몰리브덴 가열 방식 400mm 큐브 작업 구역 1600°C 콜드월 고진공 챔버 노

진공로

몰리브덴 가열 방식 400mm 큐브 작업 구역 1600°C 콜드월 고진공 챔버 노

품목 번호: TU-ZK04

최고 온도: 1600°C 최종 진공도: <1e-6 Torr 가열 구역 용량: 64 리터 (400x400x400mm)
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제품 개요

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이 고성능 열처리 시스템은 오염이 없는 초청정 환경이 가장 중요한 가장 까다로운 연구 및 산업 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 수냉식 콜드월 설계를 활용하여 내부 가열 구역이 최대 1600°C의 지속적인 온도에 도달하더라도 장비는 낮은 외부 온도를 유지합니다. 이 시스템은 중소형 샘플의 고진공 열처리에 특별히 최적화되어 있어 산화 또는 간질 오염에 민감한 재료를 위한 이상적인 플랫폼을 제공합니다. 견고한 구조는 전체 열 사이클 전체에서 진공 무결성을 유지하여 고급 재료 과학 및 하이엔드 제조에 없어서는 안 될 도구입니다.

주로 야금, 반도체 개발 및 고급 세라믹 분야에서 사용되는 이 장치는 탈가스, 진공 브레이징 및 소결과 같은 공정에 다용도로 활용됩니다. 64리터의 넓은 유효 가열 부피는 복잡한 기하학 또는 특수 부품의 배치 처리에 충분한 공간을 제공합니다. 기업 R&D 연구실 또는 특수 산업 생산 라인에서 사용되든, 이 시스템은 고엔트로피 실리화물 개발 및 기타 정교한 재료 합성 프로토콜에 필요한 정밀도를 제공합니다. 설계는 열 출력과 진공 안정성 사이의 중요한 균형에 초점을 맞추고 있어 모든 사이클이 하이테크 산업의 엄격한 요구 사항을 충족합니다.

프리미엄 산업 등급 부품으로 제작된 이 시스템은 연속 작동 조건에서 비교할 수 없는 신뢰성과 성능을 제공합니다. 전기 연마된 304 스테인리스 스틸 진공 챔버와 전체 금속 가열 구역의 조합은 단열 섬유에서 아웃개싱이 발생하지 않도록 보장하며, 이는 1e-6 torr 미만의 최종 진공을 유지하는 데 필수적입니다. B2B 구매자는 수냉식 자켓의 구조적 무결성과 전체 금속 열 반사 시스의 정밀도가 시스템과 주변 환경을 보호하면서 복잡한 상 변태에 필요한 열 균일성을 제공하는 동안 일관된 재현성을 위해 이 장비를 신뢰할 수 있습니다.

주요 특징

  • 콜드월 진공 기술: 챔버는 전용 수냉식 자켓이 있는 전기 연마된 304 스테인리스 스틸로 제작되어 내부 온도가 극한 수준에 도달하는 동안 외부는 만져도 안전하고 치수적으로 안정적으로 유지됩니다.
  • 전체 금속 단열: 세라믹 섬유 단열 대신 6층 금속 반사 시스 시스템을 활용하여 이 장치는 섬유 기반 오염의 위험을 제거하고 아웃개싱을 크게 감소시키며, 이는 초고진공 수준을 달성하고 유지하는 데 매우 중요합니다.
  • 고급 몰리브덴 가열체: 가열 시스템은 진공 환경에 특별히 설계된 고순도 몰리브덴 코일을 특징으로 합니다. 이 가열체는 1600°C까지의 온도에서 빠른 열 응답과 장기 내구성을 제공합니다.
  • 초고진공 성능: 표준 DN100CF 포트가 장착되어 있고 고용량 터보 분자 펌프와 호환되며, 이 시스템은 1e-6 torr보다 우수한 최종 진공 수준을 달성할 수 있어 민감한 재료를 위한 깨끗한 분위기를 제공합니다.
  • 정밀 유로서모 제어: 이 시스템은 유로서모 EPC 3000 시리즈 컨트롤러를 통합하고 있으며 28세그먼트 프로그래밍 가능 프로필과 PID 자동 제어 루프를 제공하여 ±1°C의 뛰어난 온도 정확도를 달성합니다.
  • 다중 가스 분위기 유연성: 진공에 최적화되어 있지만, 노는 아르곤(Ar), 질소(N2) 및 수소(H2)와 같은 불활성 및 환원 가스와 완전히 호환되므로 단일 시스템 내에서 다양한 분위기 공정이 가능합니다.
  • 최적화된 열 균일성: 내부 몰리브덴 샘플 스테이지와 정밀하게 배치된 가열 코일은 ±8°C의 온도 균일성을 달성하여 대형 배치 로드 또는 복잡한 부품이 균일한 열 분포를 받도록 보장합니다.
  • 견고한 로드록 도어: 수냉식 전면 도어는 고무결성 밀봉과 특수 냉각 기능을 갖추고 있어 오링 열화를 방지하고 수백 사이클에 걸쳐 안정적인 진공 밀봉을 보장합니다.

응용 분야

응용 분야 설명 주요 이점
고엔트로피 실리화물 1600°C에서 고급 실리화물 화합물의 상 변태 및 균질화 산화 분해를 방지하고 단상 정방정 구조를 보장합니다.
내화금속 소결 몰리브덴, 텅스텐 또는 니오븀 분말을 조밀한 부품으로 고화 대기 오염이나 산화 없이 고밀도를 달성합니다.
진공 브레이징 플럭스가 없는 환경에서 고온 용가재를 사용한 특수 금속 부품의 접합 우수한 기계적 강도를 가진 깨끗한 산화물 없는 접합부를 생산합니다.
응력 제거 내부 응력을 제거하기 위한 3D 프린팅 또는 가공 부품의 후처리 표면 조도 무결성을 유지하면서 균열과 뒤틀림을 방지합니다.
반도체 어닐링 결정 결함을 복구하기 위한 웨이퍼 또는 기판 재료의 고온 처리 도펀트 이동이나 오염을 방지하는 초청정 환경을 제공합니다.
세라믹 동시 소성 정밀하게 제어된 진공 수준이 필요한 고급 기술 세라믹의 소결 대기 반응을 방지하여 재료의 화학량론을 유지합니다.
확산 접합 열과 진공 하에서 고체 상태 확산을 통해 동종 또는 이종 재료의 접합 추가 접착제나 용가재 없이도 매끄럽고 고강도 접합을 만듭니다.

기술 사양

특징 사양 세부 정보 (모델: TU-QF17)
전원 공급 460 VAC, 3상, 50/60Hz
총 정격 전력 100 kW
유효 가열 구역 가로 400 x 세로 400 x 깊이 400 mm (64리터)
최대 작동 온도 1600°C
온도 정확도 ±1°C
온도 균일성 ±8°C
최대 가열 속도 <10°C/분
진공 챔버 재료 전기 연마 수냉식 스테인리스 스틸 304
단열 6층 전체 금속 열 반사 시스
가열체 몰리브덴 가열 코일
샘플 스테이지 몰리브덴 구조
최종 진공 수준 <1.0e-6 Torr (300L/s 터보펌프 사용 시)
최대 작동 압력 <1.5 bar
온도 컨트롤러 유로서모 EPC 3000 시리즈 (PID, 28세그먼트)
열전대 유형 B형
통신 포트 원격 모니터링용 RS485, MODBUS RTU
진공 포트 DN100CF (생성), DN40KF (이온화), DN16KF (대류)
가스 입구/출구 2개의 1/4" 벨로우즈 밀봉 니들 밸브 (VCR)
표준 준수 CE 인증 (요청 시 NRTL/CSA 사용 가능)
옵션 진공 게이지 InstruTech IGM402 열음극 이온 게이지 & 대류 게이지
옵션 수냉각기 3.5KW 냉각 용량, 40L 탱크, 75L/min 유량
옵션 펌프 260L/s 터보 분자 펌프, 드라이 스크롤 또는 로터리 베인 백킹 펌프

저희를 선택해야 하는 이유

  • 우수한 진공 무결성: 저희의 전체 금속 가열 구역과 전기 연마된 챔버 표면은 아웃개싱을 최소화하도록 설계되어 있어 공정이 기존 세라믹 라이닝 시스템보다 더 빠르고 안정적으로 초고진공 수준에 도달할 수 있게 합니다.
  • 정밀 엔지니어링: 유로서모 EPC 3000 시리즈 컨트롤러와 B형 열전대를 활용하여 이 장치는 민감한 재료 과학 연구에 필요한 정확한 열 제어를 제공하며 모든 배치에서 재현 가능한 결과를 보장합니다.
  • 산업용 내구성: 수냉식 스테인리스 스틸과 고순도 몰리브덴의 조합은 최대 정격 온도인 1600°C에서 연속 작동하더라도 수년간 노의 구조적 무결성을 유지합니다.
  • 확장 가능하고 맞춤화 가능: 진공 펌프 선택(터보 분자 vs 드라이 스크롤)에서 고용량 수냉각기 추가에 이르기까지, 이 시스템은 특정 연구실 또는 산업 처리량 요구 사항을 충족하도록 맞춤화할 수 있습니다.
  • 포괄적인 준수: 모든 장치는 CE 인증을 받았으며 NRTL 또는 CSA 표준으로 업그레이드할 수 있으므로 조달 팀은 장비가 국제 안전 및 품질 기준을 충족한다는 확신을 가질 수 있습니다.

저희 기술 팀은 특정 응용 분야 요구 사항에 맞는 이상적인 열 솔루션을 구성하는 데 도움을 드릴 준비가 되어 있습니다. 자세한 기술 상담 또는 공식 견적 요청을 원하시면 오늘 문의하세요.

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