제품 개요
이 고성능 상부 장입식(top-loading) 진공로는 재료 과학을 전문으로 하는 연구원 및 산업 엔지니어를 위한 고급 열처리를 촉진하도록 설계되었습니다. 대구경 가열 챔버와 정교한 진공 기술을 통합하여, 대기 오염에 민감한 공정에 필수적인 제어 환경을 제공합니다. 이 장비는 스테인리스 스틸과 석영 반응 용기 사이를 원활하게 전환할 수 있도록 설계되어, 특정 프로젝트 요구 사항에 따라 초고진공 수준 또는 더 높은 작동 온도 중 우선순위를 선택할 수 있습니다. 이 제품의 주요 가치는 장시간 가열 주기 동안 탁월한 열 안정성과 진공 무결성을 유지하는 능력에 있으며, 이는 실험실 및 파일럿 규모 생산의 핵심 기반이 됩니다.
이 시스템은 주로 반도체 제조, 항공우주 공학 및 고급 야금 분야에서 활용됩니다. 진공 어닐링, 이종 금속 브레이징, 고순도 세라믹 소결이 필요한 응용 분야에서 뛰어난 성능을 발휘합니다. 듀얼 가열 존 구성을 활용하여 샘플에 균일한 열장을 제공함으로써 내부 응력을 줄이고 가공된 재료의 구조적 무결성을 향상시킵니다. 이는 정밀도와 반복성이 필수적인 새로운 합금, 전자 부품 및 고성능 복합 재료 개발에 특히 적합합니다.
신뢰성은 설계 철학의 핵심입니다. Eurotherm 온도 컨트롤러와 고효율 가열 요소를 포함한 프리미엄급 부품으로 제작된 이 시스템은 까다로운 산업 연구 환경의 엄격함을 견딜 수 있도록 구축되었습니다. 냉각 시스템과 견고한 플랜지 설계는 최대 온도에서도 작동 안전성을 보장하여, 사용자가 복잡한 다단계 열 프로파일을 자신 있게 수행할 수 있도록 합니다. 일상적인 열처리든 최첨단 재료 합성용이든, 이 장치는 현대 제조 및 R&D의 경계를 넓히는 데 필요한 일관된 성능을 제공합니다.
주요 특징
- 다양한 듀얼 재질 챔버 옵션: 사용자는 초고진공 응용 분야(최대 7E-7 torr)를 위한 고내구성 SS310 스테인리스 스틸 챔버 또는 최대 1000°C의 온도가 필요한 응용 분야를 위한 고순도 석영 챔버를 선택할 수 있어 실험 설계에 타의 추종을 불허하는 유연성을 제공합니다.
- 고급 듀얼 존 가열 구조: 이 시스템은 하단 및 측면 가열 요소를 모두 통합하여 3D 열 환경을 조성함으로써, 크거나 복잡한 샘플 형상에 중요한 전체 유효 가열 영역에 걸쳐 우수한 온도 균일성을 보장합니다.
- 정밀 Eurotherm PID 제어: 듀얼 EPC3004 Eurotherm 컨트롤러를 탑재하여 ±0.1°C의 정확도와 분해능을 제공합니다. 이러한 고충실도 제어는 28개의 프로그래밍 가능한 세그먼트를 허용하여 극도의 반복성으로 복잡한 램프 앤 소크(ramp-and-soak) 프로파일을 실행할 수 있게 합니다.
- 초고진공 호환성: 이 장비는 터보 분자 펌프에 직접 연결하도록 설계된 전용 DN63 포트를 갖추고 있습니다. 이 최적화된 흐름 경로는 시스템이 7E-7 torr 수준의 궁극적인 진공 수준에 도달하게 하여 산화 및 잔류 가스 오염을 효과적으로 제거합니다.
- 통합 수냉식 시스템: 고온 작동은 플랜지를 위한 푸시 투 커넥트(push-to-connect) 수냉식 회로에 의해 지원됩니다. 이 보호 조치는 진공 씰의 열 손상을 방지하고 외부 온도를 안전하게 유지하여 장치의 수명을 보장합니다.
- 향상된 단열: 고순도 석영 열 블록을 사용하여 깨끗하고 잘 정의된 어닐링 환경을 조성합니다. 이러한 설계 선택은 열 손실을 최소화하고 단열재에서 처리 구역으로 오염 물질이 이동하는 것을 방지합니다.
- 강력한 안전 및 모니터링: 이 시스템에는 원격 데이터 로깅 및 모니터링을 위한 통합 열전대(K-타입) 및 RS485 통신 포트가 포함되어 있습니다. 설계는 진공 및 대기압 작동에 대한 안전 프로토콜을 엄격히 준수하여 용기가 실수로 과압되는 일이 없도록 합니다.
- 대용량 처리 챔버: 내경 200mm(약 8인치), 높이 350mm의 크기로 상당한 샘플 크기를 수용할 수 있어 소규모 산업 생산 및 다양한 학술 연구 프로젝트에 적합합니다.
응용 분야
| 응용 분야 | 설명 | 주요 이점 |
|---|---|---|
| 진공 어닐링 | 무산소 환경에서 금속 부품의 내부 응력 제거. | 표면의 산화 및 스케일링 방지. |
| 확산 브레이징 | 열과 진공을 사용하여 고성능 합금 및 이종 재료 접합. | 플럭스 없이 고강도, 누설 방지 접합부 생성. |
| 세라믹 소결 | 세라믹 분말을 고밀도 구조 부품으로 통합. | 균일한 밀도와 우수한 기계적 특성 달성. |
| 반도체 처리 | 클린룸 호환 설정에서 웨이퍼 및 기판 재료의 열처리. | 고순도 보장 및 미량 오염 물질 제거. |
| 탈가스 및 아웃가싱 | 진공 상태에서 재료를 가열하여 갇힌 가스나 수분 제거. | 항공우주 및 진공용 재료 안정성 향상. |
| 금속 사출 성형(MIM) | 최종 밀도 및 구조적 정밀도를 달성하기 위한 MIM 부품 후처리. | 일관된 수축률 및 부품 형상 제공. |
| CVD 전처리 | 화학 기상 증착 전 기판 표면 세척 및 준비. | 코팅 접착력 및 막 균일성 향상. |
| 핵 연구 | 엄격하게 제어된 열 조건 하에서 특수 재료 및 동위원소 처리. | 고정밀 격리 및 열 제어 제공. |
기술 사양
| 매개변수 | 스테인리스 스틸 챔버 변형(TU-ZK05-SS) | 석영 챔버 변형(TU-ZK05-Q) |
|---|---|---|
| 제품 품번 | TU-ZK05-SS | TU-ZK05-Q |
| 반응 용기 재질 | 310 스테인리스 스틸(SS310) | 고순도 석영 |
| 용기 치수 | Ø216 × Ø206 × 600H mm | Ø216 × Ø206 × 600H mm |
| 최대 작동 온도 | 800 °C | 1000 °C |
| 궁극 진공도 | ≤ 7E-7 torr (터보 펌프 사용 시) | ≤ 7E-6 torr (터보 펌프 사용 시) |
| 진공 플랜지 유형 | DN200 CF | DN200 ISO-K |
| 가열 존 | 듀얼 (측면 및 하단) | 듀얼 (측면 및 하단) |
| 가열 영역 치수 | ID 250 × H 350 mm | ID 250 × H 350 mm |
| 유효 가열 존 | Ø200 × H 350 mm | Ø200 × H 350 mm |
| 입력 전력 | 208 - 240 VAC, 50/60 Hz, 8 kW | 208 - 240 VAC, 50/60 Hz, 8 kW |
| 가열 요소 | NiCrAl: Mo | NiCrAl: Mo |
| 가열 속도 | ≤ 10 °C/ min | ≤ 10 °C/ min |
| 온도 컨트롤러 | 2x Eurotherm EPC3004 PID | 2x Eurotherm EPC3004 PID |
| 온도 정확도 | ± 0.1 °C | ± 0.1 °C |
| 열전대 | K-타입 | K-타입 |
| 진공 포트 | DN63 (터보 펌프 준비 완료) | DN63 (터보 펌프 준비 완료) |
| 수냉식 필요량 | 5-15 L/min; 1500-2500 btu/h | 5-15 L/min; 1500-2500 btu/h |
| 냉각 연결 | 두 개의 Ø12 mm 푸시 투 커넥트 | 두 개의 Ø12 mm 푸시 투 커넥트 |
| 열 블록 | 석영 Ø204 × 158 mm | 석영 Ø204 × 158 mm |
| 규정 준수 | CE 인증 | CE 인증 |
이 진공로를 선택해야 하는 이유
- 산업 등급 정밀도: Eurotherm EPC3004 컨트롤러를 사용하여 이 시스템은 표준 실험실 요구 사항을 초과하는 온도 안정성(±0.1°C)을 제공하여 연구 데이터의 정확성과 생산 배치의 일관성을 보장합니다.
- 듀얼 존 열 관리: 단일 존 장치와 달리 이 진공로는 하단과 측면 모두에서 열을 가하여 열 구배 문제를 해결하며, 민감한 샘플을 불균일한 팽창이나 국부적 과열로부터 보호하는 균일한 온도장을 제공합니다.
- 극한의 진공 성능: 터보 분자 펌프와의 호환성 및 CF/ISO-K 플랜지 선택을 통해 사용자는 산소에 민감한 재료 및 고순도 야금 공정에 필요한 심층 진공 수준에 도달할 수 있습니다.
- 작동 수명을 위한 설계: 씰을 보호하는 수냉식 플랜지부터 Mo 도핑된 NiCrAl 가열 요소에 이르기까지, 모든 부품은 산업 환경에서 반복적인 열 순환 하에서도 안정적으로 작동할 수 있도록 선택되었습니다.
- 포괄적인 맞춤화 및 지원: 유연한 챔버 옵션을 제공하며 특정 지역 안전 표준을 충족하기 위해 NRTL 또는 CSA 인증을 제공할 수 있어 장비가 귀하 시설의 운영 워크플로우에 완벽하게 통합되도록 합니다.
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