CVD 연구 및 진공 소결 정밀 열처리를 위한 1800°C 고온 분위기 튜브 로

제품 개요

이 고온 튜브 로는 까다로운 실험실 및 산업 R&D 환경을 위해 특별히 설계된 열처리 기술의 정점입니다. 최대 작동 온도 1800°C와 고순도 분위기 제어 시스템을 통합하여 재료 합성, 소결 및 어닐링을 위한 탁월한 플랫폼을 제공합니다. 이 제품의 핵심 가치는 빠른 열 반응, 놀라운 온도 균일성, 그리고 견고한 진공 밀폐 환경의 결합에 있으며, 이를 통해 민감한 재료를 가장 엄격한 조건 하에서 절대적인 일관성으로 처리할 수 있습니다.

주로 재료 과학 연구자와 산업 엔지니어를 위해 설계된 이 시스템은 화학 기상 증착(CVD), 분위기 제어 소결 및 진공 어닐링과 같은 응용 분야에서 뛰어난 성능을 발휘합니다. 항공우주, 반도체 및 첨단 세라믹 산업 등 열 구배와 가스 환경에 대한 정밀한 제어가 필수적인 분야에서 널리 사용됩니다. 통합 공랭식 시스템을 갖춘 이중 레이어 강철 하우징은 내부 챔버가 극한 온도에 도달하더라도 외부 표면은 안전하게 유지되어 실험실 안전과 운영 효율성을 보장합니다.

사용자는 프리미엄 부품 선택으로 인해 이 장비의 신뢰성을 전적으로 신뢰할 수 있습니다. 일본에서 수입한 고급 발열체와 다결정 알루미나 섬유 단열재를 사용하여 지속적인 고열 사이클의 가혹함을 견딜 수 있도록 제작되었습니다. 정교한 안전 인터록과 일본산 PID 제어 전자 장치가 포함되어 있어 모든 실험 또는 생산 배치가 과열 조건으로부터 보호되며, 중요한 연구 개발을 위해 안정적이고 반복 가능한 열 환경을 제공합니다.

주요 특징

• 고급 1900 등급 MoSi2 발열체: 이 시스템은 1900°C 등급의 프리미엄 이규화 몰리브덴(MoSi2) 발열체를 사용하여 1750°C의 연속 작동 온도를 안정적으로 유지할 수 있습니다. 이러한 발열체는 우수한 내산화성과 전체 가열 길이에 걸쳐 매우 균일한 온도 필드를 제공하는 능력 때문에 선택되었습니다.

• 정밀 Shimaden 디지털 제어: 일본 Shimaden FP93 컨트롤러가 장착되어 있으며, 여러 독립적인 프로그램으로 나눌 수 있는 40개의 프로그래밍 가능한 세그먼트를 제공합니다. 이를 통해 복잡한 램프, 소크(soak) 및 냉각 사이클이 가능하며, 6개의 서로 다른 PID 매개변수 그룹이 저온, 중온 및 고온 범위에서 정밀한 정확도를 보장합니다.

• 고순도 알루미나 섬유 단열재: 내부 챔버는 98% 다결정 알루미나 섬유로 구성됩니다. 일본에서 수입한 이 고반사 재료는 뛰어난 보온성과 열충격 저항성을 제공하여 급속 가열 및 냉각 사이클 동안 균열이나 성능 저하를 방지합니다.

• 진공 기밀 분위기 제어: 이 장비는 세라믹 튜브 양쪽 끝에 이중 링 실리콘 씰이 있는 스테인리스 스틸 진공 플랜지를 갖추고 있습니다. 이는 최대 10-4 torr(적절한 펌프 사용 시)의 진공 수준에서 또는 통합 유량계를 통해 제어되는 불활성, 환원성 또는 특수 가스 분위기에서 처리하기 위한 안전한 환경을 제공합니다.

• 이중벽 공랭식 하우징: 안전과 성능을 위해 설계된 이 로는 내벽과 외벽 사이에 능동형 공랭 시스템이 있는 이중 레이어 구조를 사용합니다. 이 설계는 처리 후 더 빠른 냉각 속도를 촉진하고 실험실 인원을 보호하기 위해 낮은 외부 표면 온도를 유지합니다.

• 포괄적인 안전 인터록 시스템: 작업자 안전을 위해 커버에 과주행 제한 스위치가 통합되어 있습니다. 작동 중 챔버를 열면 전원이 자동으로 차단됩니다. 또한 이 시스템에는 열전대 고장 또는 과전류 이벤트에 대한 누설 방지 및 자동 종료 프로토콜이 포함되어 있습니다.

• 디지털 데이터 로깅 및 연결성: 통합 RS485 통신 인터페이스와 특수 소프트웨어를 통해 작업자는 컴퓨터에서 모든 매개변수를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 시스템은 실시간 가열 곡선을 기록하여 정밀한 데이터 추적을 가능하게 하며, 감사 추적을 위해 과거 공정 매개변수를 저장하거나 불러올 수 있습니다.

• 내구성 있는 수입 세라믹 공정 튜브: 이 장치에는 극한의 열 부하와 화학적 노출 하에서도 구조적 무결성을 유지하는 능력으로 특별히 선택된 고품질 수입 세라믹 튜브가 장착되어 있어 고처리량 환경에서도 긴 수명을 보장합니다.

응용 분야

기술 사양

이 튜브 로를 선택해야 하는 이유

• 프리미엄 엔지니어링 부품: 일반적인 실험실 장비와 달리, 이 시스템은 Shimaden 컨트롤러와 Semikron 사이리스터를 포함하여 일본과 독일에서 수입한 고급 부품을 사용하여 장기적인 산업 신뢰성을 보장합니다.
• 우수한 열 효율: 98% 다결정 알루미나 단열재와 이중벽 냉각 시스템은 에너지 효율을 극대화하는 동시에 내부 부품을 열 피로로부터 보호하여 장비 수명을 연장합니다.
• 비교할 수 없는 정밀도: ±1°C의 정확도와 고급 PID 알고리즘을 통해 연구자는 동료 평가 연구 및 산업 품질 관리에 필수적인 매우 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다.
• 다재다능한 통합 설계: 극한 온도 성능(1800°C)과 완전한 분위기 및 진공 지원의 결합으로 거의 모든 고온 열처리 공정을 처리할 수 있는 다목적 도구가 됩니다.
• 견고한 안전 및 지원: 모든 장치는 다중 하드웨어 및 소프트웨어 보호 계층으로 제작되어 엄격한 안전 표준 준수를 보장하며, 밤샘 무인 운전 시에도 안심할 수 있습니다.

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