제품 개요
이 고성능 다채널 열처리 시스템은 극도의 순도와 고처리량 성능이 요구되는 첨단 재료과학 및 산업 R&D 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 특수한 고청정 챔버 내부에 6개의 독립 가열 채널을 통합함으로써, 연구원과 엔지니어는 서로 다른 조건에서 여러 열처리 사이클을 동시에 수행할 수 있습니다. 이 구성은 가장 민감한 재료를 포함하여 반도체, 첨단 합금, 고순도 세라믹과 같은 소재에 적합한 제어된 환경을 유지하면서 실험 워크플로를 크게 가속화합니다.
클린룸 환경에서의 운용을 위해 특별히 설계된 이 시스템은 US FED STD 209E Class 100에 부합하는 청정도를 달성합니다. 내부 구조는 입자 오염을 방지하도록 고급 단열재와 표면 처리를 사용하여, 반도체 웨이퍼 어닐링, 박막 증착 연구 및 고순도 소결에 이상적인 솔루션을 제공합니다. 이 장비는 수소, 진공 및 불활성 가스 환경과 뛰어난 호환성을 갖춘 대기 제어 공정에서 탁월한 성능을 발휘하여, 복잡한 금속공학 및 화학 합성 절차에 유연하게 대응합니다.
까다로운 산업 및 학술 환경에서 장기적인 신뢰성을 위해 제작된 이 장비는 견고한 스테인리스 스틸 챔버와 고급 안전 프로토콜을 갖추고 있습니다. 특수한 수소 안전 메커니즘과 정밀 자동화의 결합으로 무인 연속 운전을 안심하고 수행할 수 있습니다. 대학 연구실이든 기업 파일럿 라인이든, 이 시스템은 열처리 정밀도에 대한 프리미엄 투자를 의미하며, 모든 채널에서 일관되고 재현성 높은 결과를 제공합니다.
주요 특징
- 6개의 독립 가열 채널: 각 채널은 자체 전용 온도 제어 시스템과 가스 공급 인프라를 갖추고 있어, 서로 다른 온도와 분위기 조건에서 6개의 서로 다른 시료를 동시에 처리할 수 있습니다.
- Class 100 청정도 인증: 고순도 알루미나 섬유 챔버는 먼지 발생과 가스 방출을 최소화하도록 설계된 특수 알루미나 코팅 표면을 특징으로 하며, US FED STD 209E Class 100 기준을 충족하는 내부 환경을 보장합니다.
- 고급 수소 안전 시스템: 잠재적인 폭발을 방지하기 위해, 장비는 튜브와 챔버 사이의 단열층 내부에서 불활성 가스 순환 시스템을 활용합니다. 튜브 고장 발생 시 수소는 이 보호층 내에서 안전하게 포집 및 희석됩니다.
- 정밀 PID 및 PC 통합: 각 가열 모듈은 지능형 50세그먼트 프로그래머블 컨트롤러로 관리되며, PC 기반 소프트웨어와 완전히 통합되어 실시간 모니터링, 데이터 로깅, 가열·유지·냉각 사이클의 완전 자동 제어를 제공합니다.
- 고순도 알루미나 섬유 챔버: 진공 성형 세라믹 섬유로 제작되어 뛰어난 단열 성능과 높은 가열 효율을 제공하며, 내부 부품의 수명을 크게 연장합니다.
- 이중층 공랭식 외함: 외부 구조는 통합 강제 공랭 기능이 있는 이중층 설계를 채택하여, 내부가 최대 온도로 장시간 운전되더라도 외부 표면을 안전하게 만질 수 있도록 합니다.
- 자동 가스 및 압력 관리: 소프트웨어 제어 정압 소결 모드는 가스 유량을 자동으로 조정하여 안정적이고 약간의 양압을 유지하며, 열처리 공정 전반에서 일관된 분위기 밀도를 보장합니다.
- 독립 수냉 플랜지: 수냉 포트가 통합된 304 스테인리스 스틸 플랜지 6세트가 O링 씰을 보호하여, 장시간 고온 사이클 동안 진공 기밀성과 고압 안정성을 보장합니다.
- 맞춤형 튜브 옵션: 고순도 석영 튜브가 표준이지만, 특수한 부식성 환경 또는 1200°C까지의 특정 온도 요구에 맞춰 니켈계 합금 또는 지르코늄 합금 튜브도 지원합니다.
- 포괄적인 데이터 문서화: 온도 곡선, 압력 수준, 진공 상태를 포함한 모든 실험 공정 데이터가 기록되며, 철저한 분석과 품질 관리 검증을 위해 내보낼 수 있습니다.
응용 분야
| 응용 분야 | 설명 | 주요 이점 |
|---|---|---|
| 반도체 어닐링 | 클린룸 조건에서 실리콘 및 화합물 반도체 웨이퍼의 고순도 열처리. | 입자 오염을 최소화하고 균일한 결정 복원을 보장합니다. |
| 수소 환원 | 제어된 수소 분위기를 사용하여 금속 산화물을 순금속 분말 또는 박막으로 환원. | 폭발성 가스 안전 프로토콜이 통합된 고처리량 공정. |
| 첨단 야금 | 서로 다른 단계에서 고온 합금과 비철금속의 소결 및 열처리. | 독립 채널로 빠른 비교 재료 연구가 가능합니다. |
| 박막 R&D | 진공 또는 불활성 가스에서 세라믹 또는 유리 기판 위 기능성 박막의 열처리. | 산화를 방지하고 박막 미세구조를 정밀하게 제어합니다. |
| 핵 재료 시험 | 모의 운전 분위기 하에서 특수 재료의 고온 분석. | 민감한 연구를 위한 견고한 격리와 신뢰성 높은 데이터 로깅. |
| 세라믹 소결 | 치과 재료 및 구조용 부품을 포함한 첨단 기술 세라믹의 소결. | 6개 시료 영역 전체에서 뛰어난 온도 균일성. |
| 산업 QC 시험 | 생산 배치 전반에서 열 안정성과 화학적 내성을 검증하기 위한 재료 시료의 배치 시험. | 여러 시험 프로파일을 동시에 실행하여 실험실 생산성을 높입니다. |
기술 사양
| 분류 | 항목 | 사양 (TU-QF25) |
|---|---|---|
| 모델 식별 | 제품 품번 | TU-QF25 |
| 전원 공급 | 입력 전원 | AC 3상 380V; 50/60Hz |
| 최대 전력 | 48 KW | |
| 온도 성능 | 최대 운전 온도 | 1200℃ (≤ 30분) |
| 연속 온도 | 1100℃ | |
| 가열 속도 | ≤ 10℃/분 | |
| 가열 구간 길이 | 700 mm | |
| 온도 정확도 | ± 1℃ (선택 사양 유럽 컨트롤러 ± 0.1℃) | |
| 제어 시스템 | 컨트롤러 모델 | 858P PID 지능형 컨트롤러 |
| 프로그램 설정 | 50세그먼트 프로그래머블 제어 | |
| 제어 인터페이스 | 전용 소프트웨어가 포함된 DB9 PC 통신 포트 | |
| 제어 모드 | 자동 퍼지 모드; 정압 소결 모드 | |
| 구조 | 챔버 재질 | 표면 코팅이 된 고순도 알루미나 섬유 |
| 가열 소자 | 몰리브덴-철-크롬-알루미늄 | |
| 열전대 | K형 | |
| 청정도 수준 | US FED STD 209E Class 100 | |
| 가스 및 진공 | 플랜지 유형 | 304 스테인리스 스틸 수냉 플랜지 (KF60/KF25) |
| 가스 유량 제어 | 독립 부유식 유량계 6개 (40-400ml/min) | |
| 표준 기계식 릴리프 | 0.04 MPa에서 개방 | |
| 소결 압력 범위 | 100,000 Pa - 115,000 Pa (자동 조절) | |
| 튜브 사양 | 표준 석영 규격 | Φ25x19 ID, Φ50x44 ID, Φ60x55 ID (길이: 1200 mm) |
| 선택 합금 튜브 | 니켈계 합금 (1200℃) / 지르코늄 합금 (800℃) | |
| 선택 액세서리 | 가연성 가스 처리 | 200W, AC220V, 전류 변압기 보호 기능 포함 |
| 수소 검지 | 고정형 또는 휴대형 (1-1000ppm 범위) | |
| 진공 펌프 | 기계식 (10^-2 Torr) 또는 분자식 (10^-5 Torr) | |
| 칠러 유닛 | CW-6300 (냉각 용량 26826 Btu/h) |
1200C 최대 6채널 고청정 수소로를 고처리량 어닐링에 선택해야 하는 이유
- 비할 데 없는 처리량과 다용도성: 이 시스템은 사실상 6대의 개별로와 같은 작업을 수행하여, 장비 면적이나 에너지 부담을 늘리지 않고도 R&D 규모를 대폭 확장할 수 있습니다.
- 탁월한 클린룸 호환성: 고순도 환경을 위해 설계된 이 시스템은 시료가 오염물질로부터 자유롭게 유지되도록 하며, 이는 현대 반도체 및 나노기술 연구에 중요한 요구사항입니다.
- 안전 우선 설계: 통합 불활성 가스 인터레이어와 선택 가능한 가연성 가스 처리 장치를 통해 이 장비는 수소 분위기 열처리 안전의 업계 표준을 제시합니다.
- 정밀 자동화 및 데이터 무결성: 고급 소프트웨어 인터페이스는 복잡한 가스 퍼지 및 소결 루틴을 자동화할 뿐만 아니라, 규제 준수와 과학적 검증을 위해 모든 데이터 포인트가 캡처되도록 보장합니다.
- 맞춤형 및 미래 대응형: 다양한 튜브 재질부터 고급 분자 펌프 통합까지, 이 시스템은 현재 연구 요구에 맞게 맞춤화할 수 있으며 공정 요구 사항이 변화함에 따라 업그레이드할 수 있습니다.
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