1200C 고온 5인치 슬라이딩 튜브 퍼니스 (급속 열처리 RTP 및 웨이퍼 어닐링용)

제품 개요

이 고성능 열처리 시스템은 현대 재료 과학 및 반도체 연구의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 정교한 슬라이딩 메커니즘을 활용하여 고정식 튜브 퍼니스에서는 불가능한 급속 가열 및 냉각 사이클을 구현합니다. 이러한 기능은 열역학적 특성에 대한 정밀한 제어가 시료의 결정 구조와 전기적 특성을 결정짓는 급속 열처리(RTP)를 수행하는 연구원들에게 필수적입니다. 이 장비의 핵심 가치는 시료를 온도 영역 간에 즉각적으로 이동시킬 수 있는 능력에 있으며, 이를 통해 고처리량 실험 및 첨단 박막 개발을 위한 다목적 플랫폼을 제공합니다.

다양성과 정밀성을 위해 설계된 이 시스템은 반도체 웨이퍼 어닐링, 화학 기상 증착(CVD) 및 금속 상변태 연구를 전문으로 하는 실험실의 핵심 장비입니다. 대구경 석영 튜브를 통합하여 최대 4인치 직경의 웨이퍼를 처리할 수 있어 기초 학술 연구와 산업 R&D 모두에 이상적인 선택입니다. 견고한 구조는 구조적 무결성이나 온도 균일성을 저하시키지 않으면서 반복적인 급속 열 사이클을 견딜 수 있도록 보장하며, 까다로운 산업 환경에서 재현 가능한 결과를 얻는 데 필요한 일관성을 연구원들에게 제공합니다.

신뢰성은 이 장비 설계의 핵심입니다. 이중 레이어 강철 케이싱과 통합 공랭식 기술을 갖춘 이 시스템은 1200°C에서 장시간 작동하는 동안에도 안전한 외부 온도를 유지합니다. 분리형 제어 장치는 원격 작동을 가능하게 하여 민감한 전자 장치를 열로부터 보호하고 실험실 인원에게 더 안전한 작업 환경을 제공합니다. 반응성 금속 어닐링이나 고밀도 세라믹 소결 등 어떤 용도로 사용하든, 이 시스템은 고위험 실험실 및 산업용 열처리 공정에 필요한 성능, 내구성 및 안전 기능을 제공합니다.

주요 특징

• 급속 열역학 관리: 통합된 전기 슬라이딩 모터를 통해 퍼니스가 가변 속도로 석영 튜브를 따라 이동할 수 있으며, 가열 구역을 시료에서 멀어지게 함으로써 최대 2°C/s의 가열 속도와 최대 4°C/s의 급랭/냉각 속도를 구현합니다.
• 첨단 듀얼 PID 제어 시스템: 30개의 프로그래밍 가능한 세그먼트를 갖춘 두 개의 독립적인 PID 자동 컨트롤러가 장착되어 있어, 가열 속도, 유지 시간 및 냉각 곡선을 ±1°C의 정확도로 정밀하게 제어할 수 있습니다.
• 대용량 처리 환경: 5인치 고순도 석영 튜브는 최대 100mm(4인치) 직경의 시료와 웨이퍼를 수용하며, 이동 중 안정적인 재료 위치 지정을 위해 특수 석영 보트가 지원됩니다.
• 강력한 진공 및 분위기 구조: 이중 실리콘 O-링과 디지털 게이지가 장착된 스테인리스 스틸 진공 플랜지는 10^-5 torr까지의 고진공 환경을 촉진하며, 불활성, 환원 또는 진공 분위기가 필요한 공정을 지원합니다.
• 우수한 단열 및 안전성: 능동형 팬 냉각 기능이 있는 이중 레이어 강철 케이싱은 외부 쉘 온도를 60°C 미만으로 유지하며, 내장된 과열 방지 및 열전대 단선 보호 시스템이 장비와 작업자를 보호합니다.
• 정밀 가열 요소: 저항 가열 요소는 300mm 가열 구역과 100mm 균일 온도 구역을 제공하도록 전략적으로 배치되어 작업물 전체에 균일한 열 분포를 보장합니다.
• 디지털 연결 및 원격 모니터링: 포함된 MTS-02 제어 모듈과 RS485 포트는 PC 기반의 완전한 작동을 지원하여 연구원이 데이터를 기록하고, 사이클을 실시간으로 모니터링하며, 복잡한 열 프로파일을 자동화할 수 있게 합니다.
• 산업용 슬라이딩 레일: 이 장비는 고하중 크롬 도금 강철 레일 위를 이동하여 급속 전환 단계에서 섬세한 시료를 보호하는 부드럽고 진동 없는 움직임을 보장합니다.

응용 분야

기술 사양

이 슬라이딩 튜브 퍼니스를 선택해야 하는 이유

• 비교할 수 없는 열적 민첩성: 표준 퍼니스와 달리, 이 장비는 정밀 설계된 슬라이딩 메커니즘을 통해 업계 최고의 가열 및 냉각 속도를 제공하여 사이클 시간을 크게 단축하고 고유한 재료 특성을 구현합니다.
• 연구용 정밀도: 듀얼 PID 컨트롤러와 PC 기반 데이터 수집을 통해 연구원은 모든 열 변수를 완벽하게 제어할 수 있으며, 수백 번의 실행 동안 실험 조건을 정확하게 재현할 수 있습니다.
• 산업용 빌드 품질: 크롬 도금 슬라이딩 레일부터 이중 레이어 강철 케이싱에 이르기까지, 모든 구성 요소는 성능 저하 없이 고부하 환경에서 작동할 수 있도록 선택되었습니다.
• 포괄적인 진공 통합: 고품질 스테인리스 스틸 플랜지와 디지털 진공 게이지가 포함되어 있어, 즉시 민감한 분위기 제어 공정에 사용할 수 있습니다.
• 미래를 위한 적응성: 옵션인 자동 슬라이딩 드라이브와 맞춤형 소프트웨어 구성을 통해 이 장비는 연구 요구 사항과 함께 발전하도록 설계되었으며, 장기적으로 건전한 투자가 될 것입니다.

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