제어 분위기 박막 증착 및 재료 승화 연구용 1200C 슬라이딩 내부 도가니 튜브 퍼니스

제품 개요

이 고성능 열처리 시스템은 제어된 분위기 내에서 정밀한 시료 이동이 필요한 첨단 재료 과학 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 정교한 내부 슬라이딩 메커니즘을 통합함으로써, 이 장비는 연구자들로 하여금 진공 또는 분위기 씰을 깨지 않고도 특정 온도 구배를 통해 시료 또는 승화 소스를 이동시킬 수 있게 합니다. 이 기능은 온도와 위치 간의 관계가 필름 형상 및 성장 속도에 결정적인 고품질 물리적 기상 증착(PVD) 및 이중 기상 증착(DVD) 결과를 달성하는 데 기본적입니다.

엄격한 산업 R&D 환경을 위해 설계된 이 장치는 고온 안정성과 기계적 다양성 모두를 요구하는 복잡한 열처리 사이클을 용이하게 합니다. 이 시스템은 반도체 개발, 나노기술 및 야금학적 상 연구에 중점을 둔 실험실의 초석 역할을 합니다. 견고한 구조로 인해 민감한 실험을 진공 또는 불활성 가스 조건 하에서 반복 가능한 정밀도로 수행할 수 있어, 장기간 실험 프로토콜에 필요한 신뢰성을 제공합니다.

고품질 열 구성 요소와 사용자 안전에 중점을 두고 제작된 이 장비는 까다로운 연속 작동 조건에서도 일관된 성능을 제공합니다. 고급 PID 제어와 자기 구동 위치 지정 시스템의 융합은 내부 도가니의 비침습적 조작을 가능하게 하여 내부 환경의 무결성이 결코 훼손되지 않도록 보장합니다. 이 장치는 열처리 유연성에서의 상당한 도약을 나타내며, 증발, 증착 및 정밀한 열 프로파일링을 위한 통합 솔루션을 제공합니다.

주요 특징

• 통합 자기 슬라이딩 메커니즘: 이 시스템은 외부 자석이 내부 자석 블록을 제어하는 독특한 듀얼 자석 구동 시스템을 사용하여, 시료 홀더를 석영 튜브 길이를 따라 정밀하게 이동시킬 수 있습니다. 이 설계를 통해 사용자는 수동 개입이나 진공 손실 없이 증발 또는 증착을 위한 최적의 온도 위치를 찾을 수 있습니다.
• 고급 NIST 인증 모니터링: 각 장치는 고진공 피드스루를 통해 시료 홀더에 직접 연결된 NIST 인증 정밀 온도 모니터로 표준 장착됩니다. 이는 보고된 온도가 퍼니스 주변 온도가 아닌 시료 위치의 실제 온도임을 보장하여, 중요한 박막 성장을 위한 탁월한 데이터 정확도를 제공합니다.
• 정밀 PID 온도 제어: 이 장비는 비례-적분-미분 논리를 사용하여 ±1°C의 온도 정확도를 유지하는 30-세그먼트 프로그래밍 가능 컨트롤러를 특징으로 합니다. 이 높은 수준의 제어는 미세한 재료 합성에 필요한 상승 속도와 유지 시간을 관리하는 데 필수적입니다.
• 고성능 가열 요소: 퍼니스는 몰리브덴(Mo)으로 도핑된 Fe-Cr-Al 합금 가열 요소를 사용합니다. 이 특정 야금학적 구성은 우수한 산화 및 열 피로 저항성을 제공하여 1200°C까지의 긴 서비스 수명과 빠른 가열 능력을 보장합니다.
• 다양한 분위기 및 진공 제어: KF25 진공 포트와 1/4" 바브 피팅이 장착된 이 시스템은 기계식 펌프를 사용하여 10-2 Torr까지의 진공 수준을 달성할 수 있습니다. 이를 통해 불활성 가스 또는 특정 진공 압력 하에서의 처리가 가능하여 고온 사이클 동안 산화를 방지하는 데 중요합니다.
• 전문 열 절연: 튜브 퍼니스는 챔버 끝에서의 열 복사를 효과적으로 차단하는 두 개의 섬유질 세라믹 튜브 블록을 통합합니다. 이 공학적 선택은 진공 플랜지를 보호하고 튜브 중심부에 안정적이고 균일한 정온 구역을 보장합니다.
• 견고한 석영 구성 요소: 이 시스템은 우수한 내열 충격성 및 화학적 순도를 제공하는 고순도 석영 튜브와 도가니를 포함하여, 최대 1200°C의 처리 온도에서 시료에 오염 물질이 유입되지 않도록 보장합니다.
• 포괄적 안전 시스템: 과온 조건 및 열전대 고장에 대한 내장 보호 모듈이 표준입니다. 이러한 기능은 매개변수가 프로그램된 안전 범위를 벗어나면 자동으로 전원을 차단하여 장비 손상을 방지하고 실험실 안전을 보장합니다.

응용 분야

기술 사양

선택 이유

• 정밀 증착을 위해 설계: 자기 슬라이딩 메커니즘은 박막 연구에서의 추측을 제거하는 전문 도구로, 여러 실험 실행에 걸쳐 열 환경의 정확한 재현을 가능하게 합니다.
• 타협하지 않는 제작 품질: Mo 도핑 가열 요소부터 고순도 알루미나 시료 홀더에 이르기까지 모든 구성 요소는 열화 없이 산업 연구의 엄격함을 견딜 수 있는 능력에 따라 선택됩니다.
• 검증된 데이터 무결성: NIST 인증 모니터링이 표준으로 포함된 이 시스템은 동료 검토 연구 및 산업 품질 관리에 필요한 추적 가능한 데이터 정확도를 제공합니다.
• 모듈식 및 사용자 정의 가능: 이 시스템은 귀하의 연구 요구에 따라 성장할 수 있도록 설계되었으며, PC 기반 제어 모듈, 다중 채널 가스 공급 시스템 및 다양한 진공 구성 지원.
• 우수한 열 효율: 고열전도도 알루미나와 섬유질 세라믹 절연재는 에너지 손실을 최소화하고 열이 필요한 정확한 위치에 집중되도록 하여 민감한 외부 구성 요소를 보호합니다.

당사의 엔지니어링 팀은 귀하의 특정 증착 또는 승화 요구 사항에 맞는 이상적인 열 솔루션을 구성하는 데 도움을 드릴 준비가 되어 있습니다. 이 고급 슬라이딩 튜브 퍼니스 시스템에 대한 기술 상담 또는 공식 견적을 위해 오늘 저희에게 연락하십시오.