초전도 재료용 고진공 압력 챔버 퍼니스 800°C 3.5 Bar 소결 시스템

진공로

초전도 재료용 고진공 압력 챔버 퍼니스 800°C 3.5 Bar 소결 시스템

품목 번호: TU-ZK01

최대 온도: 800°C 최대 압력: 3.5 Bar (0.35 MPa) 사용 가능 작업 공간: 500 x 500 x 500 mm
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제품 개요

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이 고성능 열처리 시스템은 재료 과학 공학의 정점을 보여주며, 고진공 소결과 고압 분위기 처리 사이의 간극을 메우기 위해 특별히 설계되었습니다. 강력한 3.5 bar 압력 기능과 10^-5 torr에 달하는 초고진공을 통합하여, 첨단 기능성 재료의 개발 및 생산을 위한 다목적 환경을 제공합니다. 이 제품의 핵심 가치는 민감한 화학 공정 및 고순도 재료 합성에 필수적인 극도의 청결도와 온도 균일성을 유지하는 능력에 있습니다.

이 시스템은 주로 이트륨 바륨 구리 산화물(YBCO)과 같은 고압 산소 환경 초전도 재료 및 정밀한 분위기 제어가 필요한 기타 특수 세라믹의 열처리를 위해 설계되었습니다. 310S 스테인리스 스틸 챔버는 Class 100 청결도 수준을 보장하여 항공우주, 반도체 및 원자력 분야의 클린룸 통합 연구 개발에 적합합니다. 진공 소결용이든 고압 산화용이든, 이 장치는 가장 까다로운 실험 조건에서도 일관되고 재현 가능한 결과를 제공합니다.

산업 R&D 팀은 이 장치의 뛰어난 구조적 무결성과 정교한 모니터링 시스템을 신뢰할 수 있습니다. 366리터의 전체 챔버 용량 내에 125리터의 대형 가용 입체 작업 공간을 갖추고 있어 소규모 프로토타이핑과 파일럿 생산을 모두 수용합니다. 다중 구역 가열과 고급 PID 제어의 조합은 재료 과학자들이 열 구배를 완벽하게 제어할 수 있도록 하며, 통합된 안전 메커니즘은 고압 작업 중에도 안심할 수 있는 환경을 제공합니다. 이 시스템은 현대 재료 물리학의 한계를 넓히는 연구실을 위한 기초적인 도구입니다.

주요 특징

  • 이중 기능 분위기 제어: 이 시스템은 초고진공(터보 펌프 사용 시 최대 10^-5 torr)과 고압 환경(최대 3.5 bar) 사이를 원활하게 전환하여, 분위기를 깨지 않고 단일 공정 내에서 복잡한 다단계 열 사이클을 수행할 수 있습니다.
  • 초청정 310S 스테인리스 스틸 챔버: 전체 내부 챔버는 고급 310S 스테인리스 스틸로 제작되었으며, 가스 방출을 최소화하고 Class 100 청결 표준을 유지하도록 세심하게 설계되었습니다. 이는 민감한 초전도 및 전자 재료의 오염을 방지하는 데 필수적입니다.
  • 4구역 정밀 가열: 이 장비는 900mm 길이에 걸쳐 3개의 원형 구역과 1개의 하단 구역으로 구성된 정교한 4구역 가열 배치를 특징으로 합니다. 이 구성은 ±10°C의 매우 균일한 온도 필드를 생성하여 500mm 입방체 가용 공간 내 어디에 샘플을 배치하든 동일한 열 조건을 경험하게 합니다.
  • 고압 안전 시스템: 산업 안전을 위해 설계된 이 장치에는 통합 압력 센서와 전자기 압력 릴리프 밸브가 장착되어 있습니다. 이러한 구성 요소는 자동 압력 유지 및 과압 방지 기능을 제공하여 고압 산소 또는 불활성 가스 처리 중에 작업자와 시설을 보호합니다.
  • 고급 Eurotherm EPC3000 컨트롤러: 이 시스템은 업계 최고의 Eurotherm EPC3000 PID 컨트롤러를 사용하며, 24세그먼트 프로그래밍 제어 기능을 갖추고 있습니다. 이를 통해 사용자 친화적인 터치스크린 인터페이스를 통해 ±5°C의 온도 정확도로 복잡한 가열, 유지 및 냉각 램프를 생성할 수 있습니다.
  • 포괄적인 열 모니터링: 절대적인 공정 투명성을 보장하기 위해 7개의 K-타입 열전대가 포함되어 있습니다. 3개의 센서는 샘플 수준의 정확도를 위해 내부 챔버 환경을 모니터링하고, 4개의 외부 센서는 가열 요소를 추적하여 과열을 방지하고 몰리브덴-철-크롬-알루미늄 저항선의 수명을 연장합니다.
  • 수냉식 도어 구조: 전면 로딩 도어에는 통합 수냉식 재킷이 있어 800°C의 고온에서 장시간 작동하는 동안 진공 씰과 퍼니스의 구조적 무결성을 보호하여 장기적인 작동 신뢰성을 보장합니다.
  • 통합 질량 유량 제어: 흡입 시스템에는 고정밀 1채널 질량 유량계(5L/min)가 장착되어 공정 가스를 정확하게 조절할 수 있습니다. 이러한 정밀도는 초전도 재료 합성에서 화학양론적 균형을 유지하는 데 매우 중요합니다.
  • 데이터 수집 및 PC 연결: 엄격한 R&D 문서화를 위해 제어 시스템은 압력, 진공 및 온도 데이터를 실시간으로 모니터링, 기록 및 다운로드할 수 있습니다. 원활한 PC 통신 및 공정 곡선 생성을 위해 DB9 포트가 제공됩니다.
  • 견고한 가열 요소: 프리미엄 몰리브덴-철-크롬-알루미늄 저항선을 사용하여 최대 5°C/min의 빠른 가열 속도와 흐르는 분위기 및 진공 상태 모두에서 뛰어난 내구성을 보장하여 유지보수 가동 중단 시간과 운영 비용을 절감합니다.

응용 분야

응용 분야 설명 주요 이점
초전도체 처리 YBCO 및 기타 고온 초전도 재료를 위한 고압 산소 열처리. 정밀한 pO2 제어로 최적의 결정 구조 및 임계 전류 밀도 보장.
첨단 세라믹 항공우주 및 산업용 마모 부품을 위한 산화물 및 비산화물 세라믹의 진공 소결. 고진공으로 불순물을 제거하고 압력 단계로 잔류 기공 제거.
항공우주 R&D 통제된 청정 환경에서 고강도 합금의 응력 완화 및 열처리. Class 100 청결도로 산화를 방지하고 금속 결합의 순도 유지.
원자력 재료 연구 다양한 압력 및 온도 사이클 하에서 원자로 부품 테스트. 견고한 310S 강철 구조로 까다로운 사이클과 부식성 분위기를 견딤.
반도체 어닐링 특정 가스 환경에서 탄화규소 또는 질화갈륨 웨이퍼의 고온 어닐링. 다중 구역 가열로 웨이퍼 처리에 필요한 극도의 온도 균일성 제공.
생체 임플란트 소결 진공 상태에서 티타늄 또는 지르코니아 치과 및 정형외과 임플란트의 열처리. 금속 전용 내부 구성 요소로 생체 적합성 표면의 오염 제로화.
박막 결정화 박막의 증착 후 열처리를 통한 전자적 특성 향상. 실시간 데이터 로깅으로 공정 매개변수와 필름 성능 간의 완벽한 상관관계 분석 가능.
증착 지원 특수 화학 증착 공정을 위한 고압 반응 챔버 역할. 통합 질량 유량계와 압력 릴리프로 안전하고 통제된 반응 용기 제공.

기술 사양

매개변수 사양 세부 정보 (모델: TU-ZK01)
전원 공급 장치 AC 3상 480V, 50/60Hz; 60KW
챔버 재질 310S 스테인리스 스틸 (모든 내부 구성 요소 금속)
전체 챔버 치수 직경 720mm * 깊이 900mm (전체 용량 366L)
가용 작업 공간 500mm x 500mm x 500mm (입방체 공간)
최대 작동 온도 800°C (흐르는 분위기 또는 진공에서 연속)
가열 구역 4구역 (원형 3개 + 하단 1개); 총 가열 길이 900mm
온도 균일성 ±10°C (흐르는 분위기에서)
가열 속도 ≤ 5°C/min
가열 요소 몰리브덴-철-크롬-알루미늄 저항선
최대 진공 수준 10^-3 torr (기계식 펌프); 10^-5 torr (옵션 터보 펌프 사용 시)
최대 작동 압력 0.35 MPa (3.5 bar) @ 500°C; 0.25 MPa (2.5 bar) @ 750°C
압력 제어 범위 0.01 MPa ~ 0.2 MPa (정압 제어)
온도 컨트롤러 Eurotherm EPC3000; 24세그먼트 PID 프로그래밍 가능
온도 정확도 ±5°C
열전대 구성 7개의 K-타입 (내부 챔버 3개, 외부/요소 모니터링 4개)
가스 관리 1채널 질량 유량계 (5L/min); 전자기 니들 밸브
배기/포트 φ12.7mm 입구/출구; 예약된 KF40 고압 배기 포트
안전 기능 과압 릴리프 밸브; 자동 압력 유지; 압력 센서
냉각 요구 사항 수냉식 도어; 옵션 칠러 (3.5KW, 75L/min 유량)
규정 준수 CE 인증 (요청 시 NRTL/CSA 가능)

TU-ZK01을 선택해야 하는 이유

  • 하이브리드 엔지니어링의 우수성: 이 시스템은 별도의 진공 및 압력 퍼니스가 필요 없으며, 실험실 공간을 극대화하는 동시에 첨단 재료 합성을 위한 뛰어난 공정 유연성을 제공하는 통합 솔루션을 제공합니다.
  • 초전도체에 대한 입증된 신뢰성: 고압 산소 환경에 최적화되어 있어, 분위기 순도가 타협할 수 없는 YBCO 및 기타 고온 초전도체에 집중하는 연구 기관에 선호되는 선택입니다.
  • 강력한 안전 및 모니터링: 7개의 전용 열전대와 자동 압력 릴리프 시스템을 통해 고온에서의 고압 사이클 중에도 작업자 안전과 장비 수명을 최우선으로 고려합니다.
  • 프리미엄 제어 통합: Eurotherm EPC3000 컨트롤러를 포함하여 업계 표준의 정밀도를 보장하며, 다양한 배치에서 복잡한 열 프로파일을 쉽게 재현할 수 있습니다.
  • 완벽한 맞춤화 및 지원: 귀하의 산업 또는 R&D 응용 분야의 특정 요구 사항을 충족하기 위해 가스 흐름 시스템, 진공 펌프 구성 및 냉각 장치를 맞춤화할 수 있는 포괄적인 기술 지원을 제공합니다.

TU-ZK01 고압 진공 퍼니스에 대한 자세한 상담이나 공식 견적을 원하시면 지금 바로 기술 영업팀에 문의하여 귀하의 특정 공정 요구 사항을 논의하십시오.

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