제품 개요
이 고성능 상부 장입식(top-loading) 진공로는 재료 과학을 전문으로 하는 연구원 및 산업 엔지니어를 위한 고급 열처리를 촉진하도록 설계되었습니다. 대구경 가열 챔버와 정교한 진공 기술을 통합하여, 대기 오염에 민감한 공정에 필수적인 제어 환경을 제공합니다. 이 장비는 스테인리스 스틸과 석영 반응 용기 사이를 원활하게 전환할 수 있도록 설계되어, 특정 프로젝트 요구 사항에 따라 초고진공 수준 또는 더 높은 작동 온도 중 우선순위를 선택할 수 있습니다. 이 제품의 주요 가치는 장시간 가열 주기 동안 탁월한 열 안정성과 진공 무결성을 유지하는 능력에 있으며, 이는 실험실 및 파일럿 규모 생산의 핵심 기반이 됩니다.
이 시스템은 주로 반도체 제조, 항공우주 공학 및 고급 야금 분야에서 활용됩니다. 진공 어닐링, 이종 금속 브레이징, 고순도 세라믹 소결이 필요한 응용 분야에서 뛰어난 성능을 발휘합니다. 듀얼 가열 존 구성을 활용하여 샘플에 균일한 열장을 제공함으로써 내부 응력을 줄이고 가공된 재료의 구조적 무결성을 향상시킵니다. 이는 정밀도와 반복성이 필수적인 새로운 합금, 전자 부품 및 고성능 복합 재료 개발에 특히 적합합니다.
신뢰성은 설계 철학의 핵심입니다. Eurotherm 온도 컨트롤러와 고효율 가열 요소를 포함한 프리미엄급 부품으로 제작된 이 시스템은 까다로운 산업 연구 환경의 엄격함을 견딜 수 있도록 구축되었습니다. 냉각 시스템과 견고한 플랜지 설계는 최대 온도에서도 작동 안전성을 보장하여, 사용자가 복잡한 다단계 열 프로파일을 자신 있게 수행할 수 있도록 합니다. 일상적인 열처리든 최첨단 재료 합성용이든, 이 장치는 현대 제조 및 R&D의 경계를 넓히는 데 필요한 일관된 성능을 제공합니다.
주요 특징
- 다양한 듀얼 재질 챔버 옵션: 사용자는 초고진공 응용 분야(최대 7E-7 torr)를 위한 고내구성 SS310 스테인리스 스틸 챔버 또는 최대 1000°C의 온도가 필요한 응용 분야를 위한 고순도 석영 챔버를 선택할 수 있어 실험 설계에 타의 추종을 불허하는 유연성을 제공합니다.
- 고급 듀얼 존 가열 구조: 이 시스템은 하단 및 측면 가열 요소를 모두 통합하여 3D 열 환경을 조성함으로써, 크거나 복잡한 샘플 형상에 중요한 전체 유효 가열 영역에 걸쳐 우수한 온도 균일성을 보장합니다.
- 정밀 Eurotherm PID 제어: 듀얼 EPC3004 Eurotherm 컨트롤러를 탑재하여 ±0.1°C의 정확도와 분해능을 제공합니다. 이러한 고충실도 제어는 28개의 프로그래밍 가능한 세그먼트를 허용하여 극도의 반복성으로 복잡한 램프 앤 소크(ramp-and-soak) 프로파일을 실행할 수 있게 합니다.
- 초고진공 호환성: 이 장비는 터보 분자 펌프에 직접 연결하도록 설계된 전용 DN63 포트를 갖추고 있습니다. 이 최적화된 흐름 경로는 시스템이 7E-7 torr 수준의 궁극적인 진공 수준에 도달하게 하여 산화 및 잔류 가스 오염을 효과적으로 제거합니다.
- 통합 수냉식 시스템: 고온 작동은 플랜지를 위한 푸시 투 커넥트(push-to-connect) 수냉식 회로에 의해 지원됩니다. 이 보호 조치는 진공 씰의 열 손상을 방지하고 외부 온도를 안전하게 유지하여 장치의 수명을 보장합니다.
- 향상된 단열: 고순도 석영 열 블록을 사용하여 깨끗하고 잘 정의된 어닐링 환경을 조성합니다. 이러한 설계 선택은 열 손실을 최소화하고 단열재에서 처리 구역으로 오염 물질이 이동하는 것을 방지합니다.
- 강력한 안전 및 모니터링: 이 시스템에는 원격 데이터 로깅 및 모니터링을 위한 통합 열전대(K-타입) 및 RS485 통신 포트가 포함되어 있습니다. 설계는 진공 및 대기압 작동에 대한 안전 프로토콜을 엄격히 준수하여 용기가 실수로 과압되는 일이 없도록 합니다.
- 대용량 처리 챔버: 내경 200mm(약 8인치), 높이 350mm의 크기로 상당한 샘플 크기를 수용할 수 있어 소규모 산업 생산 및 다양한 학술 연구 프로젝트에 적합합니다.
응용 분야
| 응용 분야 | 설명 | 주요 이점 |
|---|---|---|
| 진공 어닐링 | 무산소 환경에서 금속 부품의 내부 응력 제거. | 표면의 산화 및 스케일링 방지. |
| 확산 브레이징 | 열과 진공을 사용하여 고성능 합금 및 이종 재료 접합. | 플럭스 없이 고강도, 누설 방지 접합부 생성. |
| 세라믹 소결 | 세라믹 분말을 고밀도 구조 부품으로 통합. | 균일한 밀도와 우수한 기계적 특성 달성. |
| 반도체 처리 | 클린룸 호환 설정에서 웨이퍼 및 기판 재료의 열처리. | 고순도 보장 및 미량 오염 물질 제거. |
| 탈가스 및 아웃가싱 | 진공 상태에서 재료를 가열하여 갇힌 가스나 수분 제거. | 항공우주 및 진공용 재료 안정성 향상. |
| 금속 사출 성형(MIM) | 최종 밀도 및 구조적 정밀도를 달성하기 위한 MIM 부품 후처리. | 일관된 수축률 및 부품 형상 제공. |
| CVD 전처리 | 화학 기상 증착 전 기판 표면 세척 및 준비. | 코팅 접착력 및 막 균일성 향상. |
| 핵 연구 | 엄격하게 제어된 열 조건 하에서 특수 재료 및 동위원소 처리. | 고정밀 격리 및 열 제어 제공. |
기술 사양
| 매개변수 | 스테인리스 스틸 챔버 변형(TU-ZK05-SS) | 석영 챔버 변형(TU-ZK05-Q) |
|---|---|---|
| 제품 품번 | TU-ZK05-SS | TU-ZK05-Q |
| 반응 용기 재질 | 310 스테인리스 스틸(SS310) | 고순도 석영 |
| 용기 치수 | Ø216 × Ø206 × 600H mm | Ø216 × Ø206 × 600H mm |
| 최대 작동 온도 | 800 °C | 1000 °C |
| 궁극 진공도 | ≤ 7E-7 torr (터보 펌프 사용 시) | ≤ 7E-6 torr (터보 펌프 사용 시) |
| 진공 플랜지 유형 | DN200 CF | DN200 ISO-K |
| 가열 존 | 듀얼 (측면 및 하단) | 듀얼 (측면 및 하단) |
| 가열 영역 치수 | ID 250 × H 350 mm | ID 250 × H 350 mm |
| 유효 가열 존 | Ø200 × H 350 mm | Ø200 × H 350 mm |
| 입력 전력 | 208 - 240 VAC, 50/60 Hz, 8 kW | 208 - 240 VAC, 50/60 Hz, 8 kW |
| 가열 요소 | NiCrAl: Mo | NiCrAl: Mo |
| 가열 속도 | ≤ 10 °C/ min | ≤ 10 °C/ min |
| 온도 컨트롤러 | 2x Eurotherm EPC3004 PID | 2x Eurotherm EPC3004 PID |
| 온도 정확도 | ± 0.1 °C | ± 0.1 °C |
| 열전대 | K-타입 | K-타입 |
| 진공 포트 | DN63 (터보 펌프 준비 완료) | DN63 (터보 펌프 준비 완료) |
| 수냉식 필요량 | 5-15 L/min; 1500-2500 btu/h | 5-15 L/min; 1500-2500 btu/h |
| 냉각 연결 | 두 개의 Ø12 mm 푸시 투 커넥트 | 두 개의 Ø12 mm 푸시 투 커넥트 |
| 열 블록 | 석영 Ø204 × 158 mm | 석영 Ø204 × 158 mm |
| 규정 준수 | CE 인증 | CE 인증 |
이 진공로를 선택해야 하는 이유
- 산업 등급 정밀도: Eurotherm EPC3004 컨트롤러를 사용하여 이 시스템은 표준 실험실 요구 사항을 초과하는 온도 안정성(±0.1°C)을 제공하여 연구 데이터의 정확성과 생산 배치의 일관성을 보장합니다.
- 듀얼 존 열 관리: 단일 존 장치와 달리 이 진공로는 하단과 측면 모두에서 열을 가하여 열 구배 문제를 해결하며, 민감한 샘플을 불균일한 팽창이나 국부적 과열로부터 보호하는 균일한 온도장을 제공합니다.
- 극한의 진공 성능: 터보 분자 펌프와의 호환성 및 CF/ISO-K 플랜지 선택을 통해 사용자는 산소에 민감한 재료 및 고순도 야금 공정에 필요한 심층 진공 수준에 도달할 수 있습니다.
- 작동 수명을 위한 설계: 씰을 보호하는 수냉식 플랜지부터 Mo 도핑된 NiCrAl 가열 요소에 이르기까지, 모든 부품은 산업 환경에서 반복적인 열 순환 하에서도 안정적으로 작동할 수 있도록 선택되었습니다.
- 포괄적인 맞춤화 및 지원: 유연한 챔버 옵션을 제공하며 특정 지역 안전 표준을 충족하기 위해 NRTL 또는 CSA 인증을 제공할 수 있어 장비가 귀하 시설의 운영 워크플로우에 완벽하게 통합되도록 합니다.
당사의 엔지니어링 팀은 기술 문의를 지원하거나 귀하의 특정 열처리 요구 사항에 맞춘 시스템에 대한 상세 견적을 제공할 준비가 되어 있습니다. 귀하의 응용 분야에 대해 논의하려면 지금 문의하십시오.
조회를 요청하다
우리의 전문 팀이 영업일 기준 1일 이내에 답변을 드릴 것입니다. 언제든지 연락 주시기 바랍니다!
관련 제품
재료 연구 및 CVD 공정을 위한 고온 듀얼 존 진공 튜브 퍼니스
이 고정밀 듀얼 존 진공 튜브 퍼니스로 실험실 역량을 강화하십시오. 고급 재료 연구 및 CVD 공정을 위해 설계되었으며, 독립적인 온도 제어, 빠른 가열 속도, 견고한 진공 밀폐 기능을 갖추어 일관된 산업 등급의 열처리 결과를 제공합니다.
열처리 및 소결을 위한 석영 챔버가 장착된 1100C 고온 진공 도가니로
이 1100C 진공 도가니로는 정밀한 열처리를 위한 석영 챔버를 특징으로 합니다. 진공 또는 불활성 분위기에서의 소결 및 열처리를 위해 설계되었으며, 재료 과학 연구, 산업 공학 및 전문 R&D 실험실 품질 응용 분야에서 일관된 결과를 제공합니다.
이중 구역 급속 가열 튜브로 고온 진공 분위기 시스템
이 고성능 이중 구역 급속 가열 튜브로는 1200°C의 최대 온도, 분당 100°C의 빠른 승온 속도, 정밀 PID 제어 및 진공 분위기 기능을 제공하여 고급 재료 연구, 소결 및 화학 기상 증착(CVD) 응용 분야에 적합합니다.
용융염 전해 기능 및 3000도 정밀 제어 기능을 갖춘 초고온 유도 가열 진공로
고순도 흑연화 및 세라믹 소결을 위해 설계된 정밀 3000ºC 유도 가열 진공로입니다. 이 다목적 열처리 시스템은 최첨단 유도 기술과 선택 사양인 용융염 전해 기능을 갖추고 있어 오늘날 가장 까다로운 산업 R&D 및 재료 과학 응용 분야에 적합합니다.
재료 과학 및 산업용 열처리를 위한 진공 플랜지 및 프로그래밍 가능한 온도 제어기가 포함된 1100°C 튜브 퍼니스
프로그래밍 가능한 PID 제어기와 고진공 플랜지를 갖춘 이 다목적 1100°C 튜브 퍼니스로 실험실 열처리를 최적화하십시오. 정밀 재료 합성 및 산업용 R&D를 위해 설계되었으며, 이중 방향 유연성과 까다로운 응용 분야를 위한 일관된 온도 균일성을 제공합니다.
1100°C 고온 수직형 진공로, 8인치 석영 챔버 및 수냉식 플랜지 시스템
반도체 웨이퍼 공정을 위한 8인치 석영 챔버와 수냉식 플랜지를 갖춘 최첨단 1100°C 수직형 진공로입니다. 엄격한 재료 연구, 산업용 어닐링 및 하소(calcining) 응용 분야를 위해 고성능 진공 수준과 정밀한 열 제어를 구현하십시오.
고진공 귀금속 용해 및 재료 연구용 1100°C 소형 상부 장입식 수직 진공 튜브 퍼니스
이 1100°C 소형 상부 장입식 수직 진공 튜브 퍼니스는 귀금속 용해 및 재료 연구를 위한 고진공 환경을 제공합니다. 정밀한 PID 제어와 고내구성 발열체를 갖추어 까다로운 실험실 R&D 및 산업용 열처리 분야에서 안정적이고 일관된 성능을 보장합니다.
1800°C 고온 소형 진공 튜브 퍼니스 (60mm 외경 알루미나 튜브 및 Kanthal MoSi2 발열체 포함)
이 1800°C 고온 소형 진공 튜브 퍼니스는 프리미엄 Kanthal 발열체와 60mm 외경 알루미나 튜브를 특징으로 합니다. 재료 연구 및 소결을 위해 설계되었으며, 실험실 R&D를 위한 진공 또는 제어된 분위기 조건에서 정밀한 열처리를 제공합니다.
첨단 소재 공정용 1400°C 고온 콜드 월(Cold Wall) 고진공 챔버 퍼니스
이 1400°C 콜드 월 고진공 챔버 퍼니스로 연구 효율을 극대화하십시오. 수냉식 스테인리스 스틸 용기와 금속 단열재를 갖추어 초청정 공정이 가능하며, 1e-6 torr의 진공도를 달성하여 고순도 열처리 및 첨단 소재 개발에 최적화되어 있습니다.
통합 터보 펌프 시스템과 8인치 가열 구간을 갖춘 1200C 고진공 소형 튜브 퍼니스
이 1200C 고진공 소형 튜브 퍼니스는 10^-5 torr를 달성하는 통합 터보 펌프 시스템을 갖추고 있습니다. 재료과학 R&D에 이상적이며, 정밀한 PID 제어, 8인치 가열 구간, 그리고 가공용 견고한 석영 튜브 구조를 제공합니다.
고진공 터보 분자 펌프 시스템 및 다채널 질량 유량 제어기 가스 믹서가 포함된 1700°C 고온 튜브로
이 첨단 1700°C 고온 튜브로는 정밀 터보 분자 고진공 펌프 시스템과 다채널 질량 유량 제어기(MFC) 가스 믹서를 통합하여, 까다로운 산업 R&D 환경 내 정교한 CVD, 확산 및 재료 연구를 위한 탁월한 성능을 제공합니다.
1750°C 고온 벤치탑 진공 분위기 튜브 퍼니스 (Kanthal Super 1800 발열체 및 60mm 알루미나 처리 튜브 포함)
Kanthal Super-1800 발열체와 고순도 알루미나 튜브를 특징으로 하는 고성능 1750°C 진공 튜브 퍼니스입니다. 정밀 재료 연구에 이상적이며, ±1°C의 정밀도와 30단계 프로그래밍 제어 기능을 제공하여 까다로운 실험실 열처리 및 분위기 제어 소결 공정에 적합합니다.
첨단 소재 소결 및 어닐링용 고온 콜드 월 진공로 1600°C 가열 영역 200x200x300mm
이 고온 콜드 월 진공로는 깨끗한 금속 가열 구역 내에서 1600°C 열처리를 제공합니다. 통합형 워터 칠러와 정밀 Eurotherm 제어 장치를 갖추고 있어, 첨단 야금 및 재료 과학 연구를 위한 오염 없는 환경을 보장합니다.
3존 가열 분리형 수직 튜브로 1700 고온 진공 분위기 열처리 시스템
산업용 R&D 및 재료과학 응용을 위한 고급 1700°C 3존 가열 분리형 수직 튜브로. 이 정밀 시스템은 독립적인 열 제어, 고진공 기능, 에너지 효율적인 단열을 갖추어 일관된 고온 처리와 빠른 시료 담금질 결과를 제공합니다.
분위기 제어 머플 로 1700°C 최고 온도 80L 대용량 진공 불활성 가스 박스형 전기로
첨단 소재 연구를 위한 80L 용량의 고성능 1700°C 분위기 제어 머플 로입니다. MoSi2 발열체와 정밀 PID 제어 기능을 갖추어 산업용 R&D 및 파일럿 생산 공정에서 불활성 가스, 진공 및 산소 환경을 완벽하게 제어합니다.
수직 개방형 튜브로 0-1700℃ 고온 실험실 시스템, CVD 및 진공 열처리용
고급 소재 연구를 위해 설계된 이 1700℃ 수직 개방형 튜브로는 정밀한 3구역 가열 및 급속 냉각 기능을 갖추고 있습니다. CVD 공정 및 진공 어닐링에 이상적이며, 까다로운 R&D 환경을 위한 산업용 등급의 신뢰성, 분위기 제어 및 모듈식 유연성을 제공합니다.
1200°C 듀얼 가열 구역 소형 분할형 튜브 퍼니스 (1" - 2" 튜브 및 진공 플랜지 옵션 포함)
이 1200°C 듀얼 가열 구역 소형 분할형 튜브 퍼니스는 정밀한 온도 구배 제어와 진공 기능을 제공합니다. 재료 과학 R&D를 위해 설계되었으며, 독립적인 PID 컨트롤러, 스테인리스 스틸 플랜지, 에너지 효율적인 섬유 단열재를 갖추어 일관된 실험실 성능을 보장합니다.
소형 고진공 박스형 전기로 1050C 최대 6.2L 세라믹 챔버 스테인리스 스틸 쉘 재료 과학 연구용 프로그래밍 가능 온도 컨트롤러
6.2L 세라믹 챔버와 10-4 torr 성능을 갖춘 이 1050C 진공 박스형 전기로로 실험실 열처리를 최적화하십시오. 제어된 분위기 또는 정밀 진공 환경에서의 소결, 어닐링 및 열처리에 완벽하며, 수준 높은 산업 연구 응용 분야에 적합합니다.
고온 재료 합성을 위한 60mm 외경 알루미나 튜브 탑재 1500°C 최대 듀얼 존 회전식 튜브 퍼니스
이 전문가용 1500°C 듀얼 존 회전식 튜브 퍼니스는 60mm 알루미나 튜브와 정밀 제어 기능을 갖추고 있으며 첨단 재료 합성에 최적화되어 있습니다. 무기 화합물 생산을 위해 설계된 이 제품은 뛰어난 열 균일성, 조절 가능한 틸트 각도, 고진공 공정 기능을 제공합니다.
고온 CVD 및 진공 어닐링용 이중 온도 구역 이중 커버 튜브 퍼니스
Kanthal A1 발열체와 고급 PID 제어 기능을 갖춘 전문 고온 이중 온도 구역 튜브 퍼니스로, 연구 및 산업 분야에 최적화되어 있습니다. 이 시스템은 CVD, 진공 어닐링 및 재료 소결을 위한 정밀한 열처리를 제공하며 탁월한 신뢰성을 자랑합니다.
