4인치 외경 석영 튜브 및 900°C IR 가열 방식의 급속 열처리(RTP) 슬라이딩 튜브 퍼니스

제품 개요

이 고성능 급속 열처리(RTP) 시스템은 현대 재료 과학 연구 및 산업 R&D의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 고강도 적외선(IR) 할로겐 가열 요소와 정밀 제어 슬라이딩 메커니즘을 통합하여, 고급 합성 기술에 필수적인 초고속 열 사이클링을 가능하게 합니다. 이 장치의 핵심 가치는 최대 50°C/s의 극한 가열 속도를 달성하는 동시에 섬세한 박막 성장 및 어닐링 공정에 필요한 열적 안정성을 유지하는 데 있습니다.

주로 그래핀, 탄소 나노튜브(CNT) 및 페로브스카이트 태양전지 성장을 위해 설계된 이 시스템은 화학 기상 증착(CVD) 및 급속 열 어닐링(RTA) 응용 분야에서 탁월한 성능을 발휘합니다. 다재다능한 이 장비는 반도체, 나노기술 및 신재생 에너지 재료를 전문으로 하는 연구소의 핵심 장비입니다. 이 장비는 대기 순도와 열 구배가 정밀하게 관리되는 제어된 환경을 제공하여, 연구자가 기판의 구조적 무결성을 손상시키지 않으면서 가열 단계에서 냉각 단계로 전환할 수 있도록 합니다.

신뢰성은 이 시스템 설계의 최우선 순위입니다. 통합 공랭식 이중층 강철 케이싱을 갖춘 이 장치는 장시간 고온 작동을 견딜 수 있도록 제작되었으며, 외부 표면을 작업자가 안전하게 만질 수 있도록 유지합니다. 고순도 융합 석영 튜브부터 스테인리스 스틸 진공 플랜지에 이르기까지 모든 구성 요소는 진공 및 저압 조건에서의 내구성과 성능을 고려하여 선택되었습니다. 이는 수백 번의 사이클에 걸쳐 일관되고 반복 가능한 결과를 보장하며, 고출력 연구 환경을 위한 신뢰할 수 있는 투자가 됩니다.

주요 특징

• 급속 적외선 할로겐 가열: 8개의 1kW 할로겐 라이트 튜브를 사용하여 업계 최고 수준인 최대 50°C/s의 가열 속도를 달성합니다. 이를 통해 도펀트 확산을 최소화하고 박막에서 특정 결정상을 얻는 데 중요한 즉각적인 온도 상승이 가능합니다.
• 자동 슬라이딩 냉각 메커니즘: 퍼니스는 모터 구동식 이중 레일 슬라이딩 시스템에 장착되어 있습니다. 가열 프로그램이 완료되면 장치가 자동으로 샘플 영역에서 멀어지고, 통합 팬이 능동적인 공랭을 제공하여 10°C/s 이상의 냉각 속도로 급속 냉각(Quenching)이 가능합니다.
• 고급 PID 열 조절: 이 장비는 30개의 프로그래밍 가능한 세그먼트를 갖춘 정교한 PID 자동 컨트롤러를 특징으로 합니다. 이를 통해 사용자는 ±1°C의 온도 정확도로 특정 램프 속도, 유지 시간 및 냉각 시퀀스를 포함한 복잡한 열 프로파일을 정의할 수 있습니다.
• 고순도 석영 공정 환경: 4인치 외경의 공정 튜브는 고순도 융합 석영으로 제작되어 샘플 오염을 제로화합니다. 이 대구경 튜브는 최대 3인치 직경의 웨이퍼를 어닐링할 수 있어 대량 배치 처리를 위한 충분한 공간을 제공합니다.
• 포괄적인 진공 통합: 스테인리스 스틸 진공 플랜지와 디지털 진공 게이지가 장착되어 있어 즉시 고진공 또는 제어된 분위기에서 사용할 수 있습니다. 힌지형 우측 플랜지는 샘플 로딩 및 언로딩을 단순화하여 실험 실행 간의 가동 중단 시간을 크게 줄여줍니다.
• 이중 구역 모니터링 시스템: 두 개의 K-타입 열전대가 사용됩니다. 하나는 퍼니스의 내부 가열 요소를 관리하고 다른 하나는 샘플 영역 내부에 직접 배치됩니다. 이 이중 피드백 루프는 보고된 온도가 재료가 실제로 경험하는 온도임을 보장합니다.
• 향상된 안전 프로토콜: 이 시스템에는 과열 및 열전대 파손에 대한 내장 보호 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 하드웨어 수준의 안전 기능은 무인 작동을 가능하게 하여 긴 어닐링 사이클이나 복잡한 CVD 공정 중에 안심할 수 있도록 합니다.
• 견고한 기계적 인프라: 슬라이딩 테이블은 고토크 DC 모터로 구동되며 크롬 도금 강철 레일로 지지됩니다. 이러한 헤비듀티 구조는 부드럽고 진동 없는 움직임을 보장하며, 이는 급격한 전환 중에 섬세한 샘플의 정렬을 유지하는 데 필수적입니다.

응용 분야

기술 사양

TU-RT01을 선택해야 하는 이유

• 우수한 열적 민첩성: 기존 저항로와 달리, 이 IR 구동 시스템은 현대 나노구조 합성에 필요한 속도를 제공하여 처리 시간을 몇 시간에서 몇 분으로 단축하고 고유한 재료 특성을 구현합니다.
• 정밀 엔지니어링 및 빌드 품질: 모터 구동식 슬라이딩 테이블부터 이중층 냉각 케이싱까지, 이 장치의 모든 측면은 까다로운 실험실 환경에서 산업 등급의 신뢰성과 작업자 안전을 위해 설계되었습니다.
• 포괄적인 공정 제어: 통합 PC 통신 및 샘플 수준 온도 모니터링을 통해 연구자는 표준 튜브 퍼니스에서는 얻을 수 없는 수준의 데이터 로깅 및 공정 반복성을 달성할 수 있습니다.
• 턴키 진공 솔루션: 고품질 스테인리스 스틸 플랜지, 디지털 게이지 및 정밀 니들 밸브가 포함되어 있어 설치 즉시 고진공 응용 분야에 사용할 수 있습니다.
• 입증된 재료 과학 유산: 이 퍼니스 아키텍처는 페로브스카이트 및 그래핀과 같은 최첨단 재료 성장에 사용되는 검증된 도구이며, 최고 수준의 연구 기관에서 입증된 전 세계적인 성능 기록을 보유하고 있습니다.

저희 기술 팀은 귀하의 특정 연구 요구 사항을 충족하도록 이 급속 열처리 시스템을 구성하는 데 도움을 드릴 준비가 되어 있습니다. 상세한 기술 상담이나 공식 견적을 원하시면 지금 바로 문의하십시오.