제품 개요
이 첨단 열처리 시스템은 엄격하게 정의된 초청정 환경 내에서 소규모 샘플의 고진공 열처리를 위해 설계되었습니다. 콜드 월(cold-wall) 설계를 채택하여 내부 핫존(hot zone)이 최대 열 임계값에 도달하더라도 외부 쉘은 안전한 작동 온도를 유지합니다. 이러한 구성은 탄소 오염을 제거하고 소재의 무결성을 보존하는 것이 가장 중요한 전문 R&D 분야에 필수적입니다. 이 시스템은 실험 야금, 세라믹 접합 및 전자 부품 제조를 위한 강력한 플랫폼을 제공합니다.
이 장비의 주요 사용 사례는 소재 과학 연구, 특히 진공도와 온도 균일성에 대한 엄격한 기준을 요구하는 산업 분야입니다. 항공우주 부품부터 반도체 기판 공정에 이르기까지, 이 시스템은 대기 가스에 민감하게 반응하는 특수 합금 및 첨단 세라믹을 다룰 수 있도록 설계되었습니다. 이 장치는 소결, 어닐링(풀림), 브레이징과 같은 공정을 위해 제어 가능하고 반복 가능한 환경을 제공하며, 학술 연구소와 산업 파일럿 생산 라인 모두에 적합합니다.
산업용 등급의 신뢰성은 이 열처리 장치의 핵심입니다. 304 스테인리스 스틸 챔버와 몰리브덴 발열체를 포함한 프리미엄 소재로 제작되어, 까다로운 연속 작업 주기에서도 고성능 지표를 유지합니다. 고정밀 전자 제어 장치와 수냉식 보호 시스템의 통합으로 장기적인 작동 일관성을 보장합니다. 구매 담당자는 이 장치가 수년간 안정적인 결과를 제공하여 가동 중단 시간을 최소화하고 중요한 연구 프로젝트의 처리량을 극대화할 수 있음을 확신할 수 있습니다.
주요 특징
- 콜드 월 스테인리스 스틸 구조: 진공 용기는 수냉식 채널이 통합된 전해 연마된 304 스테인리스 스틸로 제작되어 외부 표면이 만져도 차갑게 유지되며 챔버 씰의 열 변형을 방지합니다.
- 전금속(All-Metal) 단열재: 탄소 기반 단열재 대신 6층 금속 반사 차폐막을 사용하여 탄소 오염 위험을 제거했습니다. 이는 고순도 소재 및 산소에 민감한 합금 처리에 이상적입니다.
- 고성능 몰리브덴 가열: 내구성이 뛰어난 몰리브덴 가열 코일을 사용하여 빠른 열 반응을 제공하며, 구조적 저하 없이 반복적인 고온 사이클을 견딜 수 있습니다.
- 우수한 진공 무결성: 고용량 터보 분자 펌프 시스템을 사용하여 1e-6 torr 미만의 궁극 진공도를 달성하도록 설계되어 중요한 열 공정을 위한 초순수 환경을 보장합니다.
- 고급 PID 온도 조절: Eurotherm EPC 3000 시리즈 컨트롤러를 탑재하여 28개의 프로그래밍 가능한 세그먼트와 PID 자동 제어 루프를 통해 탁월한 온도 정확도와 안정성을 제공합니다.
- 정밀 분위기 호환성: 아르곤, 질소, 수소 가스와 완벽하게 호환되며, 다양한 열 사이클 동안 정밀한 분위기 제어를 위한 VCR 벨로우즈 밀폐 니들 밸브를 갖추고 있습니다.
- 향상된 안전성 및 모니터링: 수냉식 전기 피드스루 및 로드락 도어와 같은 기능이 작동 안전성을 제공하며, 열 음극 및 대류 게이지 통합으로 실시간 진공 모니터링이 가능합니다.
- 디지털 통신 지원: 표준 RS485 및 MODBUS RTU 인터페이스를 통해 원격 데이터 로깅 및 외부 실험실 관리 시스템과의 통신이 가능하여 인더스트리 4.0 통합을 지원합니다.
응용 분야
| 응용 분야 | 설명 | 주요 이점 |
|---|---|---|
| 항공우주 소결 | 고강도, 산화에 민감한 니켈 및 티타늄 합금의 열처리. | 1e-6 torr 미만의 환경을 유지하여 취성 방지. |
| 반도체 R&D | 탄소가 없는 고순도 분위기에서의 웨이퍼 및 기판 소재 어닐링. | 탄화수소 오염을 제거하여 우수한 소자 성능 확보. |
| 진공 브레이징 | 산업용 센서를 위한 이종 금속 또는 세라믹-금속 부품 접합. | 깨끗한 표면으로 플럭스 없이 높은 무결성의 접합부 형성. |
| 핵연료 소재 테스트 | 세라믹 연료 및 구조용 피복재의 고온 안정성 테스트. | ±1°C의 정밀 제어로 원자로 조건의 정확한 시뮬레이션 가능. |
| 의료용 임플란트 생산 | 생체 적합성 티타늄 및 코발트-크롬 정형외과 부품의 열처리. | 인체용 임플란트에 필요한 화학적 순도 및 구조적 일관성 보장. |
| 세라믹 동시 소성 | 전자 및 구조용 테크니컬 세라믹의 고온 소성. | 제어된 분위기로 바인더 번아웃 및 치밀화 관리 가능. |
기술 사양
| 구성 요소 | 매개변수 | TU-QF16 사양 |
|---|---|---|
| 전기 | 작동 전력 | 208-240VAC, 3상, 50/60Hz; 12kW |
| 챔버 구조 | 재질 | 전해 연마된 수냉식 스테인리스 스틸 304 |
| 챔버 치수 | 내경 | Ø320 mm x 304 mm |
| 단열재 | 차폐 유형 | 6층 전금속 열 반사 시스 |
| 가열 구역 | 발열체 | 몰리브덴(Mo) 코일 |
| 샘플 용량 | 유효 가열 영역 | Ø150 mm x 172 mm |
| 샘플 용량 | 최대 샘플 크기 | Ø100 mm x 120 mm |
| 열 성능 | 최대 작동 온도 | 1400°C |
| 열 성능 | 온도 균일성 | 샘플 구역 내 ±8°C |
| 열 성능 | 최대 가열 속도 | 분당 <10°C |
| 진공 시스템 | 궁극 진공도 | <1e-6 torr (300L/s 터보펌프 사용 시) |
| 진공 시스템 | 최대 작동 압력 | <1.5 bar |
| 진공 인터페이스 | 포트 | DN100CF(진공), DN40KF(이온 게이지), DN16KF(대류 게이지) |
| 가스 관리 | 입구/출구 밸브 | 1/4" 벨로우즈 밀폐 니들 밸브 2개 (VCR) |
| 온도 제어 | 컨트롤러 모델 | RS485/MODBUS 지원 Eurotherm EPC 3000 시리즈 |
| 온도 제어 | 정확도 | ±1°C |
| 열전대 | 센서 유형 | K 타입 |
| 옵션 칠러 | 냉각 용량 | 26,826 Btu/h (3.5kW 전원 공급 장치) |
| 옵션 칠러 | 펌프 유량 | 최대 75L/min |
| 옵션 펌프 A | 터보 분자 펌프 | 260L/s Pfeiffer Vacuum Turbo |
| 옵션 펌프 B | 배기 펌프 | 240L/min 로터리 베인 또는 200L/min 드라이 스크롤 |
| 규정 준수 | 인증 | CE 인증 (요청 시 NRTL/CSA 가능) |
1400°C 고온 콜드 월 고진공 챔버 퍼니스를 선택해야 하는 이유
- 비교할 수 없는 순도 표준: 전금속 설계(몰리브덴 및 스테인리스 스틸)는 흑연 기반 시스템과 관련된 가스 방출 및 오염 위험을 제거하여 소재 과학 R&D를 위한 최고의 선택입니다.
- 우수한 열 관리: 수냉식 콜드 월 설계는 진공 씰의 무결성과 주변 실험실 환경을 보호하여 고온 작업이 안전성이나 장비 수명을 저해하지 않도록 합니다.
- 재현성을 위한 정밀 제어: 세계 최고의 Eurotherm 제어 시스템을 활용하여 연구자는 매우 반복 가능한 열 프로필을 달성할 수 있으며, 이는 새로운 소재 공정 및 실험 데이터를 검증하는 데 매우 중요합니다.
- 견고한 엔지니어링 설계: 전해 연마된 304 스테인리스 스틸 챔버부터 DN100CF 금속 밀폐 플랜지에 이르기까지 모든 구성 요소는 까다로운 고진공 환경에서 성능을 발휘할 수 있도록 선택되었습니다.
- 확장성 및 맞춤화: 다양한 옵션의 진공 펌프와 수냉식 칠러를 함께 제공하여 특정 예산 및 성능 요구 사항에 맞는 맞춤형 솔루션을 구성할 수 있습니다.
당사의 기술 영업 팀은 이 첨단 진공 시스템을 현재 연구 워크플로우에 통합하는 방법에 대한 상세 상담을 제공할 준비가 되어 있습니다. 기술 평가 및 포괄적인 견적을 원하시면 오늘 문의하십시오.
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