위한 실리콘 웨이퍼 또는 화합물 반도체의 고속 열 사이클링. | 처리량 증가 및 등온 구역 전반의 균일한 열 분포 보장. |
| 촉매 테스트 | 촉매 소재를 급격한 열충격 및 다양한 가스 환경에 노출. | 극한 조건에서 소재의 내구성과 성능에 대한 고강도 테스트 가능. |
| 탄소 나노튜브 합성 | 제어된 가스 흐름과 급격한 온도 상승을 사용하여 CNT 성장. | 80mm 튜브 직경으로 한 번의 실행으로 여러 기판 또는 벌크 분말 처리 지원. |
| 박막 결정화 | 기판 열화 없이 결정화를 유도하기 위한 비정질 막의 빠른 가열. | 섬세한 기판 소재를 보호하는 높은 가열 속도(15°C/sec) 달성. |
기술 사양
| 사양 항목 | 매개변수 세부 정보 (모델: TU-KT08) |
|---|---|
| 모델 번호 | TU-KT08 |
| 퍼니스 구조 | 듀얼 공기 냉각 팬이 있는 이중층 강철; 1200mm 슬라이딩 레일에서 수동 이동 가능 |
| 슬라이딩 거리 | 600 mm 유효 이동 거리 |
| 최대 온도 | 1200°C (1시간 미만) |
| 연속 온도 | 1100°C |
| 가열 구역 길이 | 440 mm (단일 구역) |
| 등온 구역 | 150 mm (±3°C @ 1000°C) |
| 전력 / 전압 | 2.5 KW; AC 208-240V 단상, 50/60 Hz |
| 발열체 | Mo 도핑 Fe-Cr-Al 합금 |
| 처리 튜브 | 고순도 용융 석영; 외경: 80 mm; 내경: 75 mm; 길이: 1400 mm |
| 온도 컨트롤러 | PID 자동 제어, 30개 프로그래밍 가능 세그먼트, ±1°C 정확도 |
| 열전대 | 듀얼 K-타입 (퍼니스 제어용 1개, 샘플 모니터링용 1개) |
| 데이터 인터페이스 | Windows 소프트웨어 및 NIST 인증 온도계가 포함된 RS485 인터페이스 |
| 진공 플랜지 | 고강도 지지대가 있는 스테인리스 스틸; 니들 밸브 및 디지털 진공 게이지 포함 |
| 최대 가열 속도 | 15°C/sec (RT-150°C); 10°C/sec (150-250°C); 7°C/sec (250-350°C); 4°C/sec (350-500°C) |
| 최대 냉각 속도 | 15°C/sec (1000-950°C); 10°C/sec (950-900°C); 7°C/sec (900-850°C); 4°C/sec (850-750°C) |
| 진공 레벨 | 10E-4 torr (분자 펌프); 10E-2 torr (기계식 펌프) |
| 분위기 안전 | < 0.2 bar / 3 psi / 0.02 MPa (가스 흐름 < 200 SCCM 권장) |
이 퍼니스를 선택해야 하는 이유
- 비교할 수 없는 열 민첩성: 이 시스템은 정밀 수동 슬라이딩 메커니즘과 고출력 발열체 덕분에 표준 장시간 열처리와 초고속 급속 열처리를 모두 수행할 수 있는 유연성을 연구원에게 제공합니다.
- 포괄적인 문서화 기능: 일반 실험실 퍼니스와 달리 이 장치는 듀얼 열전대 모니터링과 NIST 인증 데이터 로깅을 포함하여 모든 열 사이클이 출판 또는 산업 품질 관리 요구 사항을 위해 문서화되도록 보장합니다.
- 견고한 엔지니어링 및 안전성: 낮은 표면 온도를 유지하는 이중층 강철 쉘부터 슬라이딩 중 석영 튜브를 보호하는 고강도 플랜지 지지대에 이르기까지, 모든 구성 요소는 산업 등급의 내구성과 작업자 안전을 위해 설계되었습니다.
- 통합 진공 준비 솔루션: 고품질 스테인리스 스틸 플랜지, 디지털 진공 게이지 및 모든 필수 피팅이 포함되어 있어 설치 즉시 고진공 및 불활성 가스 실험을 수행할 수 있습니다.
- 다재다능하고 확장 가능한 설계: 80mm 외경 튜브를 통해 다양한 샘플 크기와 보트 구성을 수용할 수 있어 금속 공학에서 반도체 박막에 이르기까지 다양한 연구 경로에 적합합니다.
저희 엔지니어링 팀은 귀하의 특정 소재 연구 요구 사항에 이상적인 열 구성 선택을 도와드릴 준비가 되어 있습니다. 이 고성능 슬라이딩 퍼니스 시스템에 대한 기술 상담이나 공식 견적은 지금 문의하십시오.
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